JP5005881B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
半導体装置の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5005881B2 JP5005881B2 JP2004143928A JP2004143928A JP5005881B2 JP 5005881 B2 JP5005881 B2 JP 5005881B2 JP 2004143928 A JP2004143928 A JP 2004143928A JP 2004143928 A JP2004143928 A JP 2004143928A JP 5005881 B2 JP5005881 B2 JP 5005881B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor film
- film
- crystallized
- layer
- crystallized semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 308
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 124
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 113
- 238000005247 gettering Methods 0.000 claims description 109
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 94
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 89
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 86
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 80
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 60
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 37
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 35
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims description 27
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims description 27
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 16
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 530
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 269
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 65
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 50
- 230000008569 process Effects 0.000 description 49
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 40
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 39
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 33
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 30
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 28
- 239000002585 base Substances 0.000 description 22
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 description 20
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 17
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 17
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 16
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 15
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 14
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 13
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 11
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 9
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 7
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 4
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 P and As Chemical class 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910005883 NiSi Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- AIYYMMQIMJOTBM-UHFFFAOYSA-L nickel(ii) acetate Chemical compound [Ni+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O AIYYMMQIMJOTBM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 2
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910017911 MgIn Inorganic materials 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N alumane;titanium Chemical compound [AlH3].[Ti] UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052795 boron group element Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052696 pnictogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000010979 ruby Substances 0.000 description 1
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical class [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N trisilane Chemical compound [SiH3][SiH2][SiH3] VEDJZFSRVVQBIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Description
次いで図17(D)に示すようにバリア層1004をエッチングストッパーとしてエッチングを行うことにより、ゲッタリング層1006を除去する。このとき結晶質珪素膜1002のうち合金1009があった部分は、上にバリア層1004がないためゲッタリング層1006とともにエッチングされ、ピンホール1010が形成される。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、結晶質半導体膜表面のピンホールの数を低減することができる半導体装置の作製方法を提供することにある。
絶縁表面を有する基板の上方に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
前記金属元素を前記ゲッタリング層にゲッタリングすることにより、前記結晶化半導体膜に含まれる前記金属元素を除去又は低減する工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射する工程と
を具備することを特徴とする。
絶縁表面を有する基板の上方に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜の表面に形成された酸化膜をエッチングにより除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射する工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
前記金属元素を前記ゲッタリング層に移動させてゲッタリングする工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第3のレーザー光を照射する工程と
を具備することを特徴とする。
また非晶質半導体膜を熱処理して結晶化半導体膜を形成する際に、結晶化半導体膜の表面に酸化膜が形成される場合がある。この酸化膜をエッチングにより除去すると、結晶化半導体膜の表面にピンホールが形成される場合がある。これに対して第2の半導体装置の作製方法では、結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射した後に第2のレーザー光を照射している。このため酸化膜をエッチングする際に結晶化半導体膜の表面にピンホールが形成された場合であっても、このピンホールを埋めることができる。
絶縁表面を有する基板の上方に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
前記金属元素を前記ゲッタリング層にゲッタリングすることにより、前記結晶化半導体膜に含まれる前記金属元素を除去又は低減する工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射する工程と
前記結晶化半導体膜上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程と、
を具備する。
絶縁表面を有する基板の上方にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
前記金属元素を前記ゲッタリング層にゲッタリングすることにより、前記結晶化半導体膜に含まれる前記金属元素を除去又は低減する工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射する工程と
を具備する。
また上記したいずれかの半導体装置の作製方法において、ゲッタリング層に含まれる希ガス元素は、He、Ne、Ar、Kr、Xeから選ばれた一種又は複数種であるのが好ましい。
以下、図1〜図5を参照して本発明の第1の実施形態について説明する。本実施形態にかかる半導体装置の作製方法は、絶縁表面上に非晶質半導体膜を形成する工程と、該非晶質半導体膜に結晶化を助長する金属元素(例えばニッケル)を添加する工程と、非晶質半導体膜を加熱処理して結晶化させることにより結晶化半導体膜を形成する工程と、該結晶化半導体膜の結晶性を高めるために第1のレーザー光を照射する工程と、結晶化半導体膜上にバリア層である酸化膜を形成する工程と、ゲッタリング層をバリア層上に形成する工程と、結晶化半導体膜、バリア層及びゲッタリング層を加熱処理することで結晶化半導体膜中の金属元素をゲッタリング層にゲッタリングさせる工程と、ゲッタリング層及びバリア層を除去する工程と、結晶化半導体膜上に第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い(例えば30mJ/cm2〜60mJ/cm2ほどエネルギー密度が低い)第2のレーザー光を不活性気体雰囲気、真空または大気で照射して結晶化半導体膜上のピンホールを埋める工程とを有している。
上記したレーザーを用いる場合には、レーザー発振器から放射されたレーザー光を光学系で線状に集光し、半導体膜に照射すればよい。結晶化の条件は実施者が適宣選択するものであるが、パルス発振型のエキシマレーザーを用いる場合は、例えばパルス発振周波数30Hzとし、レーザーエネルギー密度を100〜500mJ/cm2とする。また、パルス発振型のYAGレーザーやYVO4レーザーを用いる場合には、その第2高調波または第3高調波を用いパルス発振周波数1〜10kHzとし、レーザーエネルギー密度を300〜600mJ/cm2とすると良い。本実施形態におけるレーザーエネルギー密度は390mJ/cm2である。そして幅100〜1000μm、例えば400μmで線状に集光したレーザー光を基板全面に渡って照射する。この時、レーザー光の重ね合わせ率(オーバーラップ率)を80〜98%にするのが好ましい。
また、ゲッタリングの際、金属元素(例えばニッケル)は酸素濃度の高い領域に移動しやすい傾向があるため、ゲッタリング層7に含まれる酸素濃度は、非晶質半導体膜3に含まれる酸素濃度より高い濃度、例えば5×1018/cm3以上とすることが望ましい。
なおこの熱処理によってゲッタリング層7の表層が酸化され、酸化膜7aが形成される。
第2のレーザー光を結晶化半導体膜5aに照射することにより、結晶化半導体膜5aの表層において、ピンホール8の周囲からピンホール8に半導体元素が移動し、ピンホール8が埋められる。
次に図4を参照しつつ第2の実施形態を説明する。本実施形態において第1の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
まず図4(A)に示すように、基板1の上に下地絶縁膜2を形成し、さらにその上に非晶質半導体膜(図示せず)を形成する。次いで非晶質半導体膜の表面に金属含有層(図示せず)を形成し、加熱処理することにより非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜5aを形成する。これらの工程は第1の実施形態の図1(A)〜図1(C)に示した工程と略同一である。
このため図4(B)に示すように、例えばフッ酸を含むエッチャントを用いてエッチングを行うことにより、酸化膜5cを除去する必要がある。このとき結晶化半導体膜5aの表面にはピンホールが形成される場合がある。
第2のレーザー光を照射することによりピンホールが埋められることを示すために、本発明者らは以下に示す実験を行って試料を作製した。
次いで作製した試料表面のSEM写真を倍率5000倍で撮像した。また単位面積に含まれるピンホールの数を数えた。単位面積の定義及びピンホールの数え方は第1の実施形態と同じである。
次に図7を参照しつつ第3の実施形態を説明する。本実施形態は、第1又は第2の実施形態により形成された結晶化半導体膜5aを用いてTFTを形成する方法である。以下、第1の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
また本実施形態ではトップゲート型TFTを例として説明したが、例えば順スタガ型TFTに適用することが可能である。
次に図8を参照しつつ第3の実施形態を説明する。本実施形態は、逆スタガ型(ボトムゲート型)TFTを作製する方法である。以下第1の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
まず図8(A)に示すように基板1上にAl、Cu、Wなどを主成分とする金属膜を形成する。次いでこの金属膜上にフォトレジスト膜(図示せず)を塗布し、このフォトレジスト膜を露光及び現像することによりレジストパターンを形成する。次いでこのレジストパターンをマスクとして金属膜をエッチングすることにより、基板1上にゲート電極21を形成する。
次いでゲート絶縁膜22上に非晶質半導体膜を形成する。次いで非晶質半導体膜を結晶化させて結晶化半導体膜5aを形成し、更に第1のレーザー光を照射することにより結晶化半導体膜5aの結晶化率を上げる。なお非晶質半導体膜の結晶化方法は第1の実施形態と略同一である。
次いで結晶化半導体層24の上にフォトレジスト膜を塗布し、このフォトレジスト膜を露光及び現像することによりレジストパターン23を形成する。次いでレジストパターン23をマスクとして結晶化半導体層24にn型不純物イオン(P、As等のイオン、ここではPイオン)を導入して、ソース領域24a及びドレイン領域24bを形成する。そしてn型不純物を活性化するために加熱処理、強光の照射、またはレーザー光の照射を行う。
[実施例1]本発明の実施例1を、図9〜図11を参照しつつ説明する。本実施例は、同一基板の上方に画素部と、画素部の周辺に設ける駆動回路のTFT(nチャネル型TFT及びpチャネル型TFT)を同時に作製する方法である。
次いで、バリア層をエッチングストッパーとしたエッチングにより、ゲッタリングサイトであるアルゴン元素を含む非晶質シリコン膜を選択的に除去した後、バリア層を希フッ酸で選択的に除去する。
また、ゲート電極となる導電層は3層構造に限定されず、例えば、窒化タンタル膜とタングステン膜との2層構造であってもよい。また、ゲート電極となる導電層としてリン等の不純物元素をドーピングした多結晶シリコン膜に代表される単層の半導体膜を用いてもよい。
この第1のエッチング処理では、エッチング用のプラズマとしてICP(Inductively Coupled Plasma:誘導結合型プラズマ)が好適である。この場合、エッチング条件(コイル型の電極に印加される電力量、基板側の電極に印加される電力量、基板側の電極温度等)を適宜調節することによって所望のテーパー形状に膜をエッチングすることができる。
なお上記した第1のエッチング処理では、レジストからなるマスクの形状を適切な形状にし、かつ基板側に適切なバイアス電圧を印加することで、第1の形状の導電層117〜122の端部を適切なテーパー形状にすることができる。例えば上記した条件ではテーパー部の角度は15〜45°となる。
なお、本実施例ではマスク110〜115を除去せずに第1のドーピング処理を行ったが、マスク110〜115を除去した後に第1のドーピング処理を行ってもよい。
なおポリシリコン層106は画素部において保持容量を形成する半導体層となる。
なお各第2の形状の導電層及び各不純物領域(第1の不純物領域〜第5の不純物領域)が形成できるのであれば特に作製工程は上記した順序に限定されず、各エッチングの順序、各ドーピングの順序を適宜変更してもよい。
なお、本実施例ではポリシリコン膜を形成する段階で上記第1の実施形態に示した方法により予めゲッタリングが行われているので、ここでの不純物領域によるゲッタリングは2度目のゲッタリングとなる。
次いで、第2の層間絶縁膜152上にレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとして第2の層間絶縁膜152及び第1の層間絶縁膜151をエッチングすることにより、第2の形状の導電層129(すなわち画素部のソース配線)上に位置するコンタクトホール、及びポリシリコン層102〜106に形成された第3の不純物領域137〜141それぞれの上に位置するコンタクトホールを形成する。本実施例では複数のエッチング処理を順次行う。すなわち第1の層間絶縁膜をエッチングストッパーとして第2の層間絶縁膜をエッチングした後、上記した図示しない絶縁膜をエッチングストッパーとして第1の層間絶縁膜をエッチングし、その後図示しない絶縁膜をエッチングする。
ここで画素部207のnチャネル型TFT204においては、各不純物領域が形成されているポリシリコン層105の表層に第2のレーザー光が照射されているため、画素の特性が向上している。
実施例1にかかるアクティブマトリクス基板はゲート電極を3層構造としたが、実施例2では、アクティブマトリクス基板のゲート電極を2層構造とする。なお、本実施例は、ゲート電極の構造以外は実施例1と同一の構成である。このような構成の表示装置は、ゲート電極となる導電膜を形成する工程、及びこの導電膜をパターニングする工程を除いて実施例1と同じ工程で作製することができる。以下、これらの工程のみを説明する。
本実施例は、実施例1または2で作製したアクティブマトリクス基板から、反射型のアクティブマトリクス型液晶表示装置を作製する方法である。
なお全ての駆動回路を基板の上方に形成してもよい。また駆動回路の一部に数個のICを用いてもよい。
実施例3では、画素電極が反射性を有する金属材料で形成された反射型の表示装置の作製方法を示したが、本実施例では画素電極を、透光性を有する導電膜で形成した透過型の表示装置の作製方法を示す。層間絶縁膜を形成する工程までは実施例1と同じであるので、ここでは実施例1と同一の符号を付して説明を省略する。
以上のようにしてアクティブマトリクス基板410が形成される。
