JP5042140B2 - 磁気記録媒体の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスクドライブなどに用いられる磁気記録媒体のディフェクト検査やビットエラーレート検査、パラメトリック（電磁変換特性）検査などのサーティファイ検査に好適に使用される検査方法に関する。

ハードディスクドライブに代表される磁気記録装置は、コンピュータなどの情報処理装置の外部記憶装置として広く用いられており、近年は動画像の録画装置等としても使用されている。

ハードディスクドライブは、通常、中央に開口部のある円盤状（ドーナッツ形状）の磁気記録媒体を１枚或いは複数枚積層して同軸中心で回転させる（複数枚の場合は、同期回転させる）シャフトと、該シャフトにベアリングを介して接合され、磁気記録媒体を回転させるモータと、磁気記録媒体の両面において記録及び／又は再生に用いる磁気ヘッドと、該ヘッドが取り付けられた複数本の支持アームと、前記複数本の支持アームを同期して可動させ磁気ヘッドを磁気記録媒体上の任意の位置に移動させるヘッドスタックアセンブリとを備えている。また、磁気記録再生用の磁気ヘッドは、通常浮上型のヘッドであり、磁気記録媒体上を一定の浮上量で移動される。

一般に、ハードディスクドライブに搭載される磁気記録媒体には、半径方向にはトラック、トラックの延在方向にはセクタと呼ばれる記録領域が形成されている。通常、磁気記録媒体における情報の読み書きは、トラックおよびセクタ単位で行われる。

また、従来から、ハードディスクドライブでは、磁気ヘッドを目標のトラックおよびセクタへ位置決めする際にサーボ情報信号を使用している。サーボ情報信号は、あらかじめ磁気記録媒体に記録されているサーボ情報を磁気ヘッドに読み込ませることにより得られる。サーボ情報は、磁気記録媒体の記録領域の位置情報であり、サーボ情報を磁気ヘッドに読み取らせることにより、磁気ヘッドが位置する記録領域の現在位置を検知できる。サーボ情報は、通常、磁気記録媒体上に放射状に半径方向に連続して書かれている。

一般に、磁気記録媒体は、次の工程により製造される。アルミニウム合金やガラス基板等からなる基板の表面に、テキスチャリング処理などを施した後、その上に、下地層、磁性層、保護層、潤滑層などを順次形成することにより作製される。その後、得られた磁気記録媒体に対して、グライド検査とサーティファイ検査とが順次行われる。

グライド検査とは、磁気記録媒体の表面に突起物が無いかどうかの検査である。すなわち、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体を記録再生する際に、磁気記録媒体の表面に浮上量（媒体と磁気ヘッドの間隔）以上の高さの突起があると、磁気ヘッドが突起にぶつかって磁気ヘッドが損傷したり、磁気記録媒体に欠陥が発生したりする原因となる。グライド検査では、そのような高い突起の有無を検査する（例えば、特許文献１参照）。

グライド検査をパスした磁気記録媒体には、サーティファイ検査が実施される。サーティファイ検査とは、通常のハードディスクドライブの記録再生と同様に、磁気記録媒体に対して磁気ヘッドで所定の信号を記録した後、その信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体の記録不能を検出することにより、磁気記録媒体の電気特性や欠陥の有無など媒体の品質を確かめるものである（例えば、特許文献２参照）。したがって、サーティファイ検査では、ハードディスクドライブの記録再生と同様に、磁気ヘッドにより所定の信号を記録再生できることを確認している。このため、実際のハードディスクドライブでの使用方法と同様に、サーティファイ検査の前に、サーボライターと呼ばれる装置を用いて磁気記録媒体にサーボ情報を書き込んで磁気記録媒体の記録不能を検出する検査を行うことが好ましい。
特開平１０−１０５９０８号公報 特開２００３−２５７０１６号公報

しかしながら、磁気記録媒体にサーボ情報を書き込むためには、磁気記録媒体のサイズにもよるが、一般的に３０分〜２時間／枚の時間を要する。したがって、サーティファイ検査の前に磁気記録媒体にサーボ情報を書き込むことは、磁気記録媒体の生産性を低下さ せる原因となる。さらに、最近の磁気記録媒体の需要の高まりから、多数の磁気記録媒体をより短時間で検査できるサーティファイ検査装置が要求されている。
一方、近年、磁気記録媒体の記録密度はますます高くなってきており、ハードディスクドライブでの磁気記録媒体の実際の使用方法により近い検査方法を用いて高精度なサーティファイ検査を行なうことが求められている。

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、ハードディスクドライブでの磁気記録媒体の実際の使用方法に近く、高精度なサーティファイ検査を短時間で行なうことのできる磁気記録媒体の検査方法を提供することを目的とする。

本願発明者は、上記課題を解決すべく鋭意努力検討した結果、サーボ情報を記録した円盤状のマスター媒体と、円盤状の被検査媒体とを同軸中心で同期回転させながら、マスター媒体から前記サーボ情報を読み込む第１磁気ヘッドと被検査媒体の磁気記録再生を行なう第２磁気ヘッドとを、前記マスター媒体および前記被検査媒体の表面に対して同期して移動させ、マスター媒体からのサーボ情報信号と被検査媒体からの磁気記録再生信号とを用いて、被検査媒体における磁気記録再生信号を検査する検査方法とすることにより、被検査媒体にサーボ情報を書き込むことなく、ハードディスクドライブでの磁気記録媒体の実際の使用方法に近い高精度なサーティファイ検査が実現できることを見出した。

しかしながら、この方法を用いて磁気記録媒体のサーティファイ検査を実施した場合、第１磁気ヘッドを用いてマスター媒体からサーボ情報信号を読み込み、得られたサーボ情報信号に基づいて第２磁気ヘッドの位置を位置決めしている間は、被検査媒体の検査を行うことはできない。このため、被検査媒体においてマスター媒体のサーボ情報の記録された位置に対応する領域が未検査領域となる。したがって、この方法を用いて磁気記録媒体のサーティファイ検査を実施した場合、被検査媒体の未検査領域に磁気的な欠陥があっても、欠陥が検知されないおそれがあり、検査精度が十分に得られない場合があった。特に、マスター媒体として、中心から放射状に連続してサーボ情報が記録されたものを用いる場合には、大きな欠陥が検知されない場合があるため、問題となっていた。

