JP5034295B2 - 応力測定方法及び装置 - Google Patents
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Description
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
取得した前記位相分布像を解析することにより、前記評価領域における応力分布を測定する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料に加わる応力との関係を記述するデータベースを用意し、
前記データベースを参照することにより、前記位相分布像から前記評価領域における応力分布を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料の屈折率との関係と、前記試料の屈折率と前記試料の密度との関係と、前記試料の密度と前記試料に加わる応力との関係を互いに関連づけることにより、前記データベースを作成する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記評価領域中の無応力状態にある領域の位相を参照値とし、前記参照値と任意の領域における位相との位相差から、前記任意の領域における応力の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記評価領域中の任意の領域における応力値を論理計算により算出し、前記任意の領域における位相を参照値として、前記参照値と他の任意の領域における位相との位相差から、前記他の任意の領域における応力の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記位相分布像から、前記評価領域における前記試料の屈折率分布を測定する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料の屈折率との関係を記述するデータベースを用意し、
前記データベースを参照することにより、前記位相分布像から屈折率分布を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記評価領域中の無応力状態にある領域の位相を参照値とし、前記参照値と任意の領域における位相との位相差から、前記任意の領域における屈折率の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記評価領域中の任意の領域における屈折率の値を論理計算により算出し、前記任意の領域における位相を参照値として、前記参照値と他の任意の領域における位相との位相差から、前記他の任意の領域における屈折率の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記位相分布像から、前記評価領域における前記試料の密度分布を測定する
ことを特徴とする応力測定方法。
試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料の密度との関係を記述するデータベースを用意し、
前記データベースを参照することにより、前記位相分布像から密度分布を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料の屈折率との関係と、前記試料の屈折率と前記試料の密度との関係とを関連づけることにより、前記データベースを作成する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記評価領域中の無応力状態にある領域の位相を参照値とし、前記参照値と任意の領域における位相との位相差から、前記任意の領域における密度の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記評価領域中の任意の領域における密度の値を論理計算により算出し、前記任意の領域における位相を参照値として、前記参照値と他の任意の領域における位相との位相差から、前記他の任意の領域における密度の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記位相分布像は、前記試料により得られる前記エネルギー線のホログラムを変換することにより取得する
ことを特徴とする応力測定方法。
前記エネルギー線は、電子線である
ことを特徴とする応力測定方法。
前記ホログラムを変換することにより電子線の位相分布像を取得し、取得した前記位相分布像を解析することにより、前記評価領域における応力分布を算出する処理装置と
を有することを特徴とする応力測定装置。
12…試料制御装置
14…画像取り込み装置
16…処理装置
18…入力装置
20…外部記憶装置
22…表示装置
30…電界放出型電子銃
32…コンデンサレンズ
34…評価試料
36…対物レンズ
38…対物絞り
40…バイプリズム
40a…電極
40b…接地電極
Claims (12)
- 試料の評価領域に、電子線、原子線、又はX線であるエネルギー線を入射し、前記試料を透過した前記エネルギー線の前記評価領域内における位相分布像を取得し、
取得した前記位相分布像を解析することにより、前記評価領域における応力分布を測定する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項1記載の応力測定方法において、
前記試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料に加わる応力との関係を記述するデータベースを用意し、
前記データベースを参照することにより、前記位相分布像から前記評価領域における応力分布を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項2記載の応力測定方法において、
前記試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料の屈折率との関係と、前記試料の屈折率と前記試料の密度との関係と、前記試料の密度と前記試料に加わる応力との関係を互いに関連づけることにより、前記データベースを作成する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の応力測定方法において、
前記評価領域中の無応力状態にある領域の位相を参照値とし、前記参照値と任意の領域における位相との位相差から、前記任意の領域における応力の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の応力測定方法において、
前記評価領域中の任意の領域における応力値を論理計算により算出し、前記任意の領域における位相を参照値として、前記参照値と他の任意の領域における位相との位相差から、前記他の任意の領域における応力の絶対値を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項1記載の応力測定方法において、
前記位相分布像から、前記評価領域における前記試料の屈折率分布を測定する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項6記載の応力測定方法において、
前記試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料の屈折率との関係を記述するデータベースを用意し、
前記データベースを参照することにより、前記位相分布像から屈折率分布を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項1記載の応力測定方法において、
前記位相分布像から、前記評価領域における前記試料の密度分布を測定する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項8記載の応力測定方法において、
試料を透過した前記エネルギー線の位相と前記試料の密度との関係を記述するデータベースを用意し、
前記データベースを参照することにより、前記位相分布像から密度分布を算出する
ことを特徴とする応力測定方法。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の応力測定方法において、
前記試料は、非晶質を含む構造体であり、
前記評価領域は、前記試料中の非晶質である
ことを特徴とする応力測定方法。 - 試料の評価領域に電子線、原子線、又はX線を入射し、前記試料を透過した電子線の前記評価領域内におけるホログラムを取得する電子顕微鏡と、
前記ホログラムを変換することにより電子線、原子線、又はX線の位相分布像を取得し、取得した前記位相分布像を解析することにより、前記評価領域における応力分布を算出する処理装置と
を有することを特徴とする応力測定装置。 - 請求項11記載の応力測定装置において、
前記試料は、非晶質を含む構造体であり、
前記評価領域は、前記試料中の非晶質である
ことを特徴とする応力測定装置。
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