JP5032336B2 - 複数ヘッドデコーダの複数のレベルを使用した高密度メモリアレイの階層復号化のための機器および方法 - Google Patents
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Description
この発明は、メモリアレイ、特にピッチが極めて小さいアレイ線を組入れるメモリアレイを含む半導体集積回路に関し、より詳細には、三次元メモリアレイを有する半導体集積回路に関する。
半導体処理技術およびメモリセル技術における最近の発展により、集積回路のメモリアレイにおいて達成される密度は増大し続けてきた。たとえば、特定のワード線相互接続層について最小加工寸法(F)および最小機能間隔に近いワード線を有し、さらに特定のビット線相互接続層について最小機能幅および最小機能間隔に近いビット線を有するある特定の受動素子メモリセルアレイが製造され得る。さらに、メモリセルの2つ以上の面またはレベルを有する三次元メモリアレイが、各々のメモリ面上にこのようないわゆる4F2メモリセルを実現して製造されてきた。例示的な三次元メモリアレイは、「垂直に積み重ねられたフィールドプログラマブル不揮発性メモリおよび製造の方法(Vertically Stacked Field Programmable Nonvolatile Memory and Method of Fabrication)」と題される、ジョンソン(Johnson)らの米国特許第6,034,882号に記載される。
ワード線およびビット線のためのデコーダ回路を実現するのに必要な面積は、セルの大きさのように著しい縮小を容易に達成してこなかった。その結果、このような非常に高密
度のアレイ内でこのようなタイトな間隔のワード線およびビット線にワード線デコーダおよびビット線デコーダを接続することは極めて困難になり、そうでなければ達成可能であるメモリアレイの密度を制限する可能性がある。これは、ピッチが非常に小さい多数のアレイ線と接続できるデコーダ構造に特に当てはまり、特にこのようなアレイ線が、メモリセルの2つ以上の面を有する三次元メモリアレイのように、メモリアレイ内の2つ以上の層上に存在する場合に当てはまる。
少なくとも2つの階層型複数ヘッドデコーダ回路を組入れる例示的な階層型デコーダが図1に示され、図1は階層型の、複数レベルの複数ヘッドデコーダ回路100を示す。第1のレベルのデコーダ回路102は複数の第1のレベルの復号化された出力103を発生させ、複数の第1のレベルの復号化された出力103はさらに第2のレベルの復号化ブロック104によって復号化される。これらの第1のレベルの復号化された出力103の各々は、それぞれの第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路110を駆動する。これらの第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路110の各々は複数のデコーダ「ヘッド」を含み、複数のデコーダヘッドの各々は複数の第2のレベルの復号化された出力105のそれぞれ1つを駆動し、複数の第2のレベルの復号化された出力105はさらに第3のレベルの復号化ブロック106によって復号化される。これらの第2のレベルの復号化された出力105の各々は、それぞれの第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路130を駆動する。これらの第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路130の各々は複数のデコーダヘッドを含み、複数のデコーダヘッドの各々は複数の第3のレベルの復号化された出力107のそれぞれ1つを駆動する。第3のレベルの復号化された出力107は、メモリアレイの個々の
アレイ線(たとえば、ワード線、ビット線)を表わす場合もあれば、メモリアレイのこのようなアレイ線に間接的に結合される場合もある。
下に空間的に分散され、個々のメモリアレイブロック(その2つは306、308と名付けられる)の交互の側で垂直接続部(その1つは310と名付けられる)によってワード線に接続する。メモリアレイは、それぞれにアレイの上部、中間および底部における3個の列デコーダおよびビット線回路ブロック312、314、316によって2つの「ストライプ」318、320に分割される。各ストライプ内のビット線はさらに、列に関連する回路のピッチ要件を緩くするために2:1で交互配置される。一例として、ビット線322は上部の列回路ブロック312に関連付けられる(すなわち、上部の列回路ブロック312によって駆動および検知される)のに対して、ビット線324は中間の列回路ブロック314に関連付けられる。
Line Arrangement Having Multi-Layer Word Line Segments for Three-Dimensional Memory Array)」、すなわち米国特許出願公開番号第2004−0190360 A1号(現在の米国特許第6,879,505号)に記載され、この出願は引用によって全文が本明細書に援用される。
