JP5001681B2 - Inline automatic inspection device and inline automatic inspection system - Google Patents

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Description

本発明は、検査対象物を製造ライン等の搬送経路を搬送している間に検査するインライン自動検査装置及びインライン自動検査システムに関する。   The present invention relates to an in-line automatic inspection apparatus and an in-line automatic inspection system that inspects an inspection object while it is being transported on a transport path such as a production line.

液晶パネルの点灯検査等の検査対象物の検査をする装置としては、特許文献１や特許文献２に記載のものがある。特許文献１は、液晶パネルを受けるパネル受けを設け、液晶パネルの種類の変更に伴って開口の大きさが変更して、液晶パネルを検査するものである。   As apparatuses for inspecting an inspection object such as a lighting inspection of a liquid crystal panel, there are apparatuses described in Patent Document 1 and Patent Document 2. Patent Document 1 is provided with a panel receiver that receives a liquid crystal panel, and inspects the liquid crystal panel by changing the size of the opening in accordance with the change in the type of the liquid crystal panel.

また、特許文献２は、４つの板状のベースで矩形の開口を共同して形成してその寸法を調整することで、大きさが異なる液晶パネルの検査をするものである。
特開２００６−１１９０３１号公報 特開２００６−１３８６３４号公報 Patent Document 2 inspects liquid crystal panels having different sizes by jointly forming a rectangular opening with four plate-like bases and adjusting the dimensions thereof.
JP 2006-119031 A JP 2006-138634 A

しかし、このような従来の検査装置の場合、例えば搬送経路の横に設置することになるが、その検査装置のための特別のスペースが必要となり、嵩張ってしまう。特に、種々の装置が製造ラインに沿って設置されている場合には、検査装置のための設置スペースを充分に確保することができない場合もある。さらに、検査装置を搬送経路の横に設置する場合、ロボットハンド等のパネル移載装置が必要となり、この装置のための設置スペースも必要となる。   However, in the case of such a conventional inspection device, for example, it is installed beside the transport path, but a special space for the inspection device is required and becomes bulky. In particular, when various apparatuses are installed along the production line, there may be a case where a sufficient installation space for the inspection apparatus cannot be secured. Further, when the inspection apparatus is installed beside the conveyance path, a panel transfer apparatus such as a robot hand is required, and an installation space for this apparatus is also required.

また、検査装置は、製造ライン等の搬送経路から離れた位置にあるため、液晶パネル１枚１枚を搬送経路から一旦取り出して、前記検査装置で検査してまた搬送経路に戻す必要がある。これにより、液晶パネルの検査をすることができるが、検査に時間がかかるため、大量に検査する必要がある場合には不向きである。   Further, since the inspection apparatus is located at a position away from the conveyance path such as a production line, it is necessary to take out each of the liquid crystal panels from the conveyance path, inspect it with the inspection apparatus, and return it to the conveyance path. As a result, the liquid crystal panel can be inspected, but the inspection takes time and is not suitable when a large amount of inspection is required.

ものによっては全量検査が必要な場合もあるが、この場合は、液晶パネルを搬送経路から一旦取り出して、１枚ずつ検査して元に戻していては時間が係り過ぎて検査効率が悪いため、短時間で効率的に検査できる検査装置が望まれている。   Depending on the thing, it may be necessary to inspect the entire quantity, but in this case, taking out the liquid crystal panel from the transport path, inspecting one by one and returning it to the original, it takes too much time and the inspection efficiency is poor, An inspection apparatus that can efficiently inspect in a short time is desired.

本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、本発明のインライン自動検査装置は、検査対象物を搬送経路に沿って搬送する上流側搬送部と、当該上流側搬送部の下流側に連なるように互いに近接して配置され、前記検査対象物を支持して傾斜させて目視検査を行うと共にその下側での検査対象物の通過を許容する検査部と、当該検査部の下流側に連なるように互いに近接して配置されて検査後の前記検査対象物を搬送経路に沿って下流側へ搬送する下流側搬送部と、前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える上流側移載部と、前記検査対象物を前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える下流側移載部とを備えて構成され、前記検査部が、回動可能にかつ昇降可能に設置されて前記検査対象物を支持するワークテーブルと、前記検査対象物の検査のために当該ワークテーブルを上昇させた位置で前記上流側搬送部及び下流側搬送部と協働して搬送径路を構成する内部搬送部と、前記ワークテーブルを目視検査のために傾斜させる回動機構とを備えて構成されたことを特徴とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and the in-line automatic inspection apparatus of the present invention is provided on an upstream side transport unit that transports an inspection object along a transport path, and on the downstream side of the upstream side transport unit. An inspection unit that is arranged close to each other so as to be continuous, supports and inclines the inspection object, performs visual inspection, and allows the inspection object to pass therethrough, and on the downstream side of the inspection unit A downstream transport unit that is arranged close to each other so as to be transported and transports the inspection target after inspection downstream along a transport path, and the inspection target is moved from the upstream transport unit to the inspection unit. An upstream transfer unit for switching, and a downstream transfer unit for transferring the inspection object from the inspection unit to the downstream transport unit, and the inspection unit can be rotated and moved up and down. Work that is installed and supports the inspection object A table, an internal transport unit that forms a transport path in cooperation with the upstream transport unit and the downstream transport unit at a position where the work table is raised for inspection of the inspection object, and the work table. And a rotation mechanism that is inclined for visual inspection .

前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える動作と、前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える動作とは、前記上流側移載部と下流側移載部とが連動して同時に行うことが望ましい。前記上流側搬送部には、前記検査部のワークテーブルに前記上流側移載部で移し替える前記検査対象物の粗位置を調整する粗アライメントユニット装置を備えることが望ましい。前記検査部は、前記ワークテーブルに臨ませて設けられたカメラと、当該カメラを内部に収納すると共に、前記ワークテーブルをその上側から覆って当該ワークテーブルに支持された前記検査対象物を前記カメラで撮影するための暗室を構成する昇降可能な筐体とを備えることが望ましい。 An act of transferring the pre-Symbol test object from the upstream transport unit to the inspection unit, the operation of transferring from the measurement part to the downstream transport section, said upstream transfer portion and the downstream transfer unit It is desirable to be performed simultaneously in conjunction. It is preferable that the upstream transport unit includes a rough alignment unit device that adjusts a rough position of the inspection object to be transferred to the work table of the inspection unit by the upstream transfer unit. The inspection unit includes a camera provided facing the work table, and stores the camera inside, and covers the work table from above and supports the inspection object supported by the work table. It is desirable to provide a housing that can be moved up and down and that constitutes a dark room for taking pictures.

また、本発明のインライン自動検査システムは、請求項１に記載のインライン自動検査装置を、前記搬送経路に複数配設されたことを特徴とする。 An in-line automatic inspection system according to the present invention is characterized in that a plurality of in- line automatic inspection devices according to claim 1 are arranged in the transport path.