ここで、マスター媒体として、中心から放射状に連続してサーボ情報が記録されたサーボ情報領域が備えられ、隣接するサーボ情報領域間がデータ情報領域とされているものを用いた場合における被検査媒体の被検査領域について図面を用いて説明する。

図６は、円盤状の被検査媒体の一部を拡大して示した拡大平面図である。なお、図６においては、左右方向を被検査媒体４０のトラックの延在方向、上下方向を被検査媒体４０の半径方向として示している。また、図６において、符号Ｔ１、Ｔ２，Ｔ３、Ｔ４，Ｔ５、Ｔ６は、トラックを示し、符号４ｃは被検査媒体４０におけるマスター媒体のサーボ情報領域に対応するサーボ対応領域を示し、符号４ｄは被検査媒体４０におけるマスター媒体のデータ情報領域に対応するデータ対応領域を示している。

図６に示すように、被検査媒体４０は、検査される複数の被検査領域４ｅ（図６において斜線で示す領域）と、検査されない複数の未検査領域４ｆとを有している。個々の被検査領域４ｅは、位置決め工程において位置決めされた磁気ヘッドにより１度に磁気記録再生される範囲であり、トラック毎にトラックの延在方向に区切られ、未検査領域４ｆによって半径方向に区切られて、それぞれ１つのデータ対応領域４ｄ領域とされている。また、図６に示すように、被検査領域４ｅの半径方向の位置は、すべてのトラックＴ１、Ｔ２，Ｔ３、Ｔ４，Ｔ５、Ｔ６において一致している。また、未検査領域４ｆは、サーボ対応領域４ｃ内において一体化された広い領域となっている。

図６に示すように、マスター媒体として、中心から放射状に連続してサーボ情報が記録されたものを用いる場合には、被検査媒体４０の中心から放射状に連続して未検査領域４ｆが形成されてしまうため、未検査領域４ｆが一体化されてなる広い領域が形成される。未検査領域４ｆからなる広い領域は、トラックの延在方向にマスター媒体のサーボ情報領域対応する幅（すなわち、サーボ対応領域４ｃのトラックの延在方向の幅）を有し、半径方向に複数のトラックに跨るトラックの延在方向よりも十分に広い幅を有するものとなる。このような未検査領域４ｆからなる広い領域が形成されると、未検査領域４ｆからなる広い領域の大きさと同等の大きな欠陥、例えば、マスター媒体のサーボ情報領域のトラックの延在方向の幅（すなわち、サーボ対応領域４ｃのトラックの延在方向の幅）と同等の直径を有する大きな円形の欠陥が検知されない場合があった。

この問題を解決するため本願発明者は、鋭意努力検討した。その結果、複数の未検査領域４ｆが中心から放射状に配置されてなる検査されない広い領域を不連続なものとして大きな欠陥を効果的に検知可能とする本願発明を完成させた。
すなわち本発明は、以下に関する。

（１） サーボ情報の記録された円盤状のマスター媒体と円盤状の被検査媒体とを同軸中心で同期回転させながら、前記マスター媒体から前記サーボ情報を読み込む第１磁気ヘッドと、前記被検査媒体の磁気記録再生を行なう第２磁気ヘッドとを、前記マスター媒体および前記被検査媒体の表面に対して同期して移動させ、前記第１磁気ヘッドに前記マスター媒体から前記サーボ情報を読み込ませて得られたサーボ情報信号に基づいて、前記被検査媒体の被検査領域に前記第２磁気ヘッドを位置決めする位置決め工程と、前記第２磁気ヘッドに、前記被検査領域の磁気記録再生を行なわせて磁気記録再生信号を生成する信号生成工程と、前記信号生成工程で得られた前記磁気記録再生信号を検査する信号処理工程とを備え、前記マスター媒体が、中心から放射状に連続して前記サーボ情報の記録されたサーボ情報領域を備えたものであり、前記被検査領域が、前記サーボ情報領域を介して同一トラック位置で隣接する２以上のデータ情報領域を含む前記マスター媒体の領域に対応しており、前記被検査領域の半径方向の位置が、隣接する別のトラック位置に配置される前記被検査領域と異なる位置に配置されていることを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。

（２） 前記被検査領域が、２つのデータ情報領域を含む領域に対応していることを特徴とする（１）に記載の磁気記録媒体の検査方法。
（３） 前記第１磁気ヘッドからのサーボ情報信号と、このサーボ情報信号に対応した前記第２磁気ヘッドからの磁気記録再生信号とを交互に処理するものであることを特徴とする（１）または（２）に記載の磁気記録媒体の検査方法。

（４） 前記被検査媒体が複数枚であり、前記位置決め工程において、前記マスター媒体と前記複数枚の前記被検査媒体とが同軸中心で同期回転され、前記第１磁気ヘッドが先端に取り付けられた第１支持アームと、前記第２磁気ヘッドが先端に取り付けられた複数の第２支持アームとを同軸中心で同期回転させることにより、前記第１磁気ヘッドと前記複数の第２支持アームに各々取り付けられている複数の第２磁気ヘッドとが同期して移動され、前記信号生成工程において、前記複数の第２磁気ヘッドに、前記複数枚の被検査媒体それぞれの前記被検査領域の磁気記録再生を行なわせて、それぞれの磁気記録再生信号を生成させることを特徴とする（１）〜（３）の何れかに記載の磁気記録媒体の検査方法。

（５） （１）〜（４）の何れかに記載の磁気記録媒体の検査方法により検査を行う工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

本発明の磁気記録媒体の検査方法によれば、マスター媒体が、中心から放射状に連続してサーボ情報の記録されたサーボ情報領域を備えたものであり、被検査領域が、前記サーボ情報領域を介して同一トラック位置で隣接する２以上のデータ情報領域を含む前記マスター媒体の領域に対応しており、前記被検査領域の半径方向の位置が、隣接する別のトラック位置に配置される前記被検査領域と異なる位置に配置されているので、被検査媒体におけるサーボ情報領域に対応する領域の一部が被検査領域に含まれることになり、被検査媒体におけるサーボ情報領域に対応する領域の欠陥を検知でき、被検査媒体の検査精度を向上させることができる。