メモリアレイ300の各ストライプは、ブロック308などの多数のブロックに分割される。示される例示的な実施例では、各々のブロックはそれぞれの4つのメモリ面について4つのビット線の層の各々の上に288本のビット線を含み、したがって、ブロック当たり合計1,152本のビット線になる。これらのビット線は2:1で交互配置されるため、アレイブロックの上部および底部における列デコーダの各々は576本のビット線と接続する。
ぞれ1つに結合する。たとえば、1つのこのようなデコーダヘッドは、P−チャネルトランジスタ364によって、関連付けられるビット線362をその関連付けられるバス線I/O[12]に結合する。代替的に、XCSEL線354が選択されないときには、このヘッドは、N−チャネルトランジスタ366によって、その関連付けられるビット線362を、BLOCK 1に関連付けられる共通の選択されないバイアス線368に結合する。
15内に配置され、バス線I/O[15]に結合される。16本のI/O線の各々は関連付けられるバイアス回路にも結合されてもよく、関連付けられるバイアス回路は、プログラムされるようにそれらのビット線に適正にバイアスをかけ、「選択された」16本のビット線内でプログラムされないようにそれらのビット線に適正にバイアスをかけるために動作のプログラミングモード中に使用され得る。これらのバイアス回路はディスエーブルにされることができ、選択されたビット線がそれぞれのセンス増幅器に結合される動作の読出モード中に高出力インピーダンスを示すようにされ得る。
理的な配置を表わす。
のような図は自明のものであると考えられるが、いくつかの際立った点を保証できる。4個のバイアス回路が各ブロック内に示される。各バイアス回路の相補出力は、ブロックのそれぞれ4分の1にわたって水平に横断し、ブロックのそれぞれ4分の1内でデコーダヘッドに供給する。対照的に、9本のグローバル列選択線CSGは16個のブロックすべてにわたって横断し、16個のブロックすべてにおいてデコーダヘッドに供給する。16ヘッド列セレクタ(すなわち、図3におけるデコーダヘッド356)および3個のトランジスタのXCSELデコーダヘッド400はアレイの外側で実現されて示されるのに対して、バイアス回路およびグローバル列選択線デコーダはアレイの下に実現されて示される。
図2に示される例示的なアレイ300に戻って参照して、(ブロック308)などの各ブロックは4,096本のアドレス指定可能なワード線を含み、各々はともにおよびアレイブロックの下に配置されるワード線ドライバに垂直に接続された4つのワード線の層の各々の上にワード線セグメントを含む。好ましい実施例では、テストおよび冗長性をサポートするために追加のワード線が含まれ、これはたとえばブロック当たり88本の追加のワード線を加え、合計4,184本のワード線になる。これらのワード線は2:1で交互配置されるため、ワード線復号化回路は各メモリブロック間で2,092個のワード線接続部(たとえば、垂直接続部310)に接続しなければならない。
のグループを共有する。同様に、4ヘッドワード線ドライバ508ならびにブロック502および504の両方におけるワード線に関連付けられる追加のワード線ドライバ回路はすべてが、行バイアス回路512によって発生する4本の選択されたバイアス線XSEL<0>、XSEL<1>…XSEL<3>およびそれぞれの選択されないバイアス線UXLのそれぞれのグループを共有する。(BLK<i>とも名付けられる)ブロック504が選択されると、行バイアス回路512、514は両方BLKE[i]信号516によってイネーブルにされる。各々の行バイアス回路は、4個のヘッドのうちどれが選択されるかを選択するための行アドレスRAD[2:1]の2ビット部分にも応答し、ある特定の動作モード中に、選択されたバイアス線および/または選択されないバイアス線を浮動させるためのFLOAT信号、ならびに動作のある特定のモード中にUXL線が駆動される電圧を伝えるVUX入力に応答する。
メントを有するワード線の配置」、すなわち米国特許出願公開番号第2004−0190360 A1号(米国特許第6,879,505号)にさらに記載される。
Same, and Related Methods of Operation)」と題される、2004年12月30日に出願された米国出願番号第11/026,493号にさらに記載され、この出願は引用によって全文が本明細書に援用される。
各々においてオンであり、トランジスタ562、563が十分な転送ゲートを形成するので、各々のヘッドは、ヘッドが結合される関連付けられる選択されたバイアス線上で伝えられるいかなるバイアスレベルにもその出力を駆動する。
ことができ、これは引用によって全文が本明細書に援用され、同様のメモリアレイに好適なバイアス条件および回路のさらなる説明はさらに、クリーブランド(Kleveland)らによる「連続チェーンダイオードスタックを組入れる三次元メモリアレイ(Three-Dimensional Memory Array Incorporating Serial Chain Diode Stack)」、すなわち米国特許第6,631,085号に見られることができ、これは引用によって全文が本明細書に援用される。