前記インライン自動検査装置では、当該インライン自動検査装置が搬送経路上に設置されるため、このインライン自動検査装置のための特別の設置スペースを必要とせず、大幅な省スペース化を図ることができる。また、移載装置を特別に設ける必要がないため、スペースの有効利用やランニングコストの低減等により全体としてコスト低減を図ることができる。   In the in-line automatic inspection apparatus, since the in-line automatic inspection apparatus is installed on the transport path, a special installation space for the in-line automatic inspection apparatus is not required, and a significant space saving can be achieved. In addition, since there is no need to provide a transfer device in particular, the cost can be reduced as a whole by effective use of space and reduction of running costs.

また、インライン自動検査装置に回動機構を備えたので、搬送経路において目視検査を行うことが可能になる。   In addition, since the inline automatic inspection apparatus includes the rotation mechanism, it is possible to perform a visual inspection in the conveyance path.

また、インライン自動検査システムでは、前記搬送経路に複数配設されたインライン自動検査装置のうち、先頭のインライン自動検査装置で前記検査対象物の検査が開始されると、次の検査対象物は先頭のインライン自動検査装置の内部搬送部を通過して次のインライン自動検査装置に流れ、このインライン自動検査装置で前記検査対象物の検査が開始される。次の検査対象物は２番目のインライン自動検査装置の内部搬送部を通過して次のインライン自動検査装置に流れ、前記同様にして検査が開始され、多数の検査対象物を効率的に検査することができる。   Further, in the in-line automatic inspection system, when inspection of the inspection object is started by the first in-line automatic inspection apparatus among a plurality of in-line automatic inspection apparatuses arranged on the transport path, the next inspection object is the first The in-line automatic inspection apparatus passes through the internal conveyance section and flows to the next in-line automatic inspection apparatus, and the inspection of the inspection object is started by the in-line automatic inspection apparatus. The next inspection object passes through the internal conveyance part of the second inline automatic inspection apparatus and flows to the next inline automatic inspection apparatus, and inspection is started in the same manner as described above, thereby efficiently inspecting a large number of inspection objects. be able to.

以下、本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図、図２は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す側面図、図３は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置をそのワークテーブルを傾斜させた状態で示す側面図、図４は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置をそのワークテーブルを傾斜させた状態で示す斜視図、図５は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図（図６のＡ−Ａ線矢視断面図）、図６は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す平面図、図７は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図、図８は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の回動機構を示す斜視図、図９は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を示す斜視図、図１０は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す斜視図、図１１は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す平面図、図１２は本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を製造ラインに複数組み込んだインライン自動検査システムである。   Hereinafter, an in-line automatic inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an inline automatic inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view showing the inline automatic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an inline automatic according to the embodiment of the present invention. 4 is a side view showing the inspection apparatus with the work table tilted, FIG. 4 is a perspective view showing the in-line automatic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention with the work table tilted, and FIG. FIG. 6 is a plan view showing the inline automatic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 8 is a perspective view showing a turning mechanism of the inline automatic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 9 is an inline view according to the embodiment of the present invention. FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the coarse alignment unit device of the in-line automatic inspection device according to the embodiment of the present invention is incorporated in the upstream transport unit, and FIG. FIG. 12 is a plan view showing a state in which the rough alignment unit device of the inline automatic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention is incorporated in the upstream conveyance section, and FIG. 12 incorporates a plurality of inline automatic inspection apparatuses according to the embodiment of the present invention into the production line. Inline automatic inspection system.

インライン自動検査装置１は、検査対象物の搬送経路に組み込まれる装置である。インライン自動検査装置１は、種々の検査対象物の搬送経路において、当該検査対象物の検査を行う。検査対象物の搬送経路としてここでは、液晶パネルの製造ラインを例に説明する。液晶パネルの製造ラインは、通常、コンベアで構成されているため、インライン自動検査装置１は、このコンベアの途中において、このコンベアの一部を取り除いて組み込まれることになる。   The in-line automatic inspection apparatus 1 is an apparatus that is incorporated into a conveyance path of an inspection object. The in-line automatic inspection apparatus 1 inspects the inspection object in various conveyance paths of the inspection object. Here, a liquid crystal panel production line will be described as an example of the conveyance path of the inspection object. Since the liquid crystal panel production line is usually composed of a conveyor, the in-line automatic inspection apparatus 1 is incorporated in the middle of the conveyor by removing a part of the conveyor.

インライン自動検査装置１は図１〜８に示すように、上流側搬送部２と、検査部３と、下流側搬送部４と、上流側移載部５と、下流側移載部６とから構成されている。   As shown in FIGS. 1 to 8, the inline automatic inspection apparatus 1 includes an upstream conveyance unit 2, an inspection unit 3, a downstream conveyance unit 4, an upstream transfer unit 5, and a downstream transfer unit 6. It is configured.

上流側搬送部２は、前記コンベアを搬送されてきた液晶パネル８を搬送経路に沿って検査部３まで搬送するための装置である。上流側搬送部２は、前記コンベアの一部を取り除いた位置に、当該コンベアの上流側に連なるように互いに近接して配置されている。この上流側搬送部２は、ローラーコンベアによって構成されている。上流側搬送部２は具体的には、一定間隔を空けて平行に配設されたローラー９と、各ローラー９をその両側から回転可能に支持する側壁１０と、液晶パネル８の大まかな位置（粗位置）を調整する粗アライメントユニット装置１１（図１０参照）と、前記ローラー９を回転駆動する駆動部(図示せず)とから構成されている。側壁１０には前記コンベアの高さに合わせた脚部(図示せず)が設けられる。前記駆動部は、後述する下流側移載部６の駆動部及び後述する検査部３の内部搬送部４７の駆動部と連動して制御され、液晶パネル８をスムーズに搬送できるようになっている。   The upstream transport unit 2 is a device for transporting the liquid crystal panel 8 that has been transported on the conveyor to the inspection unit 3 along the transport path. The upstream side conveyance unit 2 is arranged close to each other so as to be connected to the upstream side of the conveyor at a position where a part of the conveyor is removed. This upstream side conveyance part 2 is comprised by the roller conveyor. Specifically, the upstream transport unit 2 includes a roller 9 arranged in parallel at a predetermined interval, a side wall 10 that rotatably supports each roller 9 from both sides, and a rough position of the liquid crystal panel 8 ( The coarse alignment unit device 11 (see FIG. 10) for adjusting the coarse position) and a drive unit (not shown) for rotationally driving the roller 9 are configured. The side wall 10 is provided with legs (not shown) that match the height of the conveyor. The drive unit is controlled in conjunction with the drive unit of the downstream transfer unit 6 described later and the drive unit of the internal transport unit 47 of the inspection unit 3 described later, so that the liquid crystal panel 8 can be smoothly transported. .