また、本発明の磁気記録媒体の検査方法によれば、サーボ情報の記録された円盤状のマスター媒体と円盤状の被検査媒体とを同軸中心で同期回転させながら、前記マスター媒体から前記サーボ情報を読み込む第１磁気ヘッドと、前記被検査媒体の磁気記録再生を行なう第２磁気ヘッドとを、前記マスター媒体および前記被検査媒体の表面に対して同期して移動させ、前記第１磁気ヘッドに前記マスター媒体から前記サーボ情報を読み込ませて得られたサーボ情報信号に基づいて、前記被検査媒体の被検査領域に前記第２磁気ヘッドを位置決めする位置決め工程と、前記第２磁気ヘッドに、前記被検査領域の磁気記録再生を行なわせて磁気記録再生信号を生成する信号生成工程と、前記信号生成工程で得られた前記磁気記録再生信号を検査する信号処理工程とを備えているので、ハードディスクドライブでの磁気記録媒体の実際の使用方法に近い高精度なサーティファイ検査が実現できる。また、本発明の磁気記録媒体の検査方法によれば、被検査媒体にサーボ情報を書き込むことなくサーティファイ検査できるので、被検査媒体にサーボ情報を書き込む場合と比較して、短時間で検査を行なうことができ、磁気記録媒体の生産性を著しく向上させることができる。また、本発明の磁気記録媒体の検査方法では、ハードディスクドライブに使用されているヘッドスタックアセンブリをそのまま使用できる。

また、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、本発明の磁気記録媒体の検査方法により検査を行う工程を含むので、高い検査精度で検査された信頼性に優れた磁気記録媒体を製造できる。

以下、本発明について詳細に説明する。
図１は、本発明の磁気記録媒体の検査方法を用いてサーティファイ検査される磁気記録媒体の一例を示す断面図である。図１に示す磁気記録媒体は、非磁性基板１の上下両面に、非磁性下地層２、磁性層３、保護層４、液体潤滑層５を順次積層してなる円盤状のものである。本発明において検査される磁気記録媒体としては、図１に示す両面タイプのものの他、非磁性基板の一方の面にのみ非磁性下地層、磁性層、保護層、液体潤滑層が順次積層されてなる片面タイプのものであってもよい。

図１に示す磁気記録媒体にサーティファイ検査を行なう前には、以下に示すように、グライド検査を行なうことが好ましい。グライド検査では、回転させた磁気記録媒体上に検査ヘッドを浮上させ、検査ヘッドにより磁気記録媒体表面を走査させることにより、磁気記録媒体の表面の突起物の有無を検査ヘッドからの信号で検査する。グライド検査工程を、サーティファイ検査の前に行なうことにより、サーティファイ検査での検査ヘッドの破損を防ぐことができる。

グライド検査に使用できる検査ヘッドとしては、感熱素子を有するヘッドが例示できる。感熱素子を有するヘッドを用いた場合、高速で回転している磁気記録媒体上に存在する突起物に検査ヘッドが接触すると、瞬間的に検査ヘッドで熱が発生し、その熱を感熱素子が検知して信号を出力することにより、グライド検査が実施可能となる。なお、グライド検査における検査ヘッドの浮上量は、ハードディスクドライブにおいて通常用いられる磁気記録再生ヘッドの浮上量よりも、低い浮上量で行うのが好ましい。

次に、図２〜図５を用いて磁気記録媒体のサーティファイ検査方法を説明する。図２は、本発明に係る磁気記録媒体のサーティファイ検査方法において用いられるサーティファイ検査装置の一例を示した斜視図である。また、図３は、図２に示すサーティファイ検査装置に備えられたヘッドスタックアセンブリ３１を第１支持アーム３２側から見た斜視図である。本実施形態では、図１に示す磁気記録媒体である２枚の被検査媒体に対してサーティファイ検査を行う場合を例に挙げて説明する。

図２において符号２１はマスター媒体を示し、符号２２は被検査媒体を示している。本実施形態では、被検査媒体２２として２枚の被検査媒体２２ａ、２２ｂが設置されている。マスター媒体２１および被検査媒体２２ａ、２２ｂは、円盤状の形状を有するものであり、図１に示す磁気記録媒体からなるものである。マスター媒体２１と被検査媒体２２ａ、２２ｂとは、平面視で重なる位置に設置されており、図２に示すように、スピンドルモータを備える回転機構２３によって同軸中心で同期回転されるようになっている。

図４は、本実施形態において用いられるマスター媒体を説明するための図であって、図４（ａ）は全体を示した平面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）の一部を拡大して示した拡大平面図である。図４において、符号Ｔはトラックを示し、符号Ｓはセクタを示している。図４に示すように、マスター媒体２１には、中心から放射状に連続して複数のサーボ情報領域２１ａが備えられており、隣接するサーボ情報領域２１ａ間がデータ情報領域２１ｂとされている。サーボ情報領域２１ａは、トラック位置情報およびセクタ位置情報からなるサーボ情報がそれぞれの位置に対応する記録領域に記録されてなるものである。

図２に示すように、マスター媒体２１は、マスター媒体２１および被検査媒体２２ａ、２２ｂを回転させるスピンドルの一番下側に設置され、マスター媒体２１の上方に２枚の被検査媒体２２ａ、２２ｂが同軸中心で設置されている。このようにマスター媒体２１および被検査媒体２２ａ、２２ｂを設置することで、検査媒体２２ａ、２２ｂのサーティファイ検査が終了した後、マスター媒体２１をサーティファイ検査装置から取り外すことなく、検査済みの検査媒体２２ａ、２２ｂと次にサーティファイ検査される被検査媒体とを交換することができる。

また、図２において符号３１はヘッドスタックアセンブリを示し、符号３２は第１支持アームを示し、符号３３は第２支持アームを示している。
第１支持アーム３２は、図３に示すように、マスター媒体２１からサーボ情報を読み込む第１磁気ヘッド３５が先端に取り付けられたものである。また、第２支持アーム３３は、第１支持アーム３２の上側（図２では下側）で第１支持アーム３２と平面視で重なる位置に設置され、被検査媒体２２の磁気記録再生を行なう第２磁気ヘッド２５が先端に取り付けられたものである。本実施形態では、第２支持アーム３３が４つ（３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ）設置されている。図２に示すように、第２支持アーム３３ａは被検査媒体２２ｂの表面上を移動可能とされ、第２支持アーム３３ｂは被検査媒体２２ｂの裏面上を移動可能とされている。また、第２支持アーム３３ｃは被検査媒体２２ａの表面上を移動可能とされ、第２支持アーム３３ｄは被検査媒体２２ａの裏面上を移動可能とされている。そして、４つの第２支持アーム３３それぞれの先端に取り付けられた第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄにより、２枚までの被検査媒体２２（本実施形態では２枚）の磁気記録再生を個別に行なうことができるようになっている。

