JP5001119B2 - 温度センサプローブ、及びその製造方法 - Google Patents
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Description
上記の温度センサプローブにおいて、前記蛍光体は、ルビーであることが好ましい。
上記の温度センサプローブにおいて、前記蛍光体に照射される励起光が黄色LEDによる光であることが好ましい。これにより、測定の雑音を低減することができる。
光源には、波長が略600nmである黄色LED(発光ダイオード)を用いることが好ましい。ここでは、例えば、入手容易な、中心波長590nmのLEDを用いている。黄色LEDを用いることで、蛍光材料21に対して励起光を安定して照射できるようになる。また、黄色LEDは、光源の寿命が長いため、長時間動作させることが可能になる。さらに、黄色の光を励起光として用いることで、測定の雑音を低減することができる。すなわち、例えば、光検出器として、シリコン製フォトダイオードを用いた場合、波長の短い励起光(例えば、波長405nm)が入射すると、シリコンチップ中に準位を形成してしまう。従って、暗電流が増加して、長時間使用により雑音が増えてしまう。一方、励起光の黄色の光を用いることで、このような暗電流の増加を低減することができる。よって、雑音を低減することができ、精度の高い測定を行うことができる。さらに、蛍光体25としてルビーを用いた場合、黄色の光に対する吸収が大きい。よって、蛍光強度を高くすることができる。
21 蛍光材料、25 蛍光体、26 粒、100 温度センサ、
Claims (3)
- 温度により蛍光特性が変化する蛍光体に対して黄色LEDによる光を照射することで温度を測定するための温度センサプローブであって、
粉状のルビーである蛍光体と、
前記蛍光体に照射される励起光と前記蛍光体で発生した蛍光とを伝播する導波路部材と、を備え、
前記粉状の蛍光体のほとんど全ての粒径が60〜100μmの範囲に含まれている温度センサプローブ。 - 温度により蛍光特性が変化する蛍光体に対して黄色LEDによる光を照射することで温度を測定するための温度センサプローブであって、
分粒されたルビーである粉状の蛍光体と、
前記蛍光体に照射される励起光と前記蛍光体で発生した蛍光とを伝播する導波路部材と、を備え、
前記粉状の蛍光体の粒径が60〜100μmの範囲に含まれるようにふるい分けられている温度センサプローブ。 - 温度により蛍光特性が変化する蛍光体に対して黄色LEDによる光を照射することで温度を測定するための温度センサプローブの製造方法であって、
異なるサイズのメッシュを用いて粉状のルビーである蛍光体の粒径が60μm〜100μmの範囲になるようにふるい分けるステップと、
前記励起光を伝播する導波路部材の先端に60〜100μmの範囲にふるい分けられた前記蛍光体を設けるステップと、を備える温度センサプローブの製造方法。
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