JP5051505B2 - 超伝導回路装置 - Google Patents
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Description
また、基板と超伝導回路チップの接続をフリップ接続する技術(第2の従来技術)が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
しかし、樹脂と超伝導チップおよび基板との間にガス(実装時に閉じこめられた空気あるいは樹脂から発生するガス)が封止された場合、あるいは冷却時に液体ヘリウムが浸透した場合、サーマルサイクルによりこれらガスもしくは急激に気化する液体ヘリウムが膨張/収縮を繰り返し、樹脂および超音波回路チップに応力が繰り返しかかり、これが断線の原因になる問題点がある。
しかし、基板と超伝導回路チップとをフリップ接続しているだけでは、機械的強度が十分でない問題点がある。
上記第1の観点による超伝導回路装置では、超伝導回路チップの直下に当たる基板部分に通気孔を穿設しているため、樹脂によって覆われた空間(主に基板と超伝導回路チップの隙間)に封止されたガスあるいは冷却時に浸透し昇温時に気化したガスが通気孔から逃げることが出来る。これにより、サーマルサイクルに起因する断線の発生を防止することが出来る。また、超伝導回路チップとその周辺の基板部分を樹脂で覆っているから、基板と超伝導回路チップの接続の機械的強度を高めることが出来る。
なお、通気孔は、比較的小さな断面積の通気孔を多数設けてもよいし、比較的大きな断面積の通気孔を小数設けてもよい。
上記第2の観点による超伝導回路装置では、比較的大きな断面積の通気孔を小数設けるため、通気孔を設ける作業負担が少なくて済む。
上記第3の観点による超伝導回路装置では、フリップ接続としたため、ワイヤボンディングによるよりも断線のリスクを小さくすることが出来る。そして、超伝導回路チップとその周辺の基板部分を樹脂で覆うから、基板と超伝導回路チップの接続の機械的強度を高めることが出来る。
この超伝導回路装置10は、基板1の表面に超伝導磁気センサチップ2をフリップ接続し、超伝導回路チップ2とその周辺の基板部分を樹脂4で覆い、超伝導磁気センサチップ2の直下に当たる基板部分に通気孔1bを穿設した構造である。
1aは基板1の表面に形成された配線パタンであり、2bは超伝導磁気センサチップ2の表面に形成されたパッドであり、3はバンプである。
通気孔1bは、直径3mmの円形孔である。
一つのSQUID磁気センサ2aは、ピックアップコイルと、ジョセフソン接合と、シャント抵抗と、ダンピング抵抗と、フィードバックコイルとから構成されたSQUIDマグネトメータである。
デュワ20は、内槽21と、外槽22とからなる。内槽21には、液体ヘリウム30が充填される。
1a 配線パタン
1b 通気孔
2 超伝導磁気センサチップ
2a SQUID磁気センサ
2b パッド
3 バンプ
4 樹脂
10 超伝導回路装置
Claims (3)
- 基板の表面に超伝導回路チップを実装し且つ前記基板と前記超伝導回路チップの接続の機械的強度を高めるために前記超伝導回路チップとその周辺の基板部分を樹脂で覆った超伝導回路装置において、前記超伝導回路の直下に当る基板部分に前記樹脂によって覆われた空間に通じる通気孔を穿設したことを特徴とする超伝導回路装置。
- 請求項1に記載の超伝導回路装置において、前記通気孔が断面積3平方mm以上の4個以下の孔であることを特徴とする超伝導回路装置。
- 請求項1または請求項2に記載の超伝導回路装置において、前記基板と前記超伝導回路チップの接続をフリップ接続としたことを特徴とする超伝導回路装置。
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