第１磁気ヘッド３５と４つの第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄには、再生素子として巨大磁気抵抗変換効果を利用したＭＲ（ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子だけでなく、トンネル磁気抵抗変換効果を利用したＴｕＭＲ素子などを有する、高記録密度に適したヘッドを用いることができる。上記の中でも、ＴｕＭＲ素子を用いることによって、高精度なサーティファイ検査が可能となる。

また、図３に示すヘッドスタックアセンブリ３１では、第１支持アーム３２および４つの第２支持アーム３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄが一つのピボット（Ｐｉｖｏｔ）３６によって束ねられており、第１支持アーム３２および４つの第２支持アーム３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄがピボット３６を中心として同軸回転するようにされている。ピボット３６を中心とするヘッドスタックアセンブリ３１の回転は、コイル３７により行われる。コイル３７は、図２に示す信号処理回路２７によって制御される電流により駆動される。

また、図３に示すヘッドスタックアセンブリ３１では、第１支持アーム３２と４つの第２支持アーム３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄとが同軸中心で同期回転されることにより、第１磁気ヘッド３５と４つの第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄとが同期して移動されるようになっている。したがって、本実施形態においては、図２に示す第１磁気ヘッド３５のマスター媒体２１の表面上の移動と、図２に示す第２磁気ヘッド２５ａの被検査媒体２２ｂの表面上の移動と、第２磁気ヘッド２５ｂの被検査媒体２２ｂの裏面上の移動と、第２磁気ヘッド２５ｃの被検査媒体２２ａの表面上の移動と、第２磁気ヘッド２５ｄの被検査媒体２２ａの裏面上の移動とが、同期して行なわれることとなる。

また、図２に示す信号処理回路２７は、サーボ情報信号と磁気記録再生信号とを同期させて、被検査媒体２２における磁気記録再生信号を検査するものである。
サーボ情報信号は、信号処理回路２７からの第１ヘッド駆動信号により、第１磁気ヘッド３５にマスター媒体２１からサーボ情報を読み込ませて得られるものである。また、本実施形態において、磁気記録再生信号は、信号処理回路２７からの第２ヘッド駆動信号により、第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄに被検査媒体２２ａ、２２ｂのサーボ情報信号に対応した記録領域の磁気記録再生を行なわせて生成されるものである。信号処理回路２７は、サーボ情報信号と磁気記録再生信号とを交互に処理するものであることが好ましい。

また、信号処理回路２７は、フレキシブルプリント基板２６によって、第１磁気ヘッド３５および第２磁気ヘッド２５と電気的に接続され、第１磁気ヘッド３５からのサーボ情報信号や、第２磁気ヘッド２５からの磁気記録再生信号、信号処理回路２７からの第１ヘッド書込み信号、信号処理回路２７からの第２ヘッド書込み信号などが送受信可能とされている。このことにより、第１磁気ヘッド３５と４つの第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、信号処理回路２７からの信号によって、個々に駆動制御されるようになっている。
また、信号処理回路２７は、第１支持アーム３２および第２支持アーム３３を回転させるヘッド駆動装置２８と電気的に接続されており、信号処理回路２７にコイル３７を制御させることにより、第１支持アーム３２および第２支持アーム３３のピボット３６を中心とする回転が制御される。

したがって、本実施形態のヘッドスタックアセンブリ３１では、信号処理回路２７にコイル３７、第１磁気ヘッド３５、４つの第２磁気ヘッド２５を制御させて、第１支持アーム３２および４つの第２支持アーム３３を回転させることにより、第１磁気ヘッド３５と４つの第２磁気ヘッド２５とを同期して移動させ、被検査媒体２２ａ、２２ｂに対する第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄの位置がサーボ情報信号に基づいて決定されるようになっている。

また、図２に示すサーティファイ検査装置には、被検査媒体２２ａ、２２ｂの交換時にヘッドスタックアセンブリ３１を構成する第１磁気ヘッド３５および第２磁気ヘッド２５を退避させておくための退避エリア２９が設けられている。したがって、被検査媒体２２ａ、２２ｂの交換時に、第１磁気ヘッド３５および第２磁気ヘッド２５を退避エリア２９に移動させておくことで、ヘッドスタックアセンブリ３１を構成する第１支持アーム３２や第２支持アーム３３が被検査媒体の交換の邪魔になることを防止できる。

図２に示す磁気記録媒体のサーティファイ検査装置を用いて、２枚の被検査媒体のサーティファイ検査を行う場合には、まず、スピンドルの一番下側にマスター媒体２１を設置し、マスター媒体２１の上方に２枚の被検査媒体２２ａ、２２ｂを設置する。次いで、マスター媒体２１と被検査媒体２２ａ、２２ｂとを回転機構２３により同一の速度で同軸中心で同期回転させながら、第１磁気ヘッド３５と、第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄとを、マスター媒体２１および被検査媒体２２ａ、２２ｂの表面に対して同期して移動させる。
ここで、第１磁気ヘッド３５および第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、第１磁気ヘッド３５が先端に取り付けられた第１支持アーム３２と、第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄがそれぞれ先端に取り付けられた複数の第２支持アーム３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄとを同軸中心で同期回転させることにより同期して移動される。

続いて、信号処理回路２７からの第１ヘッド駆動信号により、第１磁気ヘッド３５にマスター媒体２１からサーボ情報を読み込ませて得られたサーボ情報信号に基づいて、被検査媒体２２ａ、２２ｂの被検査領域に第２磁気ヘッド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄを位置決めする（位置決め工程）。
このような位置決め工程を行うことにより、第１磁気ヘッド３５をマスター媒体２１の表面上に、第２磁気ヘッド２５ａを被検査媒体２２ｂの表面上に、第２磁気ヘッド２５ｂを被検査媒体２２ｂの裏面上に、第２磁気ヘッド２５ｃを被検査媒体２２ａの表面上に、第２磁気ヘッド２５ｄを被検査媒体２２ａの裏面上にそれぞれ浮上させる。