階層型の、複数レベルの複数ヘッドデコーダ回路の別の例示的な実施例がNANDストリングを組入れる三次元の読出/書込メモリアレイのためのワード線デコーダの文脈の中で紹介される。ここで図9を参照して、ブロック図は3個のメモリアレイブロック602、604、606を示す。1個のワード線デコーダ608は階層型デコーダ610を含み、その復号化された出力は複数ヘッドインバウンドワード線デコーダ612および複数ヘッドアウトバウンドワード線デコーダ614を駆動する。階層型デコーダ610はメモリアレイブロック604の下に都合よく実現される(したがって、行ブロックであると考えられる)のに対して、インバウンドワード線デコーダ612およびアウトバウンドワード線デコーダ614はアレイブロックの外側に(すなわち、アレイブロック604とアレイブロック606との間に)実現される。同様に、別のワード線デコーダは、階層型デコーダ620と、複数ヘッドインバウンドワード線デコーダ622と、複数ヘッドアウトバウンドワード線デコーダ624とを含む。アレイブロック604内のワード線は2:1で交互配置され、半分は複数ヘッドインバウンドワード線デコーダ612によって駆動され、残余の半分は複数ヘッドインバウンドワード線デコーダ622によって駆動される。
えば、656、657)は好ましくは、一方のこのようなデコーダ(たとえば、656)に関連付けられる(4つの層の各々の上の)8本のワード線が他方のこのようなデコーダ(たとえば、657)に関連付けられる(4つの層の各々の上の)8本のワード線に重なるように配置される。
ようなワード線は好ましくは接地などの同一のレベルに駆動される。
第US2004−0124466 A1号として公開されている米国出願番号第10/335,089号に記載され、この出願は引用によって全文が本明細書に援用され、例示的な三次元NANDストリングメモリアレイ、動作の方法およびその製造のさらなる詳細はさらに、ルカ・ジィ・ファソリおよびロイ・イー・ショイアーレインによる「複数のタイプのNANDストリング構造を組入れるメモリアレイを含む集積回路(Integrated Circuit Including Memory Array Incorporating Multiple Types of NAND String Structures)」、すなわち2004年12月30日に出願された米国出願番号第11/026,492号に記載され、この出願は引用によって全文が本明細書に援用される。
、ビット線は「検知される」ことが当業者によって想定される。この点で、X−線(または、ワード線)は通常、メモリセルトランジスタのゲート端子、またはもしあればメモリセルスイッチデバイスのスイッチ端子に接続されるように企図される。Y−線(または、ビット線)は通常、メモリセルの切換られる端子(たとえば、ソース/ドレイン端子)に接続されるように企図される。第2に、メモリ編成(たとえば、データバスの幅、動作中に同時に読出されるビットの数など)は、データ「ワード」よりもむしろデータ「ビット」と整列する2本のアレイ線の1組を見ることに何らかの関連を有し得る。その結果、X−線、ワード線および行線、ならびにY−線、ビット線および列線という本明細書における名称はさまざまな実施例を例証するが、限定的な意味ではなくむしろより一般的な意味で見なされるべきである。
02年12月19日に出願されたハーナー(Herner)らによる米国特許出願番号第10/326,470号に記載されるものを含むが、それらに限定されない。これらの列挙された開示の各々は引用によって全文が本明細書に援用される。
。本明細書に開示される実施例の変形例および修正例は、この発明の範囲および精神から逸脱することなく、本明細書に示される説明に基づいてなされ得る。すべての等価物を含む特許請求の範囲のみが、この発明の範囲を定義するように意図される。さらに、上述の実施例は、単独でおよびさまざまな組合せの状態で使用されるように具体的に企図される。したがって、本明細書に記載されない他の実施例、変形例および改良は必ずしもこの発明の範囲から除外されるとは限らない。
Claims (40)
- 集積回路であって、
メモリセルに結合される第1および第2のタイプのアレイ線を備えるメモリアレイと、
アドレス情報を復号化し、第1のタイプの1つ以上のアレイ線を選択するための第1の階層型デコーダ回路とを備え、前記第1の階層型デコーダ回路は、複数のアドレス信号入力を復号化し、複数の第1のレベルの復号化された出力を発生させるための第1のレベルのデコーダ回路と、複数ヘッドデコーダ回路の少なくとも2つの階層レベルとを備え、
前記複数ヘッドデコーダ回路の2つの階層レベルは、
複数の第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路を含み、各々それぞれ1つはそれぞれの第1のレベルの復号化された出力に結合され、各々はそれぞれの複数の第2のレベルの復号化された出力をもたらすためのものであり、前記複数ヘッドデコーダ回路の2つの階層レベルはさらに、
複数の第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路を含み、各々それぞれ1つはそれぞれの第2のレベルの復号化された出力に結合され、各々はメモリアレイに結合されるそれぞれの複数の第3のレベルの復号化された出力をもたらすためのものである、集積回路。 - メモリアレイは少なくとも2つのメモリ面を有する三次元メモリアレイを備え、前記メモリアレイは、
少なくとも1つのアレイ線の層上の、第1のタイプのそれぞれの複数のアレイ線と、