粗アライメントユニット装置１１は、液晶パネル８を上流側搬送部２から後述する検査部３のワークテーブル４５に上流側移載部５で移し替える際に、液晶パネル８の粗位置を調整するための装置である。粗アライメントユニット装置１１は、図９〜１１に示すように、縦位置決め部１３と、横位置決め部１４と、昇降部１５とから構成されている。なお、図９〜１１に示す上流側搬送部２の全体的構成は、図１に示す上流側搬送部２とその寸法が少し違うが、機能が同様である。   The coarse alignment unit device 11 is used to adjust the coarse position of the liquid crystal panel 8 when the liquid crystal panel 8 is transferred from the upstream transport unit 2 to the work table 45 of the inspection unit 3 described later by the upstream transfer unit 5. Device. The coarse alignment unit apparatus 11 is comprised from the vertical positioning part 13, the horizontal positioning part 14, and the raising / lowering part 15, as shown to FIGS. The overall structure of the upstream transport unit 2 shown in FIGS. 9 to 11 is similar in function to the upstream transport unit 2 shown in FIG.

縦位置決め部１３は、上流側搬送部２の下流側端部に搬送された液晶パネル８を検査部３に移し替える際に、液晶パネル８の縦方向の位置を調整するための装置である。縦位置決め部１３は、レール１７と、スライダ１８と、シリンダ１９と、支持部材２０と、パネル検知センサ２１とから構成されている。レール１７は、前記搬送経路に沿って配設され、スライダ１８を搬送経路に沿う縦方向に移動可能に支持している。レール１７は、上流側搬送部２側に固定されている。スライダ１８は、レール１７にスライド可能に嵌合されて、前記搬送経路に沿う縦方向に移動可能支持されている。シリンダ１９は、支持部材２０を支持して昇降させるための装置である。このシリンダ１９は、エアシリンダ、油圧シリンダ等の既存のシリンダを用いることができる。シリンダ１９には、空気圧又は油圧を供給するための装置(図示せず)が接続されている。シリンダ１９は、スライダ１８に取り付けられて、搬送経路に沿う縦方向に移動できるようになっている。支持部材２０は、液晶パネル８にその下側から直接に接触して支持するための部材である。この支持部材２０は、シリコンゴム等で構成されている。パネル検知センサ２１は、液晶パネル８が粗アライメントユニット装置１１の直上に位置していることを検知するためのセンサである。これ以外に、液晶パネル８の縦横の位置を検知するセンサが適宜配設される。   The vertical positioning unit 13 is a device for adjusting the vertical position of the liquid crystal panel 8 when the liquid crystal panel 8 transported to the downstream end of the upstream transport unit 2 is transferred to the inspection unit 3. The vertical positioning unit 13 includes a rail 17, a slider 18, a cylinder 19, a support member 20, and a panel detection sensor 21. The rail 17 is disposed along the transport path, and supports the slider 18 so as to be movable in the vertical direction along the transport path. The rail 17 is fixed to the upstream side transport unit 2 side. The slider 18 is slidably fitted to the rail 17 and supported so as to be movable in the vertical direction along the conveyance path. The cylinder 19 is a device for supporting the support member 20 and moving it up and down. The cylinder 19 can be an existing cylinder such as an air cylinder or a hydraulic cylinder. A device (not shown) for supplying air pressure or hydraulic pressure is connected to the cylinder 19. The cylinder 19 is attached to the slider 18 and can move in the vertical direction along the conveyance path. The support member 20 is a member for directly contacting and supporting the liquid crystal panel 8 from below. The support member 20 is made of silicon rubber or the like. The panel detection sensor 21 is a sensor for detecting that the liquid crystal panel 8 is located immediately above the rough alignment unit device 11. In addition to this, sensors for detecting the vertical and horizontal positions of the liquid crystal panel 8 are appropriately provided.

横位置決め部１４は、上流側搬送部２の下流側端部に搬送された液晶パネル８を検査部３に移し替える際に、液晶パネル８の横方向の位置を調整するための装置である。横位置決め部１４は、レール２３と、スライダ２４と、シリンダ２５と、支持部材２６とから構成されている。レール２３は、前記搬送経路に直交する横方向に配設され、スライダ２４を横方向に移動可能に支持している。レール２３は、前記縦位置決め部１３のレール１７と一体的に、上流側搬送部２側に固定されている。スライダ２４は、レール２３にスライド可能に嵌合されて、横方向に移動可能に支持されている。シリンダ２５は、スライダ２４に２つ設けられている。各シリンダ２５は、支持部材２６を支持して昇降させるための装置である。各シリンダ２５は、エアシリンダ、油圧シリンダ等の既存のシリンダを用いることができる。シリンダ２５には、空気圧又は油圧を供給するための装置(図示せず)が接続されている。シリンダ２５は、スライダ２４に取り付けられて、横方向に移動できるようになっている。支持部材２６は、液晶パネル８にその下側から直接に接触して支持するための部材である。この支持部材２６は、シリコンゴム等で構成されている。   The lateral positioning unit 14 is a device for adjusting the lateral position of the liquid crystal panel 8 when the liquid crystal panel 8 transported to the downstream end of the upstream transport unit 2 is transferred to the inspection unit 3. The lateral positioning unit 14 includes a rail 23, a slider 24, a cylinder 25, and a support member 26. The rail 23 is disposed in a lateral direction perpendicular to the transport path, and supports the slider 24 so as to be movable in the lateral direction. The rail 23 is fixed to the upstream conveying unit 2 side integrally with the rail 17 of the vertical positioning unit 13. The slider 24 is slidably fitted to the rail 23 and supported so as to be movable in the lateral direction. Two cylinders 25 are provided on the slider 24. Each cylinder 25 is a device for supporting the support member 26 and moving it up and down. Each cylinder 25 may be an existing cylinder such as an air cylinder or a hydraulic cylinder. A device (not shown) for supplying air pressure or hydraulic pressure is connected to the cylinder 25. The cylinder 25 is attached to the slider 24 and can move in the lateral direction. The support member 26 is a member for directly contacting and supporting the liquid crystal panel 8 from below. The support member 26 is made of silicon rubber or the like.

昇降部１５は、前記縦位置決め部１３及び横位置決め部１４で粗位置が調整された後の液晶パネル８を昇降させるための装置である。昇降部１５は、パネルリフタ２８と、シリンダ２９とから構成されている。   The elevating unit 15 is a device for elevating and lowering the liquid crystal panel 8 after the coarse position is adjusted by the vertical positioning unit 13 and the horizontal positioning unit 14. The elevating unit 15 includes a panel lifter 28 and a cylinder 29.

パネルリフタ２８は、液晶パネル８の裏面に直接に接触して液晶パネル８を持ち上げるための部材である。パネルリフタ２８は、支持板３１と、この支持板３１の下側に４本配設されたガイド棒３２と、支持板３１の上側に４本配設された支持棒３３と、各支持棒３３の上端部に設けられた支持部材３４とから構成されている。４本のガイド棒３２は、案内板３５の４つのガイド穴３６に挿入されて、上下方向にスライド可能に支持されている。案内板３５は、上流側搬送部２のフレーム３７に固定されている。   The panel lifter 28 is a member for directly contacting the back surface of the liquid crystal panel 8 to lift the liquid crystal panel 8. The panel lifter 28 includes a support plate 31, four guide bars 32 disposed below the support plate 31, four support bars 33 disposed above the support plate 31, and each support bar 33. It is comprised from the supporting member 34 provided in the upper end part. The four guide bars 32 are inserted into the four guide holes 36 of the guide plate 35 and supported so as to be slidable in the vertical direction. The guide plate 35 is fixed to the frame 37 of the upstream transport unit 2.

シリンダ２９は、パネルリフタ２８を昇降させるための部材である。このシリンダ２９は、案内板３５の裏面に固定されて、シリンダロッド(図示せず)が支持板３１に連結されている。これにより、シリンダ２９がシリンダロッドを延出させることで、パネルリフタ２８が上昇して、支持棒３３の上端の支持部材３４で支持された液晶パネル８を上方へ持ち上げるようになっている。持ち上げられた液晶パネル８は、上流側移載部５に渡されて検査部３に移し替えられる。   The cylinder 29 is a member for moving the panel lifter 28 up and down. The cylinder 29 is fixed to the back surface of the guide plate 35, and a cylinder rod (not shown) is connected to the support plate 31. As a result, the cylinder 29 extends the cylinder rod, so that the panel lifter 28 rises, and the liquid crystal panel 8 supported by the support member 34 at the upper end of the support bar 33 is lifted upward. The lifted liquid crystal panel 8 is transferred to the upstream transfer unit 5 and transferred to the inspection unit 3.

検査部３は、上流側搬送部２の下流側に連なるように互いに近接して配置され、前記液晶パネル８を支持して傾斜させたり上方へ持ち上げたりして検査を行うと共にその下側での液晶パネル８の通過を許容するための装置である。検査部３は図１〜８に示すように主に、ＸＹＺθステージ４０（図７参照）と、検査ステージ４１と、画像処理部４２とから構成されている。   The inspection unit 3 is arranged close to each other so as to be connected to the downstream side of the upstream side conveyance unit 2, supports the liquid crystal panel 8 to incline or lift it upward, and performs inspection on the lower side thereof. This is a device for allowing passage of the liquid crystal panel 8. As shown in FIGS. 1 to 8, the inspection unit 3 mainly includes an XYZθ stage 40 (see FIG. 7), an inspection stage 41, and an image processing unit 42.

ＸＹＺθステージ４０は、検査ステージ４１をＸＹＺ軸方向及び回転方向に微調整するための装置である。このＸＹＺθステージ４０には、Ｚステージ部とは別に、検査ステージ４１を大きく昇降させるための昇降機構(図示せず)が組み込まれている。検査ステージ４１は、この昇降機構によって前記搬送経路にその下側からせり出して液晶パネル８を支持して上方へ持ち上げるようになっている。これにより、検査ステージ４１が上方へ大きく上昇されて、検査が行われる。   The XYZθ stage 40 is a device for finely adjusting the inspection stage 41 in the XYZ axial direction and the rotation direction. In addition to the Z stage portion, the XYZθ stage 40 incorporates an elevating mechanism (not shown) for greatly elevating the inspection stage 41. The inspection stage 41 protrudes from the lower side to the conveyance path by the lifting mechanism to support the liquid crystal panel 8 and lift it upward. Thereby, the inspection stage 41 is greatly raised upward, and inspection is performed.

検査ステージ４１は、液晶パネル８を正確に支持して、その背面から照明するための装置である。検査ステージ４１は、ワークテーブル４５と、バックライト４６と、内部搬送部４７と、回動機構４８とから構成されている。   The inspection stage 41 is a device for accurately supporting the liquid crystal panel 8 and illuminating it from the back. The inspection stage 41 includes a work table 45, a backlight 46, an internal conveyance unit 47, and a rotation mechanism 48.

ワークテーブル４５は、液晶パネル８を直接に支持するための部材である。ワークテーブル４５は、ＸＹＺθステージ４０で昇降可能に支持されて、液晶パネル８を正確な位置に支持する。バックライト４６は、ワークテーブル４５に支持された液晶パネル８をその背面（下側面）から照明するための部材である。バックライト４６で液晶パネル８を背面から照明して、液晶パネル８の点灯検査が行われる。   The work table 45 is a member for directly supporting the liquid crystal panel 8. The work table 45 is supported by the XYZθ stage 40 so as to be movable up and down, and supports the liquid crystal panel 8 at an accurate position. The backlight 46 is a member for illuminating the liquid crystal panel 8 supported by the work table 45 from the back surface (lower surface) thereof. The backlight 46 illuminates the liquid crystal panel 8 from the back, and the lighting inspection of the liquid crystal panel 8 is performed.

内部搬送部４７は、液晶パネル８の検査のためにワークテーブル４５を上昇させたときに、上流側搬送部２及び下流側搬送部４と協働して前記搬送経路を構成するための装置である。内部搬送部４７は、ＸＹＺθステージ４０とバックライト４６との間に設けられたローラーコンベアによって構成されている。このローラーコンベアは、ＸＹＺθステージ４０の昇降機構によって検査ステージ４１が上昇された状態で、上流側搬送部２及び下流側搬送部４とその高さが一致するように設定されている。内部搬送部４７には、その内部のローラー９を駆動するための駆動部(図示せず)が設けられている。この駆動部は、上流側搬送部２及び下流側搬送部４の駆動部と同期して各ローラー９を駆動するようになっている。   The internal transport unit 47 is a device for configuring the transport path in cooperation with the upstream transport unit 2 and the downstream transport unit 4 when the work table 45 is raised for the inspection of the liquid crystal panel 8. is there. The internal conveyance unit 47 is configured by a roller conveyor provided between the XYZθ stage 40 and the backlight 46. This roller conveyor is set so that the height thereof coincides with that of the upstream side conveyance unit 2 and the downstream side conveyance unit 4 in a state where the inspection stage 41 is raised by the lifting mechanism of the XYZθ stage 40. The internal transport unit 47 is provided with a drive unit (not shown) for driving the rollers 9 inside. The drive unit drives each roller 9 in synchronization with the drive units of the upstream transport unit 2 and the downstream transport unit 4.

回動機構４８は、ワークテーブル４５を目視検査のために傾斜させるための機構である。この回動機構４８は、ベース板４９と、回転軸５０と、軸受け５１と、回転駆動部５２とから構成されている。   The rotation mechanism 48 is a mechanism for inclining the work table 45 for visual inspection. The rotation mechanism 48 includes a base plate 49, a rotation shaft 50, a bearing 51, and a rotation drive unit 52.

ベース板４９は、ワークテーブル４５を支持するための板材である。ワークテーブル４５は、このベース板４９に支持された状態でベース板４９と共に回動される。ベース板４９の基端部には、回転軸５０に連結する連結ブロック４９Ａが設けられている。この連結ブロック４９Ａと回転軸５０とは、互いに堅固に結合されている。   The base plate 49 is a plate material for supporting the work table 45. The work table 45 is rotated together with the base plate 49 while being supported by the base plate 49. A connection block 49 </ b> A that connects to the rotation shaft 50 is provided at the base end portion of the base plate 49. The connecting block 49A and the rotating shaft 50 are firmly coupled to each other.

回転軸５０は、ベース板４９を回動するための軸である。軸受け５１は回転軸５０を回転可能に支持するための部材である。軸受け５１は、ＸＹＺθステージ４０側に支持された状態で、回転軸５０の両端部を回転可能に支持している。回転駆動部５２は、回転軸５０を介してベース板４９を回動するための装置である。この回転駆動部５２は、軸受け５１に固定された状態で回転軸５０に連結されている。回転駆動部５２は具体的には、駆動モータ(図示せず)と、必要に応じて設置される減速機構(図示せず)とを備えて構成されている。ワークテーブル４５やベース板４９が重い場合は、減速機構を備え、その重さの程度に応じて減速比を設定する。前記駆動モータは、インライン自動検査システム全体を制御する制御部(図示せず)に接続され、上流側搬送部２、下流側搬送部４等と共に制御されている。   The rotation shaft 50 is a shaft for rotating the base plate 49. The bearing 51 is a member for rotatably supporting the rotating shaft 50. The bearing 51 rotatably supports both ends of the rotating shaft 50 while being supported on the XYZθ stage 40 side. The rotation drive unit 52 is a device for rotating the base plate 49 via the rotation shaft 50. The rotation drive unit 52 is connected to the rotation shaft 50 in a state of being fixed to the bearing 51. Specifically, the rotation drive unit 52 includes a drive motor (not shown) and a speed reduction mechanism (not shown) installed as necessary. When the work table 45 and the base plate 49 are heavy, a reduction mechanism is provided, and a reduction ratio is set according to the degree of the weight. The drive motor is connected to a control unit (not shown) that controls the entire inline automatic inspection system, and is controlled together with the upstream conveyance unit 2, the downstream conveyance unit 4, and the like.

ワークテーブル４５の上部にはプローブユニット(図示せず)が設けられている。このプローブユニットは、そのプローブが液晶パネル８の電極に接触して検査信号を印加し、液晶パネル８にテストパターン等を表示させる。   A probe unit (not shown) is provided on the work table 45. In this probe unit, the probe contacts an electrode of the liquid crystal panel 8 and applies an inspection signal to display a test pattern or the like on the liquid crystal panel 8.

画像処理部４２は、液晶パネル８の表面を撮影して画像処理により、液晶パネル８の欠陥等の検査を行うための装置である。画像処理部４２は主に、カメラ５３と、カメラ駆動機構５４と、処理装置５５と、暗室用筐体５６とから構成されている。   The image processing unit 42 is an apparatus for inspecting a defect or the like of the liquid crystal panel 8 by photographing the surface of the liquid crystal panel 8 and performing image processing. The image processing unit 42 mainly includes a camera 53, a camera drive mechanism 54, a processing device 55, and a darkroom casing 56.

カメラ５３は、ワークテーブル４５に臨ませて設けられている。このカメラ５３によって、液晶パネル８が撮影されて、その映像データが処理装置５５に送信される。カメラ駆動機構５４は、カメラ５３を支持してその位置を調整するための装置である。このカメラ駆動機構５４によってカメラ５３が上下、前後左右に移動されて位置合わせが行われるようになっている。処理装置５５は、カメラ５３で撮影した画像を処理するための装置である。   The camera 53 is provided facing the work table 45. The camera 53 shoots the liquid crystal panel 8 and transmits the video data to the processing device 55. The camera drive mechanism 54 is a device for supporting the camera 53 and adjusting its position. This camera drive mechanism 54 moves the camera 53 up and down, back and forth, and left and right to perform alignment. The processing device 55 is a device for processing an image captured by the camera 53.

暗室用筐体５６は、カメラ５３をカメラ駆動機構５４と共に内部に収納して、ワークテーブル４５をその上側から覆って暗室を構成するための筐体である。暗室用筐体５６は、昇降可能に設けられ、ワークテーブル４５をその上側から適宜覆って暗室を構成する。これにより、ワークテーブル４５に支持された液晶パネル８をバックライト４６で照明してカメラ５３で撮影し、処理装置５５で画像処理を行って液晶パネル８の検査を行う。   The dark room housing 56 is a housing for housing the camera 53 together with the camera driving mechanism 54 and forming a dark room by covering the work table 45 from above. The dark room casing 56 is provided so as to be movable up and down, and constitutes a dark room by appropriately covering the work table 45 from above. Thereby, the liquid crystal panel 8 supported by the work table 45 is illuminated by the backlight 46 and photographed by the camera 53, and image processing is performed by the processing device 55 to inspect the liquid crystal panel 8.

下流側搬送部４は、検査後の液晶パネル８を搬送経路に沿って下流側へ搬送するための装置である。下流側搬送部４は、検査部３の下流側に連なるように互いに近接して配置されている。下流側搬送部４の全体構成は、粗アライメントユニット装置１１を有しない点を除いて、前記上流側搬送部２と対称に構成されている。   The downstream transport unit 4 is a device for transporting the liquid crystal panel 8 after inspection to the downstream side along the transport path. The downstream side transport unit 4 is arranged close to each other so as to be connected to the downstream side of the inspection unit 3. The overall configuration of the downstream transport unit 4 is configured symmetrically with the upstream transport unit 2 except that the rough alignment unit device 11 is not provided.

上流側移載部５は、液晶パネル８を上流側搬送部２から検査部３に移し替えるための装置である。上流側移載部５は、パネル吸着部５７と、パネル搬送アーム５８と、パネル搬送機構５９とから構成されている。   The upstream transfer unit 5 is a device for transferring the liquid crystal panel 8 from the upstream transport unit 2 to the inspection unit 3. The upstream transfer unit 5 includes a panel suction unit 57, a panel transfer arm 58, and a panel transfer mechanism 59.

パネル吸着部５７は、液晶パネル８を吸着して支持するための部材である。パネル吸着部５７は、液晶パネル８の表面に吸着する吸着パッド６１と、パネル昇降機構６２とを備えて構成されている。この吸着パッド６１は吸引装置(図示せず)に接続されている。パネル昇降機構６２は、パネル搬送アーム５８に固定された状態で、吸着パッド６１を支持してこの吸着パッド６１で吸着された液晶パネル８を昇降させる。   The panel suction portion 57 is a member for sucking and supporting the liquid crystal panel 8. The panel suction portion 57 includes a suction pad 61 that sucks on the surface of the liquid crystal panel 8 and a panel lifting mechanism 62. The suction pad 61 is connected to a suction device (not shown). The panel lifting mechanism 62 supports the suction pad 61 and lifts the liquid crystal panel 8 sucked by the suction pad 61 while being fixed to the panel transport arm 58.

パネル搬送アーム５８は、上流側搬送部２の側部から液晶パネル８を支持するための棒材である。パネル搬送アーム５８の先端にパネル吸着部５７が取り付けられ、このパネル吸着部５７で吸着された液晶パネル８をパネル搬送アーム５８で上流側搬送部２の側部から支持するようになっている。パネル搬送機構５９は、液晶パネル８を上流側搬送部２から検査部３へ移動させるための装置である。パネル搬送機構５９は、直接的にはパネル搬送アーム５８を支持することで、このパネル搬送アーム５８及びパネル吸着部５７を介して液晶パネル８を支持して、上流側搬送部２から検査部３へ移動させるようになっている。   The panel transfer arm 58 is a bar for supporting the liquid crystal panel 8 from the side of the upstream transfer unit 2. A panel suction portion 57 is attached to the tip of the panel transport arm 58, and the liquid crystal panel 8 sucked by the panel suction portion 57 is supported from the side of the upstream transport portion 2 by the panel transport arm 58. The panel transport mechanism 59 is a device for moving the liquid crystal panel 8 from the upstream transport unit 2 to the inspection unit 3. The panel transport mechanism 59 directly supports the panel transport arm 58 to support the liquid crystal panel 8 via the panel transport arm 58 and the panel suction unit 57, and from the upstream transport unit 2 to the inspection unit 3. To move to.

下流側移載部６は、液晶パネル８を検査部３から下流側搬送部４に移し替えるための装置である。下流側移載部６は、前記上流側移載部５と同様に、パネル吸着部６５と、パネル搬送アーム６６と、パネル搬送機構６７とから構成されている。これら各部の機能は、左右対称になっている点の違いを除いて、上流側移載部５の各部の機構と同様である。   The downstream transfer unit 6 is an apparatus for transferring the liquid crystal panel 8 from the inspection unit 3 to the downstream transport unit 4. Similar to the upstream transfer unit 5, the downstream transfer unit 6 includes a panel suction unit 65, a panel transfer arm 66, and a panel transfer mechanism 67. The functions of these parts are the same as the mechanisms of the parts of the upstream transfer part 5 except for the difference in being symmetrical.

前記上流側移載部５と下流側移載部６とは互いに連動して制御され、液晶パネル８を上流側搬送部２から検査部３に移し替える動作と、検査部３から下流側搬送部４に移し替える動作とを、同時に行うように設定されている。   The upstream transfer unit 5 and the downstream transfer unit 6 are controlled in conjunction with each other to move the liquid crystal panel 8 from the upstream transport unit 2 to the inspection unit 3, and from the inspection unit 3 to the downstream transport unit. 4 is set to be performed simultaneously.

［動作］
以上のように構成されたインライン自動検査装置１は、次のように動作する。 [Operation]
The inline automatic inspection apparatus 1 configured as described above operates as follows.

液晶パネル８の製造ラインにおいては、ガラス基板の状態から、種々の処理工程を経て液晶パネル８が製造される。   In the production line of the liquid crystal panel 8, the liquid crystal panel 8 is produced through various processing steps from the state of the glass substrate.

この製造ラインの製造工程において、検査工程が組み込まれる場合がある。この場合は、製造ラインの途中に、インライン自動検査装置１が設置される。このインライン自動検査装置１では、製造ラインを搬送されてきた液晶パネル８が、その搬送経路に沿って流れながらインライン自動検査装置１に搬入され、検査終了後に搬送経路に戻される。このインライン自動検査装置１の動作を次に示す。   An inspection process may be incorporated in the manufacturing process of this manufacturing line. In this case, the inline automatic inspection apparatus 1 is installed in the middle of the production line. In this inline automatic inspection apparatus 1, the liquid crystal panel 8 that has been transported along the production line is carried into the inline automatic inspection apparatus 1 while flowing along the transport path, and is returned to the transport path after the inspection is completed. The operation of this inline automatic inspection apparatus 1 will be described below.

製造ラインを搬送されてきた液晶パネル８は、まず上流側搬送部２に流れてくる。上流側搬送部２では、粗アライメントユニット装置１１で液晶パネル８のあらかたの位置合わせがされる。具体的には、粗アライメントユニット装置１１の縦位置決め部１３で液晶パネル８の縦方向が、横位置決め部１４で横方向が位置あわせされる。スライダ１８で液晶パネル８を検出すると、シリンダ１９で支持部材２０が上昇されて液晶パネル８が持ち上げられ、スライダ１８がレール１７をスライドすることで、液晶パネル８の縦方向が位置合わせされる。次いで、シリンダ２５で支持部材２６が上昇されて液晶パネル８が持ち上げられ、スライダ２４がレール２３をスライドすることで、液晶パネル８の横方向が位置合わせされる。   The liquid crystal panel 8 that has been transported through the production line first flows into the upstream transport section 2. In the upstream conveyance unit 2, the liquid crystal panel 8 is roughly aligned by the coarse alignment unit device 11. Specifically, the vertical direction of the liquid crystal panel 8 is aligned by the vertical positioning unit 13 of the coarse alignment unit device 11, and the horizontal direction is aligned by the horizontal positioning unit 14. When the liquid crystal panel 8 is detected by the slider 18, the support member 20 is raised by the cylinder 19 to lift the liquid crystal panel 8, and the slider 18 slides on the rail 17, whereby the vertical direction of the liquid crystal panel 8 is aligned. Next, the support member 26 is raised by the cylinder 25, the liquid crystal panel 8 is lifted, and the slider 24 slides on the rail 23, whereby the horizontal direction of the liquid crystal panel 8 is aligned.

次いで、昇降部１５の支持部材３４が上昇して液晶パネル８を持ち上げて、上流側移載部５のパネル吸着部５７に受け渡す。上流側移載部５では、パネル吸着部５７が液晶パネル８に吸着して液晶パネル８を支持し、パネル搬送機構５９で検査部３のワークテーブル４５に搬送される。このとき、ワークテーブル４５上に既に液晶パネル８が存在する場合は、その検査が終了してから搬送が行われる。このとき、上流側移載部５と下流側移載部６は連動して同時に移し替える。   Next, the support member 34 of the elevating unit 15 is raised to lift the liquid crystal panel 8 and transfer it to the panel suction unit 57 of the upstream transfer unit 5. In the upstream transfer unit 5, the panel suction unit 57 sucks the liquid crystal panel 8 to support the liquid crystal panel 8, and is transported to the work table 45 of the inspection unit 3 by the panel transport mechanism 59. At this time, if the liquid crystal panel 8 already exists on the work table 45, the conveyance is performed after the inspection is completed. At this time, the upstream transfer unit 5 and the downstream transfer unit 6 are simultaneously transferred in conjunction with each other.

次いで、ＸＹＺθステージ４０内の昇降機構によって液晶パネル８が上昇され、カメラ５３に近づく。次いで、画像処理部４２で画像処理が行われる。具体的には、カメラ５３で撮影した液晶パネル８の表面の画像データが処理装置５５に送信され、この処理装置５５で画像処理が行われて、液晶パネル８の点灯検査が行われる。   Next, the liquid crystal panel 8 is raised by the lifting mechanism in the XYZθ stage 40 and approaches the camera 53. Next, the image processing unit 42 performs image processing. Specifically, the image data of the surface of the liquid crystal panel 8 photographed by the camera 53 is transmitted to the processing device 55, the image processing is performed by the processing device 55, and the lighting inspection of the liquid crystal panel 8 is performed.

このとき、次の液晶パネル８は、上流側搬送部２から内部搬送部４７を通って下流側搬送部４に流される。複数のインライン自動検査装置１が設置されている場合は、後方のインライン自動検査装置１に流される。   At this time, the next liquid crystal panel 8 flows from the upstream transport unit 2 to the downstream transport unit 4 through the internal transport unit 47. When a plurality of inline automatic inspection apparatuses 1 are installed, the inline automatic inspection apparatus 1 is flowed to the rear.

一方、作業者により目視検査を行う場合は、暗室用筐体５６を上昇させて、ワークテーブル４５を傾斜させる。具体的には、回転駆動部５２で回転軸５０を介してベース板４９を回動させて、ワークテーブル４５を図２から図３又は図４の状態に傾斜させる。   On the other hand, when visual inspection is performed by an operator, the darkroom casing 56 is raised and the work table 45 is tilted. Specifically, the base plate 49 is rotated by the rotation drive unit 52 via the rotation shaft 50, and the work table 45 is tilted from the state shown in FIG. 2 to FIG. 3 or FIG.

作業者は、傾斜したワークテーブル４５の正面に位置して、傾斜したワークテーブル４５に支持されて背面から照明された液晶パネル８を目視で検査する。検査が終了したら、回転駆動部５２によってワークテーブル４５が水平に戻され、上流側搬送部２、下流側搬送部４等と連動して液晶パネル８が移し替えられる。   An operator visually inspects the liquid crystal panel 8 that is positioned in front of the inclined work table 45 and is supported by the inclined work table 45 and illuminated from the back. When the inspection is completed, the work table 45 is returned to the horizontal position by the rotation drive unit 52, and the liquid crystal panel 8 is moved in conjunction with the upstream transport unit 2, the downstream transport unit 4, and the like.

次いで、回転駆動部５２でワークテーブル４５を傾斜させて、上記処理を繰り返す。このときも、次の液晶パネル８は、上流側搬送部２から内部搬送部４７を通って下流側搬送部４に流される。   Next, the work table 45 is tilted by the rotation driving unit 52 and the above processing is repeated. Also at this time, the next liquid crystal panel 8 flows from the upstream transport unit 2 through the internal transport unit 47 to the downstream transport unit 4.

［効果］
以上のように、インライン自動検査装置１では、このインライン自動検査装置１が搬送経路上に設置されるため、このインライン自動検査装置１のための特別の設置スペースを必要とせず、製造ラインの周囲の大幅な省スペース化を図ることができる。 [effect]
As described above, in the inline automatic inspection apparatus 1, since the inline automatic inspection apparatus 1 is installed on the conveyance path, a special installation space for the inline automatic inspection apparatus 1 is not required, and the periphery of the production line It is possible to achieve a significant space saving.

インライン自動検査装置１に回動機構４８を備えたので、搬送経路において目視検査を行うことが可能になり、検査効率が向上する。   Since the rotation mechanism 48 is provided in the in-line automatic inspection apparatus 1, it is possible to perform a visual inspection in the conveyance path, and the inspection efficiency is improved.

また、移載装置を特別に設ける必要がなく、スペースの有効利用やランニングコストの低減により、全体としてコスト低減を図ることができる。   Further, it is not necessary to provide a transfer device in particular, and the cost can be reduced as a whole by effectively using the space and reducing the running cost.

［変形例］
前記実施形態では、１つのインライン自動検査装置１を設置した場合を例に説明したが、図１２に示すように、製造ラインに複数のインライン自動検査装置１を設けてもよい。この場合、複数のインライン自動検査装置１が互いに連携して液晶パネル８の検査を行う。具体的には、前記搬送経路に複数配設されたインライン自動検査装置１のうち、先頭のインライン自動検査装置１で液晶パネル８の検査が開始されると、次の液晶パネル８は先頭のインライン自動検査装置１の内部搬送部４７を通過して次のインライン自動検査装置１に流れ、このインライン自動検査装置１で液晶パネル８の検査が開始される。次の液晶パネル８は２番目のインライン自動検査装置１の内部搬送部４７を通過して次のインライン自動検査装置１に流れ、前記同様にして検査が開始され、多数の液晶パネル８を効率的に検査することができる。 [Modification]
In the embodiment, the case where one inline automatic inspection apparatus 1 is installed has been described as an example. However, as shown in FIG. 12, a plurality of inline automatic inspection apparatuses 1 may be provided on the production line. In this case, the plurality of in-line automatic inspection apparatuses 1 cooperate with each other to inspect the liquid crystal panel 8. Specifically, among the plurality of inline automatic inspection apparatuses 1 arranged in the transport path, when the inspection of the liquid crystal panel 8 is started by the leading inline automatic inspection apparatus 1, the next liquid crystal panel 8 is in the leading inline. The flow passes through the internal conveyance unit 47 of the automatic inspection apparatus 1 and flows to the next inline automatic inspection apparatus 1, and the inspection of the liquid crystal panel 8 is started by the inline automatic inspection apparatus 1. The next liquid crystal panel 8 passes through the internal transfer section 47 of the second inline automatic inspection apparatus 1 and flows to the next inline automatic inspection apparatus 1, and inspection is started in the same manner as described above, so that a large number of liquid crystal panels 8 can be efficiently used. Can be inspected.

さらに、自動検査と目視検査とを選択的に、又は複数のインライン自動検査装置１で両方の検査を同時に行うことができるようになり、検査効率が大幅に向上する。   Furthermore, both the automatic inspection and the visual inspection can be performed selectively, or both inspections can be performed simultaneously by the plurality of in-line automatic inspection apparatuses 1, and the inspection efficiency is greatly improved.

また、前記実施形態では、検査対象物として液晶パネル８を例に説明したが、液晶パネル８以外の検査対象物でも適用可能であり、前記同様の作用、効果を奏する。   In the above embodiment, the liquid crystal panel 8 is described as an example of the inspection object. However, the inspection object other than the liquid crystal panel 8 can be applied, and the same operation and effect as described above can be achieved.

本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す側面図である。It is a side view which shows the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置をそのワークテーブルを傾斜させた状態で示す側面図である。It is a side view which shows the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention in the state which inclined the work table. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置をそのワークテーブルを傾斜させた状態で示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inline automatic test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention in the state which inclined the work table. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図（図６のＡ−Ａ線矢視断面図）である。It is front sectional drawing (AA arrow directional cross-sectional view of FIG. 6) which shows the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す平面図である。It is a top view which shows the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を示す正面断面図である。It is a front sectional view showing an in-line automatic inspection device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の回動機構を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the rotation mechanism of the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the rough alignment unit apparatus of the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which incorporated the rough alignment unit apparatus of the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention in the upstream conveyance part. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置の粗アライメントユニット装置を上流側搬送部に組み込んだ状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state which incorporated the rough alignment unit apparatus of the in-line automatic inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention in the upstream conveyance part. 本発明の実施形態に係るインライン自動検査装置を製造ラインに複数組み込んだインライン自動検査システムである。1 is an inline automatic inspection system in which a plurality of inline automatic inspection apparatuses according to an embodiment of the present invention are incorporated in a production line.

符号の説明Explanation of symbols

１：インライン自動検査装置、２：上流側搬送部、３：検査部。４：下流側搬送部、５：上流側移載部、６：下流側移載部、８：液晶パネル、９：ローラー、１０：側壁、１１：粗アライメントユニット装置、１３：縦位置決め部、１４：横位置決め部、１５：昇降部、１７：レール、１８：スライダ、１９：シリンダ、２０：支持部材、２１：パネル検知センサ、２３：レール、２４：スライダ、２５：シリンダ、２６：支持部材、２８：パネルリフタ、２９：シリンダ、３１：支持板、３２：ガイド棒、３３：支持棒、３４：支持部材、３５：案内板、３６：ガイド穴、３７：フレーム、４０ＸＹＺθステージ、４１：検査ステージ、４２：画像処理部、４５：ワークテーブル、４６：バックライト、４７：内部搬送部、４８：回動機構、４９：ベース板、５０：回転軸、５１：軸受け、５２：回転駆動部、５３：カメラ、５４：カメラ駆動機構、５５：処理装置、５６：暗室用筐体、５７：パネル吸着部、５８：パネル搬送アーム、５９：パネル搬送機構、６１：吸着パッド、６２：パネル昇降機構、６５：パネル吸着部、６６：パネル搬送アーム、６７：パネル搬送機構。   1: In-line automatic inspection device, 2: upstream transport section, 3: inspection section. 4: Downstream transport unit, 5: Upstream transfer unit, 6: Downstream transfer unit, 8: Liquid crystal panel, 9: Roller, 10: Side wall, 11: Coarse alignment unit device, 13: Vertical positioning unit, 14 : Lateral positioning part, 15: lifting part, 17: rail, 18: slider, 19: cylinder, 20: support member, 21: panel detection sensor, 23: rail, 24: slider, 25: cylinder, 26: support member, 28: Panel lifter, 29: Cylinder, 31: Support plate, 32: Guide rod, 33: Support rod, 34: Support member, 35: Guide plate, 36: Guide hole, 37: Frame, 40XYZθ stage, 41: Inspection stage, 42: image processing unit, 45: work table, 46: backlight, 47: internal transfer unit, 48: rotating mechanism, 49: base plate, 50: rotating shaft, 51: bearing, 52: rotating drive Part, 53: camera, 54: camera drive mechanism, 55: processing device, 56: darkroom casing, 57: panel suction part, 58: panel transport arm, 59: panel transport mechanism, 61: suction pad, 62: panel Elevating mechanism, 65: panel suction unit, 66: panel transport arm, 67: panel transport mechanism.

Claims (5)

検査対象物を搬送経路に沿って搬送する上流側搬送部と、
当該上流側搬送部の下流側に連なるように互いに近接して配置され、前記検査対象物を支持して傾斜させて目視検査を行うと共にその下側での検査対象物の通過を許容する検査部と、
当該検査部の下流側に連なるように互いに近接して配置されて検査後の前記検査対象物を搬送経路に沿って下流側へ搬送する下流側搬送部と、
前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える上流側移載部と、
前記検査対象物を前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える下流側移載部とを備えて構成され、
前記検査部が、回動可能にかつ昇降可能に設置されて前記検査対象物を支持するワークテーブルと、前記検査対象物の検査のために当該ワークテーブルを上昇させた位置で前記上流側搬送部及び下流側搬送部と協働して搬送径路を構成する内部搬送部と、前記ワークテーブルを目視検査のために傾斜させる回動機構とを備えて構成されたことを特徴とするインライン自動検査装置。 An upstream conveyance unit that conveys the inspection object along the conveyance path;
An inspection unit that is arranged close to each other so as to be connected to the downstream side of the upstream conveyance unit, supports the inspection object, inclines and performs a visual inspection, and allows the inspection object to pass therethrough. When,
A downstream transport unit that is arranged close to each other so as to be connected to the downstream side of the inspection unit and that transports the inspection object after the inspection to the downstream side along the transport path;
An upstream transfer section for transferring the inspection object from the upstream transport section to the inspection section;
A downstream transfer unit configured to transfer the inspection object from the inspection unit to the downstream transport unit;
The inspection unit is installed so as to be rotatable and movable up and down to support the inspection object, and the upstream conveying unit at a position where the work table is raised for inspection of the inspection object And an in-line automatic inspection apparatus comprising an internal conveyance section that forms a conveyance path in cooperation with the downstream conveyance section, and a rotation mechanism that inclines the work table for visual inspection. . 請求項１に記載のインライン自動検査装置において、
前記検査対象物を前記上流側搬送部から前記検査部に移し替える動作と、前記検査部から前記下流側搬送部に移し替える動作とを、前記上流側移載部と下流側移載部とが連動して同時に行うことを特徴とするインライン自動検査装置。 In the in-line automatic inspection apparatus according to claim 1 ,
An operation of transferring the inspection object from the upstream transport unit to the inspection unit, and an operation of transferring the inspection object from the inspection unit to the downstream transport unit include the upstream transfer unit and the downstream transfer unit. An in-line automatic inspection device characterized by being performed simultaneously in conjunction. 請求項１又は２に記載のインライン自動検査装置において、
前記上流側搬送部に、前記検査部のワークテーブルに前記上流側移載部で移し替える前記検査対象物の粗位置を調整する粗アライメントユニット装置を備えたことを特徴とするインライン自動検査装置。 In the in-line automatic inspection apparatus according to claim 1 or 2 ,
An in-line automatic inspection apparatus comprising a rough alignment unit device for adjusting a rough position of the inspection object to be transferred to the work table of the inspection unit by the upstream transfer unit in the upstream transport unit. 請求項１乃至３いずれか１項に記載のインライン自動検査装置において、
前記検査部が、前記ワークテーブルに臨ませて設けられたカメラと、当該カメラを内部に収納すると共に、前記ワークテーブルをその上側から覆って当該ワークテーブルに支持された前記検査対象物を前記カメラで撮影するための暗室を構成する昇降可能な筐体とを備えたことを特徴とするインライン自動検査装置。 The in-line automatic inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3 ,
The inspection unit is provided with a camera provided facing the work table, the camera is housed therein, and the inspection object supported by the work table is covered with the work table from above the work table. An in-line automatic inspection apparatus comprising a casing that can be moved up and down to constitute a dark room for photographing with a camera. 請求項１に記載のインライン自動検査装置を、前記搬送経路に複数配設されたことを特徴とするインライン自動検査システム。 An in- line automatic inspection system, wherein a plurality of in- line automatic inspection devices according to claim 1 are arranged in the conveyance path.
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