ここで、第２磁気ヘッド２５の位置決めされた位置である被検査媒体２２ａ、２２ｂの被検査領域について図面を用いて説明する。なお、被検査媒体２２ａ、２２ｂは同じものであり、被検査媒体２２ａ、２２ｂの表面と裏面とは同じものであるので、ここでは被検査媒体２２ａの表面についてのみ説明し、被検査媒体２２ｂの表面と裏面および被検査媒体２２ａの裏面についての説明を省略する。

図５は、本実施形態において用いられる被検査媒体２２ａの表面の一部を拡大して示した拡大平面図である。なお、図５においては、左右方向を被検査媒体２２ａのトラックの延在方向、上下方向を被検査媒体２２ａの半径方向として示している。図５において、符号Ｔ１、Ｔ２，Ｔ３、Ｔ４，Ｔ５、Ｔ６は、トラックを示し、符号２２ｃは被検査媒体２２ａにおけるマスター媒体２１のサーボ情報領域２１ａに対応するサーボ対応領域を示し、符号２２ｄは被検査媒体２２ａにおけるマスター媒体２１のデータ情報領域２１ｂに対応するデータ対応領域を示している。

図５に示すように、被検査媒体２２ａは、本実施形態において検査される複数の被検査領域２２ｅ（図５において斜線で示す領域）と、検査されない複数の未検査領域２２ｆとを有している。個々の被検査領域２２ｅは、位置決め工程において位置決めされた第２磁気ヘッド２５により１度に磁気記録再生される範囲であり、トラック毎にトラックの延在方向に区切られ、未検査領域２２ｆによって半径方向に区切られている。図５に示す被検査領域２２ｅは、それぞれサーボ情報領域２１ａを介して同一トラック位置で隣接する２つのデータ情報領域２１ｂを含むマスター媒体２１の領域（図４参照）に対応しており、同一トラック位置においてサーボ対応領域２２ｃを挟んで隣接する２つのデータ対応領域２２ｄを含む領域とされている。

また、被検査領域２２ｅの半径方向の位置は、図５に示すように、隣接する別のトラック位置に配置される被検査領域２２ｅと異なる位置に配置されている。すなわち、図５に示されるトラックＴ１、Ｔ３、Ｔ５の被検査領域２２ｅの配置されているサーボ対応領域２２ｃと、トラックＴ１、Ｔ３、Ｔ５に隣接するトラックＴ２、Ｔ４の被検査領域２２ｅのサーボ対応領域２２ｃとでは、半径方向の位置が異なっている。したがって、実施形態においては、トラックＴ１、Ｔ３、Ｔ５の被検査領域２２ｅの配置されていないサーボ対応領域２２ｃに、トラックＴ２、Ｔ４の被検査領域２２ｅが配置されている。

また、未検査領域２２ｆは、位置決め工程において、第１磁気ヘッド３５にマスター媒体２１からサーボ情報を読み込ませ、得られたサーボ情報信号に基づいて第一磁気ヘッド３５を位置決めすると、第１磁気ヘッド３５と同一軸上に固定されている第２磁気ヘッド２５も同時に位置決めされるが、この位置決め工程中に第２磁気ヘッド２５が浮上している領域である。未検査領域２２ｆは、図５に示すように、すべて、マスター媒体２１のサーボ情報領域２１ａに対応するサーボ対応領域２２ｃに位置しており、未検査領域２２ｆと被検査領域２２ｅとが、サーボ対応領域２２ｃ内において被検査媒体２２の半径方向にトラック毎に交互に配置されている。したがって、個々の未検査領域２２ｆのトラックの延在方向の幅は、サーボ対応領域２２ｃの幅となり、半径方向の幅は、トラック幅となっている。したがって、例えば、図５に示す未検査領域２２ｆ内に円形の欠陥が存在する場合、最も大きい欠陥の直径はトラック幅と同等となる。

なお、本実施形態においては、図５に示すように、被検査領域２２ｅが、マスター媒体２１の２つのデータ情報領域２１ｂを含む領域に対応している場合を例に挙げて説明したが、被検査領域２２ｅは、マスター媒体２１の３つ以上のデータ情報領域２１ｂを含む領域に対応していてもよい。
本発明においては、被検査領域２２ｅが広くなる（すなわち、トラックの延在方向に長くなる）ほど、被検査媒体２２上の未検査領域２２ｆの合計面積を小さくすることができるため好ましい。しかしながら、被検査領域２２ｅが広くなる（トラックの延在方向に長くなる）と、磁気ヘッドに１度に磁気記録再生される範囲が長くなり、被検査領域２２ｅに対する磁気ヘッドの位置決め精度が低下して、磁気記録媒体の検査精度が不十分となるおそれがある。

すなわち、本願発明で使用するマスター媒体２１に設けられるサーボ情報領域２１ａは、実際にハードディスクドライブで使用される位置に設けることも可能であるが、磁気ヘッドの位置決め精度に応じて適宜設けることが可能である。例えば、本発明の検査装置として、実際のハードディスクドライブに用いられる磁気ヘッドの位置決め機構を用いる場合は、被検査媒体２２上の検査領域の長さを実際のハードディスクドライブと同じに、トラック一周あたり２５６サーボセクタとし、マスター媒体２１に設けるサーボ情報領域２１ａをトラック一周あたり５１２サーボセクタし、このサーボ情報を１個おきに使用する。例えば、偶数トラックは偶数位置のサーボセクタを使用し、奇数トラックは奇数位置のサーボセクタを使用し検査を実施することができる。ここで、マスター媒体２１の一周のトラックで使用するサーボ情報は１個おきに限らず、複数おきに使用する事も可能である。例えば、一周あたり１０２４個のサーボ情報を記録したマスター媒体を用意し、第Ｎ番目のトラックでは第１番目のサーボセクタ情報を使用し、第２、３、４番目のサーボセクタ情報を使用せず、第５番目のサーボセクタ情報を使用し、これを繰り返す。また、第Ｎ＋１番目のトラックでは、第２、６、１０・・・番目のサーボセクタ情報を使用し、第Ｎ＋２番目のトラックでは、第３、７、１１・・・番目のサーボセクタ情報を使用する等の検査方法を用いることができる。

本発明では、被検査領域２２ｅは、２つまたは３つのデータ情報領域２１ｂを含む領域に対応していることが好ましく、検査精度を向上させるために２つのデータ情報領域２１ｂを含む領域に対応していることが最も好ましい。また、被検査領域２２ｅと対応する領域に含まれるマスター媒体２１のデータ情報領域２１ｂの数は、すべての被検査領域２２ｅにおいて同じあってもよいが、同じでなくてもよく、例えば、２つと３つとが混在していてもよい。

位置決め工程において第２磁気ヘッド２５の位置決めをした後、信号処理回路２７からの第２ヘッド駆動信号により、第２磁気ヘッド２５に被検査領域２２ｅの磁気記録再生を行なわせて磁気記録再生信号を生成させる（信号生成工程）。
その後、位置決め工程において得られた第１磁気ヘッド３５からのサーボ情報信号と、信号生成工程において得られたサーボ情報信号に対応した第２磁気ヘッド２５からの磁気記録再生信号は、信号処理回路２７に送られる。信号処理回路２７に受信されたサーボ情報信号および磁気記録再生信号は、信号処理回路２７により交互に処理され、信号処理回路２７により同期され、被検査媒体２２における磁気記録再生信号が検査される（信号処理工程）。

このような信号処理回路２７による磁気記録再生信号の検査により、被検査媒体２２のビットエラーレート検査や、パラメトリック（電磁変換特性）検査、ディフェクト検査（磁気記録媒体の欠陥や傷つきによる使用の可否検査）などのサーティファイ検査を行なうことができる。

ここで、被検査媒体２２ａ、２２ｂは、両面に磁性層が形成された両面タイプのものであるので、被検査媒体２２ａ、２２ｂの表裏両面に対して検査を行なう。図２に示す検査装置は、被検査媒体２２ｂの表面側には第２磁気ヘッド２５ａが配置され、被検査媒体２２ｂの裏面側には第２磁気ヘッド２５ｂが配置されている。よって、被検査媒体２２ｂを反転させることなく表裏両面を連続して検査することができる。なお、図２に示す検査装置では、被検査媒体２２ａの表面側には第２磁気ヘッド２５ｃが配置され、被検査媒体２２ａの裏面側には第２磁気ヘッド２５ｄが配置されている。よって、被検査媒体２２ａも反転させることなく表裏両面を連続して検査することができる。

本実施形態においては、２枚の被検査媒体２２ａ、２２ｂの検査の順序については特に限定されない。２枚の被検査媒体２２ａ、２２ｂの検査は、例えば、以下に示す順序で行うことができる。すなわち、被検査媒体２２ｂの表面の被検査領域２２ｅ、被検査媒体２２ｂの裏面の被検査領域２２ｅ、被検査媒体２２ａの表面の被検査領域２２ｅ、被検査媒体２２ａの裏面の被検査領域２２ｅ、被検査媒体２２ｂの表面の他の被検査領域２２ｅ、被検査媒体２２ｂの裏面の他の被検査領域２２ｅ、・・・・・。

このような順序で２枚の被検査媒体２２ａ、２２ｂの検査を行なうことにより、例えば、被検査媒体２２ｂの表面の全ての被検査領域２２ｅを検査した後、被検査媒体２２ｂの裏面の全ての被検査領域２２ｅを検査し、その後、被検査媒体２２ａについて被検査媒体２２ｂと同様にして検査を行なう場合と比較して、第１磁気ヘッド３５および第２磁気ヘッド２５の移動距離が短くなり、第１磁気ヘッド３５および第２磁気ヘッド２５の移動時間を短縮させることができる。

また、本実施形態においては、１台の検査装置で２枚の被検査媒体の検査を行なうことができるので、被検査媒体を交換する手間を削減するこができるとともに、検査装置の台数を減らすことができる。

その後、第１磁気ヘッド３５および第２磁気ヘッド２５を退避エリア２９に退避させて、被検査媒体２２ａ、２２ｂを取り外し、新たな被検査媒体に交換し、上記と同様にして検査を行なう。

本実施形態の磁気記録媒体の検査方法では、サーボ情報信号に基づいて被検査媒体２２の被検査領域２２ｅに第２磁気ヘッド２５を位置決めする位置決め工程と、第２磁気ヘッド２５に被検査領域２２ｅの磁気記録再生を行なわせて磁気記録再生信号を生成する信号生成工程と、磁気記録再生信号を検査する信号処理工程とを備え、マスター媒体２１が、中心から放射状に連続してサーボ情報の記録されたサーボ情報領域２１ａを備えたものであり、被検査領域２２ｅが、サーボ情報領域２１ａを介して同一トラック位置で隣接する２以上のデータ情報領域２１ｂを含むマスター媒体２１の領域に対応しており、被検査領域２２ｅの半径方向の位置が、隣接する別のトラック位置に配置される被検査領域２２ｅと異なる位置に配置されているので、被検査媒体２２におけるマスター媒体２１のサーボ情報領域２１ａに対応する領域の一部が被検査領域２２ｅに含まれることになる。
したがって、本実施形態の磁気記録媒体の検査方法では、被検査媒体２２におけるマスター媒体２１のサーボ情報領域２１ａに対応する領域の全部が未検査領域２２ｆである場合と比較して、被検査媒体２２上に、複数の未検査領域２２ｆが中心から放射状に一体化されてなる検査されない広い領域が形成されることもなく、トラック幅よりも直径の大きな欠陥を効果的に検知できる。

また、本実施形態の磁気記録媒体の検査方法では、被検査領域２２ｅが、２つのデータ情報領域２１ｂを含む領域に対応しているので、大きな欠陥を効果的に検知できるとともに、十分に高い被検査領域２２ｅに対する磁気ヘッドの位置決め精度が得られる。

また、本実施形態の磁気記録媒体の検査方法では、第１磁気ヘッド３５からのサーボ情報信号と、このサーボ情報信号に対応した第２磁気ヘッド２５からの磁気記録再生信号とを交互に処理するものであるので、第１磁気ヘッド３５からの信号処理系、および第２磁気ヘッド２５からの信号処理系の共通化を図ることが可能となり、本願発明に用いる検査装置を簡略化することができる。