少なくとも1つのアレイ線の層上の、第2のタイプのそれぞれの複数のアレイ線とを備える、請求項1に記載の集積回路。 - 第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路の各々それぞれ1つはそれぞれの複数の第2のレベルのドライバ回路を備え、各々の第2のレベルのドライバ回路は、
第1のレベルの復号化された出力のそれぞれ1つに結合される入力と、
それぞれの複数の第2のレベルの復号化された出力の対応する1つに結合される出力と、
入力に結合される第1のレベルの復号化された出力が選択されるときに複数の第1のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合し、そうでなければ、複数の第2のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合するための各々の第2のレベルのドライバ回路とを備える、請求項1に記載の集積回路。 - 第1の階層型デコーダ回路は、
複数の第1のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第1の複数の第2のレベルのバイアス回路と、
複数の第2のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第2の複数の第2のレベルのバイアス回路とをさらに備え、
第1のバイアスノードの少なくとも1つの好適な条件は時には、選択された第2のレベルの復号化された出力バイアス条件であり、
第1のバイアスノードの少なくとも別の1つの好適な条件は時には、選択されない第2のレベルの復号化された出力バイアス条件である、請求項3に記載の集積回路。 - 第2のレベルのドライバ回路はそれぞれに、
入力に結合される第1のレベルの復号化された出力が選択されるときに、複数の第1のバイアスノードの関連付けられる1つに第2のレベルのドライバ回路の出力を結合するための第1のトランジスタ回路と、
入力に結合される第1のレベルの復号化された出力が選択されないときに、複数の第2のバイアスノードの関連付けられる1つに第2のレベルのドライバ回路の出力を結合するための第2のトランジスタ回路とを備える、請求項4に記載の集積回路。 - 第1のトランジスタ回路は、反対の導電タイプを有する2つの並列接続されたトランジスタデバイスを備える、請求項5に記載の集積回路。
- 第2のトランジスタ回路は、別個の信号によって制御される少なくとも2つの並列接続されたトランジスタデバイスを備える、請求項5に記載の集積回路。
- 第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路の各々それぞれ1つは、それぞれの複数の第3のレベルのドライバ回路を備え、各々の第3のレベルのドライバ回路は、
第2のレベルの復号化された出力のそれぞれ1つに結合される入力と、
それぞれの複数の第3のレベルの復号化された出力の対応する1つに結合される出力と、
入力に結合される第2のレベルの復号化された出力が選択されるときに複数の第3のバス線の関連付けられる1つに出力を結合し、そうでなければ、複数の第4のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合するための各々の第3のレベルのドライバ回路とを備える、請求項3に記載の集積回路。 - 第1の階層型デコーダ回路は、
複数の第3のバス線上で好適な条件を時にはそれぞれに発生させるための第1の複数の第3のレベルのバイアス回路と、
複数の第4のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第2の複数の第3のレベルのバイアス回路とをさらに備え、
第3のバス線の少なくとも1つの好適な条件は時には、選択された第3のレベルの復号化された出力バイアス条件であり、
第3のバス線の少なくとも別の1つの好適な条件は時には、選択されない第3のレベルの復号化された出力バイアス条件である、請求項8に記載の集積回路。 - 第3のバス線の少なくとも1つの好適な条件は時には、フローティングノード条件である、請求項9に記載の集積回路。
- 第4のバイアスノードの少なくとも1つの好適な条件は時には、選択されない第3のレベルの復号化された出力バイアス条件であり、
第4のバイアスノードの少なくとも別の1つの好適な条件は時には、フローティングノード条件である、請求項9に記載の集積回路。 - 第3のレベルのドライバ回路はそれぞれに、
入力に結合される第2のレベルの復号化された出力が選択されるときに、複数の第3のバス線の関連付けられる1つに第3のレベルのドライバ回路の出力を結合するための第3のトランジスタ回路と、
入力に結合される第2のレベルの復号化された出力が選択されないときに、複数の第4のバイアスノードの関連付けられる1つに第3のレベルのドライバ回路の出力を結合するための第4のトランジスタ回路とを備える、請求項9に記載の集積回路。 - 第3のトランジスタ回路および第4のトランジスタ回路の少なくとも1つは、
反対の導電タイプを有しかつ別個の信号によって制御される少なくとも2つの並列接続されたトランジスタデバイスを備える、請求項12に記載の集積回路。 - 第2のレベルの復号化された出力は、実質的にメモリアレイ全体にわたって横断する、請求項1に記載の集積回路。
- 第2のレベルの復号化された出力は、選択されたバイアス条件および選択されないバイアス条件の少なくとも1つについてVDDを上回る電圧に駆動される、請求項1に記載の集積回路。
- メモリアレイは、基板の上に配置される少なくとも2つのメモリ面を有し、さらに少なくとも1つのアレイ線の層上の第1のタイプのそれぞれの複数のアレイ線を有し、少なくとも1つのアレイ線の層上の第2のタイプのそれぞれの複数のアレイ線を有する三次元アレイを備え、
少なくとも1つの複数の第2のレベルおよび第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、実質的にメモリアレイの横方向の範囲内に配置される、請求項1に記載の集積回路。 - 複数の第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、実質的にメモリアレイの外側に配置される、請求項8に記載の集積回路。
- 第1のレベルのデコーダ回路はメモリアレイの下に配置され、
第3のレベルのドライバ回路は各々それぞれに2つのトランジスタデバイスで構成される、請求項17に記載の集積回路。 - 複数の第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、実質的にメモリアレイの外側に配置され、
第3のレベルの復号化された出力はメモリアレイにおけるビット線を備え、各々はメモリアレイにおける関連付けられる複数のメモリセルに結合され、
複数の第3のバス線はそれぞれに、それぞれの読出/書込バスに結合される、請求項17に記載の集積回路。 - 複数の第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、実質的にメモリアレイの外側に配置
され、
複数の第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、実質的にメモリアレイの下に配置される、請求項1に記載の集積回路。 - 第3のレベルの復号化された出力はメモリアレイにおけるワード線から成り、各々は関連付けられる複数のメモリセルに結合され、前記メモリセルは受動素子アンチヒューズメモリセルを備える、請求項20に記載の集積回路。
- 第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路内の複数の第2のレベルのドライバ回路は、このような第2のレベルのドライバ回路のグループに配置され、グループ内の個々の第2のレベルのドライバ回路は、複数の第1のバイアスノードのそれぞれ1つにそれぞれに結合されるが、グループによって共有される複数の第2のバイアスノードのそれぞれ1つにともに結合される、請求項3に記載の集積回路。
- 集積回路は、アドレス情報を復号化し、メモリアレイのビット線を選択するための第2の階層型デコーダ回路をさらに備え、前記第2の階層型デコーダ回路は、複数ヘッドデコーダ回路の少なくとも2つの階層レベルを備え、
第2の階層型デコーダ回路は、
複数のアドレス信号入力を復号化し、複数の第1のレベルの復号化された出力を発生させるための第1のレベルのデコーダ回路と、
複数の第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路とを備え、各々それぞれ1つはそれぞれの第1のレベルの復号化された出力に結合され、各々はそれぞれの複数の第2のレベルの復号化された出力をもたらすためのものであり、前記第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路はメモリアレイの外側に配置され、前記第2の階層型デコーダ回路はさらに、
複数の第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路を備え、各々それぞれ1つはそれぞれの第2のレベルの復号化された出力に結合され、各々は関連付けられる読出/書込バスにメモリアレイの1つ以上の選択されたビット線を結合するためのものであって、前記第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路はメモリアレイの外側に配置される、請求項21に記載の集積回路。 - メモリアレイは、各々が2つ以上のそれぞれのワード線の層上にそれぞれのワード線セグメントを備える個々のワード線を備える、請求項23に記載の集積回路。
- 第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は各々、少なくとも16個の第3のレベルのドライバ回路を備え、
各々の第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路の少なくとも16個の第3のレベルのドライバ回路は、少なくとも4個のドライバ回路の少なくとも4個のグループの状態で構成され、各グループは共通の選択されないバイアス線を共有する、請求項8に記載の集積回路。 - 複数ヘッドデコーダ回路の少なくとも2つの階層レベルを備える第1の階層型デコーダ回路を用いてメモリアレイにおいてアドレス情報を復号化し、第1のタイプの1つ以上のアレイ線を選択するステップを備え、
前記復号化し、選択するステップは、
第1のレベルのデコーダ回路を用いて複数のアドレス信号入力を復号化し、複数の第1のレベルの復号化されたその出力を発生させるステップと、
各々がそれぞれの複数の第2のレベルの復号化された出力をもたらす、複数の第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路のそれぞれ1つに各々それぞれの第1のレベルの復号化された出力を結合するステップと、
各々がメモリアレイに結合されたそれぞれの複数の第3のレベルの復号化された出力をもたらす、複数の第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路のそれぞれ1つに各々それぞれの第2のレベルの復号化された出力を結合するステップとを含む、方法。 - 第2のレベルの復号化された出力は、選択されたバイアス条件および未選択のバイアス条件の少なくとも1つについてVDDを上回る電圧に駆動される、請求項26に記載の方法。
- メモリアレイは、基板の上に配置される少なくとも2つのメモリ面を有し、さらに少なくとも1つのアレイ線の層上に第1のタイプのそれぞれの複数のアレイ線を有し、少なくとも1つのアレイ線の層上に第2のタイプのそれぞれの複数のアレイ線を有する三次元アレイを備え、
少なくとも1つの複数の第2のレベルおよび第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、メモリアレイの横方向の範囲内に配置される、請求項26に記載の方法。 - 第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路の各々それぞれ1つはそれぞれの複数の第2のレベルのドライバ回路を備え、各々の第2のレベルのドライバ回路は、
第1のレベルの復号化された出力のそれぞれ1つに結合される入力と、
それぞれの複数の第2のレベルの復号化された出力の対応する1つに結合される出力と、
入力に結合される第1のレベルの復号化された出力が選択されるときに複数の第1のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合し、そうでなければ、複数の第2のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合するための各々の第2のレベルのドライバ回路とを備える、請求項26に記載の方法。 - 第1の階層型デコーダ回路は、
複数の第1のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第1の複数の第2のレベルのバイアス回路と、
複数の第2のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第2の複数の第2のレベルのバイアス回路とをさらに備え、
第1のバイアスノードの少なくとも1つの好適な条件は、選択された第2のレベルの復号化された出力のバイアス条件であり、
第1のバイアスノードの少なくとも別の1つの好適な条件は、未選択の第2のレベルの復号化された出力のバイアス条件である、請求項29に記載の方法。 - 第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路内の複数の第2のレベルのドライバ回路は、このような第2のレベルのドライバ回路のグループの状態で配置され、グループ内の個々の第2のレベルのドライバ回路は、複数の第1のバイアスノードのそれぞれ1つにそれぞれに結合されるが、グループによって共有される複数の第2のバイアスノードのそれぞれ1つにともに結合される、請求項29に記載の方法。
- 第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路の各々それぞれ1つは、それぞれの複数の第3のレベルのドライバ回路を備え、各々の第3のレベルのドライバ回路は、
第2のレベルの復号化された出力のそれぞれ1つに結合される入力と、
それぞれの複数の第3のレベルの復号化された出力の対応する1つに結合される出力と、
入力に結合される第2のレベルの復号化された出力が選択されるときに複数の第3のバス線の関連付けられる1つに出力を結合し、そうでなければ、複数の第4のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合するための各々の第3のレベルのドライバ回路とを備える、請求項29に記載の方法。 - 第1の階層型デコーダ回路は、
複数の第3のバス線上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第1の複数の第3のレベルのバイアス回路と、
複数の第4のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第2の複数の第3のレベルのバイアス回路とをさらに備え、
第3のバス線の少なくとも1つの好適な条件は、選択された第3のレベルの復号化された出力のバイアス条件であり、
第3のバス線の少なくとも別の1つの好適な条件は、未選択の第3のレベルの復号化された出力のバイアス条件である、請求項32に記載の方法。 - メモリアレイを組入れる製品を作る方法であって、
メモリセルに結合される第1および第2のタイプのアレイ線を備えるメモリアレイを提供するステップと、
アドレス情報を復号化し、第1のタイプの1つ以上のアレイ線を選択するための第1の階層型デコーダ回路を提供するステップとを備え、前記第1の階層型デコーダ回路は、複数ヘッドデコーダ回路の少なくとも2つの階層レベルを含み、
前記第1の階層型デコーダ回路を提供するステップは、
複数のアドレス信号入力を復号化し、複数の第1のレベルの復号化された出力を発生させるための第1のレベルのデコーダ回路を提供するステップと、
複数の第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路を提供するステップとを含み、各々それぞれ1つはそれぞれの第1のレベルの復号化された出力に結合され、各々はそれぞれの複数の第2のレベルの復号化された出力をもたらすためのものであり、前記第1の階層型デコーダ回路を提供するステップはさらに、
複数の第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路を提供するステップを含み、各々それぞれ1つはそれぞれの第2のレベルの復号化された出力に結合され、各々はメモリアレイに結合されるそれぞれの複数の第3のレベルの復号化された出力をもたらすためのものである、方法。 - 第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路の各々それぞれ1つはそれぞれの複数の第2のレベルのドライバ回路を備え、各々の第2のレベルのドライバ回路は、
第1のレベルの復号化された出力のそれぞれ1つに結合される入力と、
それぞれの複数の第2のレベルの復号化された出力の対応する1つに結合される出力と、
入力に結合される第1のレベルの復号化された出力が選択されるときに複数の第1のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合し、そうでなければ、複数の第2のバイアスノードの関連付けられる1つに出力を結合するための各々の第2のレベルのドライバ回路とを備える、請求項34に記載の方法。 - 第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路内の複数の第2のレベルのドライバ回路は、このような第2のレベルのドライバ回路のグループの状態で配置され、グループ内の個々の第2のレベルのドライバ回路は、複数の第1のバイアスノードのそれぞれ1つにそれぞれに結合されるが、グループによって共有される複数の第2のバイアスノードのそれぞれ1つにともに結合される、請求項35に記載の方法。
- 第1の階層型デコーダ回路は、
複数の第1のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第1の複数の第2のレベルのバイアス回路と、
複数の第2のバイアスノード上で好適な条件をそれぞれに発生させるための第2の複数の第2のレベルのバイアス回路とをさらに備え、
第1のバイアスノードの少なくとも1つの好適な条件は、選択された第2のレベルの復号化された出力のバイアス条件であり、
第1のバイアスノードの少なくとも別の1つの好適な条件は、未選択の第2のレベルの復号化された出力のバイアス条件である、請求項35に記載の方法。 - 第2のレベルの復号化された出力は、メモリアレイ全体を横断する、請求項34に記載の方法。
- メモリアレイは、基板の上に配置される少なくとも2つのメモリ面を有し、さらに少なくとも1つのアレイ線の層上に第1のタイプのそれぞれの複数のアレイ線を有し、少なくとも1つのアレイ線の層上に第2のタイプのそれぞれの複数のアレイ線を有する三次元アレイを備え、
少なくとも1つの複数の第2のレベルおよび第3のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、メモリアレイの横方向の範囲内に配置される、請求項34に記載の方法。 - 複数の第2のレベルの複数ヘッドデコーダ回路は、メモリアレイの外側に配置され、
第3のレベルの復号化された出力はメモリアレイにおけるビット線を備え、各々はメモリアレイにおける関連付けられる複数のメモリセルに結合される、請求項39に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/026,470 US7286439B2 (en) | 2004-12-30 | 2004-12-30 | Apparatus and method for hierarchical decoding of dense memory arrays using multiple levels of multiple-headed decoders |
US11/026,470 | 2004-12-30 | ||
PCT/US2005/045564 WO2006073735A1 (en) | 2004-12-30 | 2005-12-16 | Apparatus and method for hierarchical decoding of dense memory arrays using multiple levels of multiple-headed decoders |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008527585A JP2008527585A (ja) | 2008-07-24 |
JP2008527585A5 JP2008527585A5 (ja) | 2009-02-12 |
JP5032336B2 true JP5032336B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=36640233
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007549434A Expired - Fee Related JP5032336B2 (ja) | 2004-12-30 | 2005-12-16 | 複数ヘッドデコーダの複数のレベルを使用した高密度メモリアレイの階層復号化のための機器および方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7286439B2 (ja) |
EP (2) | EP2450902B1 (ja) |
JP (1) | JP5032336B2 (ja) |
KR (1) | KR101194353B1 (ja) |
CN (2) | CN102201254B (ja) |
WO (1) | WO2006073735A1 (ja) |
Families Citing this family (68)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7203123B2 (en) | 2004-12-08 | 2007-04-10 | Infineon Technologies Ag | Integrated DRAM memory device |
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-
2004
- 2004-12-30 US US11/026,470 patent/US7286439B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-16 JP JP2007549434A patent/JP5032336B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-16 WO PCT/US2005/045564 patent/WO2006073735A1/en active Application Filing
- 2005-12-16 CN CN2011100734317A patent/CN102201254B/zh active Active
- 2005-12-16 KR KR1020077016213A patent/KR101194353B1/ko active IP Right Grant
- 2005-12-16 CN CN2005800451715A patent/CN101138047B/zh active Active
- 2005-12-16 EP EP11184470.0A patent/EP2450902B1/en active Active
- 2005-12-16 EP EP05854312.5A patent/EP1831891B1/en active Active
-
2007
- 2007-10-22 US US11/876,563 patent/US7633829B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1831891B1 (en) | 2015-07-08 |
US7286439B2 (en) | 2007-10-23 |
CN102201254B (zh) | 2012-11-14 |
EP2450902A2 (en) | 2012-05-09 |
KR20070110835A (ko) | 2007-11-20 |
JP2008527585A (ja) | 2008-07-24 |
CN101138047B (zh) | 2011-05-18 |
EP2450902B1 (en) | 2014-03-19 |
KR101194353B1 (ko) | 2012-10-25 |
US7633829B2 (en) | 2009-12-15 |
EP1831891A1 (en) | 2007-09-12 |
US20080101149A1 (en) | 2008-05-01 |
EP2450902A3 (en) | 2012-09-05 |
WO2006073735A1 (en) | 2006-07-13 |
US20060146639A1 (en) | 2006-07-06 |
CN101138047A (zh) | 2008-03-05 |
CN102201254A (zh) | 2011-09-28 |
EP1831891A4 (en) | 2008-11-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081211 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111101 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111109 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120619 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5032336 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |