JP5001922B2 - レーザー光走査方法及びその装置 - Google Patents
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Description
前記走査ミラー反射点から照射面に下ろした垂線と走査ミラーで反射させたレーザー光の成す角度をθ2(レーザー走査角)、前記走査ミラー反射点から照射面までの距離をL、レーザー走査角θ2の最大値をA、走査ミラーの走査周期をTとしたとき、下式6に示すレーザー走査角θ2(t)となるように波形信号発生器からの電圧波形信号を走査ミラーコントローラーに入力しこの走査ミラーコントローラーからの電圧信号に応じて前記走査ミラーの角運動を制御することにより、前記照射面において等速度走査を実現することを特徴とするレーザー光走査方法が提供される。
〔ガルバノミラー等角速度制御〕
ガルバノミラー2を、図2に示されるミラー角度制御波形(以下、三角波という。)により等角速度で稼働させる。この場合のガルバノミラー制御角θg1(三角波の場合は添え字を1とし、θg1、θ1のように表す。)は、下式(1)となる。
〔本発明のガルバノミラー角運動制御〕
本発明では、ガルバノミラー2の角速度に変化を付けて制御することにより(発生波形を「新走査波形」という。)、像面上の等速度走査を実現するものである。この場合のガルバノミラー制御角θg2(三角波の場合は添え字を2とし、θg2、θ2のように表す。)は、下式(5)となる。
Claims (3)
- レーザー光発生装置から出射されたレーザー光を、角運動する走査ミラーによって反射させて照射面上で走査させるようにしたレーザー光走査方法において、
前記走査ミラー反射点から照射面に下ろした垂線と走査ミラーで反射させたレーザー光の成す角度をθ2(レーザー走査角)、前記走査ミラー反射点から照射面までの距離をL、レーザー走査角θ2の最大値をA、走査ミラーの走査周期をTとしたとき、下式6に示すレーザー走査角θ2(t)となるように波形信号発生器からの電圧波形信号を走査ミラーコントローラーに入力しこの走査ミラーコントローラーからの電圧信号に応じて前記走査ミラーの角運動を制御することにより、前記照射面において等速度走査を実現することを特徴とするレーザー光走査方法。
- 前記走査ミラーとして、ガルバノミラーを用いている請求項1記載のレーザー光走査方法。
- レーザー光を発生させるレーザー光発生装置と、角運動しながらレーザー光を反射させることにより照射面を走査させる走査ミラーと、前記走査ミラー反射点から照射面に下ろした垂線と走査ミラーで反射させたレーザー光の成す角度をθ2(レーザー走査角)、前記走査ミラー反射点から照射面までの距離をL、レーザー走査角θ2の最大値をA、走査ミラーの走査周期をTとしたとき、下式6に示すレーザー走査角θ2(t)となるように波形信号発生器からの電圧波形信号を走査ミラーコントローラーに入力しこの走査ミラーコントローラーからの電圧信号に応じて前記走査ミラーの角運動を制御する走査ミラーの制御装置とからなることを特徴とするレーザー光走査装置。
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