JP4993317B2 - ストッパーを用いてレーザーダイオードを鉛直方向に配置するための担持体 - Google Patents
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Description
−導電材料から成る基層を介して両面にて互いに接触している複数個のレーザーダイオード要素を鉛直方向に積層した鉛直方向の積層体と、
−第1の金属層と少なくとも1つの第2の金属層とから成り、第1および第2の金属層が非金属材料から成る少なくとも1つの電気絶縁層により互いに分断されている少なくとも1つの第1の多層担持体と、
を含み、
−前記金属層のうち少なくとも一方の金属層が互いに間隔をもって並設される複数個の金属層領域に分割され、
−互いに隣接しあっているレーザーダイオード要素の逆極性の基層が一方の金属層の共通の層領域に被着されている、
レーザー光線源によって解決される。
図1から図6までに図示したレーザー光線源の場合、レーザーダイオードバー1として形成されたレーザーダイオード要素(たとえばGaAsから成る)は、導電材から成る基層2,3(銅・タングステンのようなレーザーダイオードバーの材料と同様の熱膨張係数を持った基層)によってp側とn側を硬蝋(たとえば共晶金・錫 Au80Sn20)を用いて結合され、よって接触せしめられ、給電および放熱に用いられる担持体4上に被着されている。
Claims (21)
- −導電材料から成る基層(2,2',3,3')を介して両面にて互いに接触している複数個のレーザーダイオード要素(1,1')を鉛直方向に積層した鉛直方向の積層体と、
−第1の金属層(5)と少なくとも1つの第2の金属層(6)とから成り、第1および第2の金属層(5,6)が非金属材料から成る少なくとも1つの電気絶縁層(7,16,17)により互いに分断されている少なくとも1つの第1の多層担持体(4,4',4")と、
を含み、
−前記金属層(5、6)のうち少なくとも一方の金属層が互いに間隔をもって並設される複数個の金属層領域(8、8'、8"、9、9'、9"、21、21'、21")に分割され、
−互いに隣接しあっているレーザーダイオード要素(1,1')の逆極性の基層(2,3)が一方の金属層の共通の層領域(8,9,21)に被着されている、
レーザー光線源。 - 互いに隣接しあっているレーザーダイオード要素(1,1')の逆極性の基層(2,3)の間に隙間(10)が設けられている、請求項1に記載のレーザー光線源。
- 第1および第2の金属層(5,6)が互いに間隔をもって並設される複数個の金属層領域(8、8'、8"、9、9'、9")に分割されている、請求項2に記載のレーザー光線源。
- 第1の金属層(5)の層領域(8,8'8")と第2の金属層(6)の層領域(9,9',9")とが互いに合同に配置されている、請求項3に記載のレーザー光線源。
- 第1の金属層(5)の層領域(8,8'8")と第2の金属層(6)の層領域(9,9',9")とが互いにずらして配置されている、請求項3に記載のレーザー光線源。
- レーザーダイオード要素(1,1')から成る鉛直方向の積層体を画成している基層(2',3')がそれぞれ1つの層領域(8',8")のみに蝋付けされ、各層領域(8',8")に給電用の電気接点要素が案内されている、請求項4または5に記載のレーザー光線源。
- レーザーダイオード要素(1,1')から成る鉛直方向の積層体を画成している基層(2',3')を蝋付けした層領域(8',8")が、担持体(4)の反対側にあるそれぞれ1つの層領域(9',9")と電気接触しており、前記反対側で前記電気接点要素が層領域(9',9")に取り付けられている、請求項6に記載のレーザー光線源。
- レーザーダイオード要素(1)の接触面に対し垂直な方向でのp側の基層(2,2')のサイズが、レーザーダイオード要素(1)の共振器長の0.5倍ないし1倍であり、n側の基層(3)が0.25倍ないし0.5倍である、請求項1から7までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
- 光放射方向での基層(2,2',3,3')のサイズが、層領域(8)にわたって、レーザーダイオード要素(1)の共振器長を上回り、しかし共振器長の2倍よりも小さい、請求項1から8までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
- レーザーダイオード要素(1)がレーザーダイオードバーとして構成されている、請求項1から9までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
- レーザーダイオード要素(1')が、スロー・アクシス方向での光放射面の拡がりの半分よりも大きな共振器長を有している、請求項1から7までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
- レーザーダイオード要素(1')の光放射方向(LE)が層領域(21,21',21")に平行になるように、基層(2,2',3,3')が層領域(21,21',21")上に固定されている、請求項11に記載のレーザー光線源。
- 第1および第2の金属層から成る第2の多層担持体(4'")が設けられ、第1および第2の金属層が、非金属材料から成る少なくとも1つの電気絶縁層(16,17)により互いに分断され、前記金属層のうち少なくとも一方の金属層が互いに間隔をもって並設される複数個の金属層領域(21、21'、21")に分割され、レーザーダイオード要素(1')の積層体が第1の多層担持体(4")と第2の多層担持体(4'")との間に配置され、互いに隣接しあっているレーザーダイオード要素(1')の逆極性の基層(2,3)がそれぞれの担持体(4",4'")の共通の層領域(21)に被着されている、請求項12に記載のレーザー光線源。
- 少なくとも1つの担持体(4,4',4",4'")が、少なくとも層領域(8、8'、8"、9、9'、9"、21、21'、21")の表面において、基層(2,2',3,3')の熱膨張係数に相当する熱膨張係数を有している、請求項1から13までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
- 基層(2,2',3,3')が、錫を高含有する軟質蝋材を介して、層領域(8、8'、8"、9、9'、9"、21、21'、21")と結合されている、請求項1から14までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
- 基層(2,2',3,3')が、50原子百分率以上の金を含む金・錫蝋材を介して、層領域(8、8'、8"、9、9'、9"、21、21'、21")と結合されている、請求項14に記載のレーザー光線源。
- 第1および第2の金属層(5,6)が銅から成っている、請求項1から16までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
- 少なくとも1つの電気絶縁層(7,16,17)が窒化アルミニウム・セラミックスから成っている、請求項17に記載のレーザー光線源。
- 銅から成る金属層(5,6)の厚さの総計が、窒化アルミニウム・セラミックスから成る非金属層(7,16,17)の厚さの総計の2倍である、請求項18に記載のレーザー光線源。
- 銅から成る金属層(5,6)の厚さの総計と窒化アルミニウム・セラミックスから成る非金属層(7,16,17)の厚さの総計との比率が、銅のビッカース硬度をHV60ないしHV120としたとき、1.5:1ないし2.0:1である、請求項18に記載のレーザー光線源。
- 多層担持体(4',4",4'")が、非金属層(16,17)の間に配置されるマイクロクーラー(18)を備え、該マイクロクーラー(18)が冷媒用のチャネルを有し、冷媒のための供給チャネル(19)と排出チャネル(20)が多層担持体(4')の底部に設けられている、請求項1から20までのいずれか一つに記載のレーザー光線源。
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