JP4991009B2 - リソグラフィ装置及び方法 - Google Patents
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Description
上式で、λは放射の波長、dは画像面I内のミラーによって形成された反射ディスクの直径、及びθはエアリーディスクの第1の最小強度が観察される角度である。
[00121] 以上、本発明の様々な実施形態について説明してきたが、それらの実施形態は、限定的ではなく例示的であることを理解されたい。本発明の範囲を逸脱することなく本発明の形態及び詳細を様々に変更することができることは、当業者には明らかであろう。それ故、本発明の範囲は、上述した例示的実施形態によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及びその等価物によってのみ規定される。
Claims (12)
- リソグラフィ装置内の収差を測定する方法であって、
個別に制御可能な素子のアレイを用いて放射ビームを変調するステップと、
投影システムを用いて前記変調された放射ビームを投影するステップと、
前記投影された放射をセンサを用いて検出するステップと、
前記検出された放射ビーム内の収差を測定するステップとを含み、
前記個別に制御可能な素子のアレイ上にパターンを提供して前記放射ビームを変調し、
前記パターンが、複数の反復する明るい領域及び暗い領域を有し、
前記複数の明るい領域及び暗い領域が、前記投影システムの瞳を実質的に充填する前記放射ビームの一次回折を生成するような寸法であり、
前記パターンが、破壊的干渉によってゼロ次回折放射を実質的に除去し、
前記センサが、前記投影システムによって投影された前記放射内の干渉を測定する、方法。 - 前記複数の明るい領域及び暗い領域が、複数の明るい線及び暗い線、又はチェッカーボードパターンを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記明るい領域及び暗い領域の一方が、放射に第1の位相を与え、他方が、放射に第1の位相と逆の第2の位相を与える、請求項1ないし3のいずれかに記載の方法。
- 前記個別に制御可能な素子が、位相段差を有するミラーであり、前記明るい領域及び暗い領域の一方が、第1の向きを有し、他方が、逆の向きを有する、請求項4に記載の方法。
- 前記投影システムによって投影された前記放射内の前記干渉パターンの第1高調波を検出することで前記収差が決定される、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方法。
- 格子が、前記センサの一部を形成し、前記干渉が、格子によって生成される、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数の明るい領域及び暗い領域が、個別に制御可能な素子のグループから形成される、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の方法。
- リソグラフィ装置であって、
放射ビームを変調する個別に制御可能な素子のアレイと、
前記変調された放射ビームを投影する投影システムと、
前記投影システムによって投影された放射を検出するセンサと、
個別に制御可能な素子のアレイ上にパターンを提供するコントローラとを備え、
前記パターンが、複数の反復する明るい領域及び暗い領域を有し、
前記複数の明るい領域及び暗い領域が、前記投影システムの瞳を実質的に充填する前記放射ビームの一次回折を生成するような寸法であり、
前記パターンが、破壊的干渉によってゼロ次回折放射を実質的に除去し、
前記センサが、前記投影システムによって投影された放射内の干渉を測定する、リソグラフィ装置。 - 個別に制御可能な素子が、それぞれの位相段差を有するミラーである、請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記明るい領域及び暗い領域の一方が、第1の向きを有するミラーを用いて形成され、他方が、第1の向きと逆の第2の向きを有するミラーを用いて形成される、請求項10に記載のリソグラフィ装置。
- 前記センサが、検出器及び格子を備え、
前記格子が、前記検出器から離間して位置し、
前記格子が、前記投影システムの画像面内にあって、前記検出器が、遠視野内にある、請求項9乃至11のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
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