JP2010066702A - レーザー光走査方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査ミラー反射点から照射面に下ろした垂線と走査ミラーで反射させたレーザー光の成す角度をθ2(レーザー走査角)、前記走査ミラー反射点から照射面までの距離をL、レーザー走査角θ2の最大値をA、走査ミラーの走査周期をTとしたとき、式6に示すレーザー走査角θ2(t)となるように前記走査ミラーの角運動を制御することにより、前記照射面において等速度走査を実現する。
【選択図】図1
Description
前記走査ミラー反射点から照射面に下ろした垂線と走査ミラーで反射させたレーザー光の成す角度をθ2(レーザー走査角)、前記走査ミラー反射点から照射面までの距離をL、レーザー走査角θ2の最大値をA、走査ミラーの走査周期をTとしたとき、下式6に示すレーザー走査角θ2(t)となるように前記走査ミラーの角運動を制御することにより、前記照射面において等速度走査を実現することを特徴とするレーザー光走査方法が提供される。
〔ガルバノミラー等角速度制御〕
ガルバノミラー2を、図2に示されるミラー角度制御波形(以下、三角波という。)により等角速度で稼働させる。この場合のガルバノミラー制御角θg1(三角波の場合は添え字を1とし、θg1、θ1のように表す。)は、下式(1)となる。
〔本発明のガルバノミラー角運動制御〕
本発明では、ガルバノミラー2の角速度に変化を付けて制御することにより(発生波形を「新走査波形」という。)、像面上の等速度走査を実現するものである。この場合のガルバノミラー制御角θg2(三角波の場合は添え字を2とし、θg2、θ2のように表す。)は、下式(5)となる。
Claims (3)
- 前記走査ミラーとして、ガルバノミラーを用いている請求項1記載のレーザー光走査方法。
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---|---|---|---|---|
CN110976439A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-10 | 中国科学院半导体研究所 | 提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备 |
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006337922A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sony Corp | 表示装置および表示方法 |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006337922A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sony Corp | 表示装置および表示方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110976439A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-10 | 中国科学院半导体研究所 | 提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备 |
CN110976439B (zh) * | 2019-12-24 | 2020-10-20 | 中国科学院半导体研究所 | 提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备 |
US11883859B2 (en) | 2019-12-24 | 2024-01-30 | Institute Of Semiconductors, Chinese Academy Of Sciences | Laser cleaning method and device for improving uniformity of laser cleaning surface |
CN114505575A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-05-17 | 武汉奥森迪科智能科技股份有限公司 | 一种能量分布均匀的振镜驱动方法及其激光加工头 |
CN114505575B (zh) * | 2021-12-30 | 2024-05-17 | 武汉奥森迪科智能科技股份有限公司 | 一种能量分布均匀的振镜驱动方法及其激光加工头 |
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