本実施例では、実施例1又は2により形成されたアクティブマトリクス基板を用いて、電界発光素子を備えた発光表示装置を作製する方法である。電界発光素子は例えばEL(Electro Luminescence)素子であり、電場を加えること発光する有機化合物(有機発光材料)を含む層(以下、有機発光層と記す)と、陽極と、陰極とを有している。電界発光素子を用いた発光表示装置にとって、TFTはアクティブマトリクス駆動方式を実現する上で、必須の素子となっている。すなわち電界発光素子を用いた発光表示装置には、少なくとも、スイッチング素子として機能するTFTと、電界発光素子に電流を供給するTFTとが、各画素に設けられている。この発行表示装置において画素の輝度は、画素の回路構成及び駆動方法によらず、電界発光素子に電流を供給するTFTのオン電流(Ion)で決定される。このため、例えば、全面白表示とした場合、各画素のオン電流が一定でなければ画面の表示にばらつきが生じてしまう。これに対して本実施例では、上記したようにTFTのオン電流のばらつきが小さくなるため、画面の表示にばらつきは生じにくくなっている。なお、有機化合物(有機発光材料)を含む層に無機材料(シリコンまたは酸化シリコンなど)を含んでいてもよい。
以下実施例1と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
これらのTFT(511、513、523、524を含む)は逆スタガ型のTFTであるが、これらを作製するには上記第4の実施形態に従えばよい。
また第1の電極512上には電界発光層(例えばEL層)516および第2の電極517が形成される。
また基板1と封止基板1aの間の空間には充填材507が充填されている。充填材507には例えばAr等の不活性気体、シール材、又は乾燥剤を用いることができる。
本発明を実施して形成された駆動回路や画素部は,実施例3〜5に示すように、様々な表示モジュール(アクティブマトリクス型液晶モジュール、アクティブマトリクス型電界発光モジュール)に用いることができる。そして本実施例では、これら表示モジュールを組み込んだ電子機器を示す。
Claims (7)
- 絶縁表面を有する基板の上方に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
第2の熱処理を行って前記金属元素を前記ゲッタリング層にゲッタリングすることにより、前記結晶化半導体膜に含まれる前記金属元素を除去又は低減する工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射することにより、前記バリア層を除去する工程において前記結晶化半導体膜に形成されたピンホールの数を低減する工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の作製方法において、前記バリア層を形成する工程は、オゾンを含む溶液で前記結晶化半導体膜の表面を酸化する工程であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 絶縁表面を有する基板の上方に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜の表面に形成された酸化膜をエッチングにより除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射することにより、前記酸化膜をエッチングにより除去する工程において前記結晶化半導体膜に形成されたピンホールの数を低減する工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
第2の熱処理を行って前記金属元素を前記ゲッタリング層に移動させてゲッタリングする工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第3のレーザー光を照射することにより、前記バリア層を除去する工程において前記結晶化半導体膜に形成されたピンホールの数を低減する工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 絶縁表面を有する基板の上方に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
第2の熱処理を行って前記金属元素を前記ゲッタリング層にゲッタリングすることにより、前記結晶化半導体膜に含まれる前記金属元素を除去又は低減する工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射することにより、前記バリア層を除去する工程において前記結晶化半導体膜に形成されたピンホールの数を低減する工程と
前記結晶化半導体膜上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程と、
を具備する半導体装置の作製方法。 - 絶縁表面を有する基板の上方にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に珪素を含む非晶質半導体膜を形成する工程と、
前記非晶質半導体膜に該非晶質半導体膜の結晶化を促進する金属元素を添加する工程と、
前記非晶質半導体膜に第1の熱処理を行うことにより、該非晶質半導体膜を結晶化して結晶化半導体膜を形成する工程と、
前記結晶化半導体膜に第1のレーザー光を照射することにより、前記結晶化半導体膜をさらに結晶化させる工程と、
前記結晶化半導体膜上に、該結晶化半導体膜を保護するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上に、希ガス元素を含んだ半導体からなるゲッタリング層を形成する工程と、
第2の熱処理を行って前記金属元素を前記ゲッタリング層にゲッタリングすることにより、前記結晶化半導体膜に含まれる前記金属元素を除去又は低減する工程と、
前記バリア層をストッパーとしてエッチングを行うことにより、前記ゲッタリング層を除去する工程と、
前記バリア層を除去する工程と、
前記結晶化半導体膜に、前記第1のレーザー光よりエネルギー密度が低い第2のレーザー光を照射することにより、前記バリア層を除去する工程において前記結晶化半導体膜に形成されたピンホールの数を低減する工程と
を具備する半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置の作製方法において、
前記金属元素は、Fe、Ni、Co、Ru、Rh、Pd、Os、Ir、Pt、Cu、Auから選ばれた一種又は複数種であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置の作製方法において、
前記ゲッタリング層に含まれる希ガス元素は、He、Ne、Ar、Kr、Xeから選ばれた一種又は複数種であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004143928A JP5005881B2 (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | 半導体装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004143928A JP5005881B2 (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | 半導体装置の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005327865A JP2005327865A (ja) | 2005-11-24 |