また、本実施形態の磁気記録媒体の検査方法では、被検査媒体２２上の被検査領域２２ｅに対する第２磁気ヘッド２５の位置決めを、マスター媒体２１のサーボ信号に基づいて制御して行なう。このため、ハードディスクドライブでの磁気記録媒体の実際の使用方法に近い高精度なサーティファイ検査が実現できる。

また、本実施形態において、サーボ情報信号は、被検査媒体２２上の被検査領域２２ｅに対する第２磁気ヘッド２５の位置決めを制御するための信号である。したがって、本実施形態によれば、被検査媒体２２にサーボ情報を書き込むことなくサーティファイ検査を行なうことができ、被検査媒体にサーボ情報を書き込む場合と比較して、短時間で検査を行なうことができ、磁気記録媒体の生産性を著しく向上させることができる。

また、本実施形態においては、マスター媒体２１がスピンドルの一番下側に設置され、マスター媒体２１の上方に被検査媒体２２が設置されているので、被検査媒体のみを交換し、マスター媒体２１を繰り返し使用して、連続的に多数の被検査媒体の検査を行うことができ、サーティファイ検査のスループットを著しく高めることができる。

また、通常、ハードディスクドライブで用いられているヘッドスタックアセンブリは、複数のヘッドからの信号を処理するプリアンプを１つだけ有するため、複数のヘッドからの信号を切り替えて１つのプリアンプで処理している。
本実施形態の磁気記録媒体の検査方法では、第１磁気ヘッド３５に読み込ませて得られたサーボ情報信号と、第２磁気ヘッド２５に磁気記録再生を行なわせて得られた磁気記録再生信号とを同期させて、被検査媒体２２における磁気記録再生信号を検査する信号処理回路２７を用いているので、ヘッドスタックアセンブリ３１として、ハードディスクドライブで用いられているヘッドスタックアセンブリをそのまま用いることが可能となる。
また、本実施形態の磁気記録媒体の検査方法において、ヘッドスタックアセンブリ３１として、ハードディスクドライブで用いられているヘッドスタックアセンブリをそのまま用いた場合、小型の検査装置となる、低価格で製造できる、ハードディスクドライブでの磁気記録媒体の実際の使用方法により一層近い高精度なサーティファイ検査が実現できるなどの効果が得られる。

なお、本実施形態においては、被検査媒体が２枚の場合の例を挙げて説明したが、本発明の磁気記録媒体の検査方法は、上記の例に限定されるものではない。
例えば、被検査媒体は、ヘッドスタックアセンブリ３１に設けられた第２磁気ヘッドの数の半分以下の任意の数とすることができ、１枚でもよい。
また、本実施形態においては、第２磁気ヘッドの数を４つとしたが、ヘッドスタックアセンブリ３１に設置された全ての第２磁気ヘッドおよび第１磁気ヘッドを安定して同軸中心で同期回転できる数であれば、任意の数とすることができる。

また、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上述した磁気記録媒体の検査方法により検査を行う工程を含む方法である。本発明の磁気記録媒体の製造方法によれば、高い検査精度で検査された信頼性に優れた磁気記録媒体が得られる。

以下、実施例を示して、本発明を具体的に説明するが本発明はこれに限定されるものではない。
（実施例）
外径２．５インチの図１に示す磁気記録媒体を製造し、磁気記録媒体に対してグライド検査およびサーティファイ検査を行った。
「グライド検査」
グライド検査では、検査ヘッドと磁気記録媒体表面の間の機械的なスペーシングを、０．２５マイクロインチに設定し、検査ヘッドから、磁気記録媒体表面の突起物との衝突に起因するシグナルが出力された場合は、その磁気記録媒体は不良品と判断し、それ以外は良品と判断した。

「サーティファイ検査」
グライド検査において良品と判断された１枚の磁気記録媒体を披検査媒体として以下に示すサーティファイ検査を実施した。サーティファイ検査は、図２および図３に示す検査装置を用いて行った。
なお、第１磁気ヘッドおよび第２磁気ヘッドとしては、２．５“ ６０Ｇバイト（１枚）対応のハードディスクドライブに用いられるＴｕＭＲヘッドを用いた。また、ヘッドスタックアセンブリとして、ハードディスクドライブに使用されている汎用のヘッドスタックアセンブリを使用した。

また、マスター媒体としては、中心から放射状に連続して複数のサーボ情報領域が備えられており、隣接するサーボ情報領域間がデータ情報領域とされているものを用いた。なお、マスター媒体は、磁気記録媒体のハードディスクドライブ内での実際の使用に即して、トラックピッチが０．１μｍであり、片面あたり１００，０００本のトラック位置情報とトラック一周あたり実際のハードディスクドライブに用いられるサーボセクタ数の約２倍のセクタ数の５１２のセクタ位置情報とからなるサーボ情報が、サーボ情報領域の対応する記録領域に記録されているものを用いた。さらに、マスター媒体の半径２０ｍｍ位置において、各サーボ情報領域のトラックの延在方向の長さは約６０μｍであり、各データ情報領域のトラックの延在方向の長さは約４３０μｍであった。

サーティファイ検査では、まず、スピンドルの一番下側にマスター媒体を設置し、マスター媒体の上方に１枚の被検査媒体を設置した。次いで、マスター媒体および被検査媒体を同軸中心で同期させて３６００ｒｐｍで回転させながら、第１磁気ヘッドと第２磁気ヘッドとを、マスター媒体および被検査媒体の表面に対して同期して移動させ、第１磁気ヘッドにマスター媒体からサーボ情報を読み込ませ、得られたサーボ情報信号に基づいて、被検査媒体の表面上の被検査領域に第２磁気ヘッドを位置決めした（位置決め工程）。
その後、第２磁気ヘッドに被検査領域の磁気記録再生を行なわせて磁気記録再生信号を生成させた（信号生成工程）。次いで、このようにして得られた磁気記録再生信号を検査した（信号処理工程）。

なお、位置決め工程において第２磁気ヘッドの位置決めされた位置である被検査媒体の被検査領域は、サーボ情報領域を介して同一トラック位置で隣接する２つのデータ情報領域を含むマスター媒体の領域に対応しているものとした。また、被検査領域の半径方向の位置は、隣接する別のトラック位置に配置される被検査領域と異なる位置とした。
具体的には、被検査媒体の最外トラックは、あるセクタ位置を起点として、２、４、６、８、１０・・・番目（偶数番目）のセクタ位置のデータ対応領域（マスター媒体のデータ情報領域に対応する領域）からトラックの延在方向にデータ対応領域２つ分とサーボ対応領域（マスター媒体のサーボ情報領域に対応する領域）１つ分に相当する距離について磁気記録再生信号を生成させ、最外トラックに隣接する内側のトラックでは、最外トラックの起点としたセクタ位置に隣接するセクタ位置を起点として、１、３、５、７、９・・・番目（奇数番目）のセクタ位置のデータ対応領域からトラックの延在方向にデータ対応領域２つ分とサーボ対応領域１つ分に相当する距離について磁気記録再生信号を生成させ、その内側のトラックについては、最外トラックに隣接する内側のトラックの起点としたセクタ位置に隣接するセクタ位置を起点として、偶数番目のセクタ位置のデータ対応領域からトラックの延在方向にデータ対応領域２つ分とサーボ対応領域１つ分に相当する距離について磁気記録再生信号を生成させ、そのトラックよりもさらに内側のトラックについても同様にして磁気記録再生信号を生成させた。
また、磁気記録再生信号の検査は、被検査媒体の外側のトラックから内側のトラックに向かって連続して行った。

このようにして、磁気記録再生信号の検査を行うことにより、被検査媒体の表面の該当する記録領域（トラック及びセクタ位置）の電磁変換特性検査・ビットエラーレート検査をこの順で行なった。

その後、被検査媒体の表面に対する上記の検査と同様にして、被検査媒体の裏面の該当する記録領域の電磁変換特性検査・ビットエラーレート検査をこの順で行なった。
その後、被検査媒体の表面に対する上記の検査と同様にして、被検査媒体の両面全面の記録領域のディフェクト検査を行なった。

このような磁気記録媒体の検査を行なうことにより、簡便に、ハードディスクドライブでの磁気記録媒体の実際の使用方法に近い方法で、高精度のサーティファイ検査が実現できた。

図１は、本発明の磁気記録媒体の検査方法を用いてサーティファイ検査される磁気記録媒体の一例を示す断面図である。 図２は、本発明に係る磁気記録媒体のサーティファイ検査方法において用いられるサーティファイ検査装置の一例を示した斜視図である。 図３は、図２に示すサーティファイ検査装置に備えられたヘッドスタックアセンブリを第１支持アーム側から見た斜視図である。 図４は、本実施形態において用いられるマスター媒体を説明するための図であって、図４（ａ）は全体を示した平面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）の一部を拡大して示した拡大平面図である。 図５は、本実施形態において用いられる被検査媒体の表面の一部を拡大して示した拡大平面図である。 図６は、円盤状の被検査媒体の一部を拡大して示した拡大平面図である。

符号の説明

１…非磁性基板、２…非磁性下地層、３…磁性層、４…保護層、４ｃ、２２ｃ…サーボ対応領域、４ｄ、２２ｄ…データ対応領域、４ｅ、２２ｅ…被検査領域、４ｆ、２２ｆ…未検査領域、５…液体潤滑層、２１…マスター媒体、２１ａ…サーボ情報領域、２１ｂ…データ情報領域、２２、２２ａ、２２ｂ、４０…被検査媒体、２３…回転機構、２５、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ…第２磁気ヘッド、２６…フレキシブルプリント基板、２７…信号処理回路、２８…ヘッド駆動装置、２９…退避エリア、３１…ヘッドスタックアセンブリ、３２…第１支持アーム、３３、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ…第２支持アーム、３５…第１磁気ヘッド、３６…ピボット、３７…コイル、Ｔ、Ｔ１、Ｔ２，Ｔ３、Ｔ４，Ｔ５、Ｔ６…トラック、Ｓ…セクタ。

Claims (5)

1. サーボ情報の記録された円盤状のマスター媒体と円盤状の被検査媒体とを同軸中心で同期回転させながら、前記マスター媒体から前記サーボ情報を読み込む第１磁気ヘッドと、前記被検査媒体の磁気記録再生を行なう第２磁気ヘッドとを、前記マスター媒体および前記被検査媒体の表面に対して同期して移動させ、前記第１磁気ヘッドに前記マスター媒体から前記サーボ情報を読み込ませて得られたサーボ情報信号に基づいて、前記被検査媒体の被検査領域に前記第２磁気ヘッドを位置決めする位置決め工程と、
   前記第２磁気ヘッドに、前記被検査領域の磁気記録再生を行なわせて磁気記録再生信号を生成する信号生成工程と、
   前記信号生成工程で得られた前記磁気記録再生信号を検査する信号処理工程とを備え、
   前記マスター媒体が、中心から放射状に連続して前記サーボ情報の記録されたサーボ情報領域を備えたものであり、
   前記被検査領域が、前記サーボ情報領域を介して同一トラック位置で隣接する２以上のデータ情報領域を含む前記マスター媒体の領域に対応しており、前記被検査領域の半径方向の位置が、隣接する別のトラック位置に配置される前記被検査領域と異なる位置に配置されていることを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
2. 前記被検査領域が、２つのデータ情報領域を含む領域に対応していることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の検査方法。
3. 前記第１磁気ヘッドからのサーボ情報信号と、このサーボ情報信号に対応した前記第２磁気ヘッドからの磁気記録再生信号とを交互に処理するものであることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体の検査方法。
4. 前記被検査媒体が複数枚であり、前記位置決め工程において、前記マスター媒体と前記複数枚の前記被検査媒体とが同軸中心で同期回転され、前記第１磁気ヘッドが先端に取り付けられた第１支持アームと、前記第２磁気ヘッドが先端に取り付けられた複数の第２支持アームとを同軸中心で同期回転させることにより、前記第１磁気ヘッドと前記複数の第２支持アームに各々取り付けられている複数の第２磁気ヘッドとが同期して移動され、
   前記信号生成工程において、前記複数の第２磁気ヘッドに、前記複数枚の被検査媒体それぞれの前記被検査領域の磁気記録再生を行なわせて、それぞれの磁気記録再生信号を生成させることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の磁気記録媒体の検査方法。
5. 請求項１〜４の何れか１項に記載の磁気記録媒体の検査方法により検査を行う工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

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