JP5005881B2 true JP5005881B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=35473966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004143928A Expired - Fee Related JP5005881B2 (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | 半導体装置の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5005881B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6855584B2 (en) | 2001-03-29 | 2005-02-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a semiconductor device |
JP4854866B2 (ja) | 2001-04-27 | 2012-01-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US7524713B2 (en) | 2005-11-09 | 2009-04-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of semiconductor device |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3577755B2 (ja) * | 1994-06-27 | 2004-10-13 | カシオ計算機株式会社 | 多結晶シリコン薄膜の製造方法 |
JPH11102863A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Toshiba Corp | 多結晶半導体膜の製造方法 |
JP4101409B2 (ja) * | 1999-08-19 | 2008-06-18 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2002083768A (ja) * | 2000-09-05 | 2002-03-22 | Sony Corp | 単結晶薄膜の製造方法、単結晶薄膜基板及び半導体装置 |
JP2002083769A (ja) * | 2000-09-05 | 2002-03-22 | Sony Corp | 半導体薄膜及び半導体薄膜の製造方法 |
JP2003142402A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-05-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP4357811B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2009-11-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP4256087B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2009-04-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
-
2004
- 2004-05-13 JP JP2004143928A patent/JP5005881B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005327865A (ja) | 2005-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5106136B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4850858B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4394149B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4926329B2 (ja) | 半導体装置およびその作製方法、電気器具 | |
US7202119B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
US7052943B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device | |
JP4209638B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
US7091110B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device by gettering using a anti-diffusion layer | |
JP4230160B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4860055B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4216003B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4176362B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP5005881B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4212844B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2004022900A (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4342843B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4346852B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4837871B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4267253B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4176366B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4357811B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070315 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100413 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100611 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100803 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120524 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |