JP4982798B2 - 工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置 - Google Patents

Description

本発明は、工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置に関し、特に、ループ状の搬送ラインのコーナ部にシフト装置を配置し、故障してメンテナンス対象となったり、定期メンテナンスの対象となった、メンテナンス対象の搬送車を該搬送ラインコーナ部から離脱することにより工場スペースを大きくすることなく、製造装置エリアを有効に活用することができるようにした工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置に関するものである。

従来、液晶基板や半導体等の製造工場のクリーンルームにおいては、搬送ラインの本線走行レール、特に直線部に沿って複数台の製造装置を配置し、液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物を、所定の製造装置へ或いは予め定められた工程に従って搬送するようにしている。
この工場内の予め定められた工程間でカセット等の搬送物を搬送する際、搬送ラインの本線走行レールに沿って走行する無人搬送車を用いている。この無人搬送車としては、工場の地上を走行するＲＧＶ（有軌道式地上搬送車）と、工場の天井部を走行するＯＨＶ（有軌道式天井搬送車）とがある。
また、製造工場内の予め定められた工程間搬送の効率を向上させるため、無人の搬送車を複数台、同時に走行するようにしている。

ところで、このような工程間搬送において、搬送ライン上で１台の搬送車が故障或いは故障して停止すると、後続のすべての搬送車も停止するようになり、工程間搬送が完全に停止し、生産に大きな影響を与えるようになる。これを防ぐため、工程間搬送システムにおいては、ループ状の搬送ラインから故障した搬送車を離脱するためのシフトゾーンを備えるようにしている。
また、同様の理由から、定期メンテナンスの対象となった搬送車についても、このシフトゾーンを用いるようにしている。
このシフトゾーンとしては、特に限定されるものではないが、例えば、ループ状の搬送ラインの直線区間の一部にシフトゾーンを配置し、搬送ラインよりシフトゾーンを経てメンテナンス対象の搬送車をメンテナンスゾーン側へと、搬送ラインと交わる方向に敷設したシフトレールに導かれて離脱用台車を移動するようにしたシフト装置を用いて離脱させるようにしている。或いはシフトゾーンからメンテナンス対象の搬送車を、搬送ラインの直線区間の一部と平行するように配設したメンテナンスゾーン側へクレーンにて吊垂して移動させるようにし、これにより、メンテナンス対象の搬送車より後続の搬送車の搬送走行を可能としている。

また、メンテナンス対象の搬送車をループ状の搬送ラインの直線区間に配設するシフトゾーンより離脱させる方法では、搬送ラインに沿った製造装置エリア内にシフタ装置設置スペースが必要となり、これにより製造装置エリアの有効スペースを占有するものとなって、それだけ製造装置エリアの有効スペースが狭くなるという問題があった。
また、近年の液晶基板の大型化により、搬送車自体も大型になり、これに伴い搬送ラインのコーナ部の回転半径が大きくなっており、これにより、ループ状の搬送ラインの中間部分に空きスペースがあるにもかかわらず、シフト装置を配置するスペースを、工場レイアウト時に製造装置エリア内に予め準備しておく必要があり、それだけ工場スペースが全体として大きくなるという問題があった。

本発明は、工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置の有する問題点に鑑み、製造装置を配置していない搬送ラインのコーナ部にシフト装置を配置することで、メンテナンス対象の搬送車のリジェクトに時間がかからず、かつ工場スペースを大きくすることもなく、また製造装置エリアの有効スペースを占有することなく製造装置エリアを最大限に活用することができるようにした工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置は、搬送ラインコーナ部の製造装置エリア外に、メンテナンス対象の搬送車を搬送ラインから離脱するためのシフト装置を配置するようにした工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置であって、シフト装置を、搬送ラインの平行する２本の直線走行レール端部間を接続するようにした曲線レールと直線状のシフトレールとを敷設したシフト台車を、搬送ラインの直線走行レール端部に曲線レール或いはシフトレールを選択的に接続できるよう、搬送ラインの直線走行レールと交わる方向に移動可能に構成したことを特徴とする。

この場合において、シフト装置外方の製造装置エリア外にリジェクトレールを配設して構成することができる。

また、搬送ラインの平行する２本の直線走行レールの端部を屈曲し、これと接続するようにしたシフト台車上の曲線レールを小径に形成し、シフト装置幅を小として構成することができる。

本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置によれば、搬送ラインコーナ部の製造装置エリア外に、メンテナンス対象の搬送車を搬送ラインから離脱するためのシフト装置を配置するように構成することにより、シフト装置を配置するスペースを、製造装置エリア内に準備することがないので、製造装置エリアのスペースを有効に活用することができる。

そして、シフト装置を、搬送ラインの平行する２本の直線走行レールの端部間を接続するようにした曲線レールと直線状のシフトレールとを敷設したシフト台車を、搬送ラインの直線走行レールの端部に曲線レール或いはシフトレールを選択的に接続できるように搬送ラインの直線走行レールと交わる方向に移動可能に構成することにより、メンテナンス対象の搬送車の搬送ラインからの離脱が簡易、確実に行うことができる。

また、シフト装置外側の製造装置エリア外にリジェクトレールを配設して構成することにより、後続の搬送車の走行をほとんど停止させることなく、メンテナンス対象の搬送車に対して修理等のメンテナンスを行うことができる。

また、搬送ラインの平行する２本の直線走行レールの端部を屈曲し、これと接続するようにしたシフト台車上の曲線レールを小径に形成し、シフト装置幅を小として構成することにより、大型搬送車を走行させる場合でも、搬送ラインコーナ部の回転半径を小さく設定し、シフト装置幅を小とすることができる。

以下、本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図２に、本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置の第１実施例を示す。
本発明の工程間搬送システムは、特に限定されるものではないが、例えば、図２に示すように、液晶基板や半導体等の製造工場においては、ループ状の搬送ラインＲの直線区間に沿ってその外側に複数台の製造装置Ｍ、Ｍを配設し、このループ状の搬送ラインＲに沿って複数台の搬送車Ｖ、Ｖが走行し、製造装置Ｍの工程間を液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物を搬送するようにしている。

この搬送ラインＲは、ループ状に走行レールを敷設し、通常製造装置を配置しないこのコーナ部にシフト装置Ａを配置して構成している。
このシフト装置Ａは、図１に示すように、搬送ラインの直線走行レール部に接続されるコーナ部に配設され、往路側の直線走行レールＲ１及び該往路側の直線走行レールＲ１と所要間隔をあけて敷設するようにした復路側の直線走行レールＲ２とが平行する直線走行レールの端部位置において、該直線走行レールと直交する方向に移動可能としたシフト台車１と、該シフト台車上に往路側の直線走行レールＲ１と復路側の直線走行レールＲ２とを互いに接続するよう半円形に屈曲して敷設した曲線レール２と、該曲線レール２の外側位置で、かつ直線走行レールＲ１と平行するよう直線状に敷設したシフトレール３とより構成し、シフト台車１の下部に、ローラ、コロなどの転動手段（図示省略）を配し、これによりシフト台車１が円滑にスライド移動するようにする。
また、このシフト台車１はその一部に、特に限定されるものではないが、例えば、シフト台車外側面に沿ってスクリューロッド式、シリンダ式等のスライド移動装置４を配設し、このスライド移動装置４の駆動によりシフト台車１を往路側の直線走行レールＲ１の端部及び復路側の直線走行レールＲ２の端部と直交する方向へ、かつ予め定めた距離だけ移動するようにする。

このシフト台車１の移動量Ｌは、シフト台車上の曲線レール２が平行する往路側の直線走行レールＲ１と接続される位置から、シフト台車上のシフトレール３が直線走行レールＲ１と接続される位置までとし、これにより往路側の直線走行レールＲ１の端部は、曲線レール２とシフトレール３のいずれか一方の端部と選択的に接続されるようにする。
また、搬送ラインの外側で、いずれか一方の直線走行レール、特に限定されるものではないが、例えば、往路側の直線走行レールＲ１の延長線上となるようにしてリジェクトレール５を直線的に敷設し、これによりシフト台車１を移動量Ｌだけ移動させることで、往路側の直線走行レールＲ１の端部よりシフトレール３を介してリジェクトレール５と一直線的に接続されるようにする。

次に、本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置の作用について、故障した搬送車をリジェクトする場合を例にとって説明する。
図１〜図２に示す第１実施例において、液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物を工程間搬送する場合、通常シフト台車１は、搬送ラインの直線走行レール部（往路側の直線走行レールＲ１の端部及び復路側の直線走行レールＲ２の端部）と、シフト台車上の曲線レール２の端部とは互いに接続され、これらによりループ状となって、この搬送ラインＲに沿って複数台の搬送車Ｖが走行し、カセット等の搬送物を搬送する。
搬送車Ｖのいずれか１台が故障し、これを別設の制御装置等（図示省略）にて検知すると、シフト装置Ａのシフト台車１をスライド移動装置４の駆動により移動量Ｌだけ移動させる。これによりループ状となっていた搬送ラインの直線走行レール部と、シフト台車上の曲線レール部とは互いに離間するようになるとともに、往路側の直線走行レールの端部は移動したシフト台車上のシフトレールの端部と接続されるようになる。

また、このシフトレール３の他方側端部はリジェクトレールの端部とも接続されるようになる。このとき、故障した搬送車が走行可能ならばそのまま搬送ラインの直線走行レール部上を走行させ、シフトレール３を経てリジェクトレール５へと移動させるとともに、故障搬送車がリジェクトレール５へと移動したことを検知した後、シフト台車１を復帰させると後続の搬送車による搬送作業を継続することができる。そして、このリジェクトレール上で故障した搬送車の修理を行う。

また、故障搬送車が走行不可能ならば、後続の搬送車にて後押しするようにして、或いは他の手段で故障搬送車をシフトレール３を経てリジェクトレール５へと移動させた後、後押し搬送車を搬送ラインの直線走行レール部上まで後退させた後、シフト台車１を復帰させると、この搬送車Ｖを、そして後続の搬送車での液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物の搬送作業を継続することができる。これにより製造装置を配置していない箇所での修理作業を行うことができる。

なお、この第１実施例では、ループ状の搬送ラインＲの片側のコーナ部のみにシフト装置Ａを配設したが、ループ状の搬送ラインＲの両端部のコーナ部にシフト装置（図示省略）をそれぞれ配設することもできる。また、この場合、シフト装置のシフト台車の移動方向を左右のシフト装置で互いに異なるようにすることで、ループ状の搬送ラインの直線走行レールの往路側、復路側いずれの位置に故障が生じても速やかに故障搬送車の離脱を行うことができるものとなる。

また、図３に示すものは、本発明の第２実施例を示す。
この第２実施例は、シフト装置Ａの幅（シフト台車１の移動範囲）Ｌ０を小として構成する場合に適している。この場合は、ループ状の搬送ラインの直線走行レールの端部を少し屈曲Ｒａするようにして小径の曲線レールの端部と円滑に接続されるようにするとともに、シフト台車上に敷設するシフトレール３の一端部も搬送ライン側直線走行レールの端部の屈曲端部とも接続されるよう少し屈曲させるようにして形成し、シフト装置Ａの幅（シフト台車１の移動範囲）Ｌ０を小として構成するようにしているが、その他の構成は第１実施例と同じである。

以上、本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。

本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置は、製造装置エリアの有効スペースを占有することなく、製造装置エリアを有効に活用するという特性を有していることから、半導体製造工場の工程間搬送システムの用途に好適に用いることができるほか、例えば、クリーンルーム内の搬送システムの用途にも用いることができる。

本発明の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置の第１実施例を示す平面図である。 工程間搬送システム全体を示す平面図である。 搬送ラインのコーナ部を直線部より細くし、シフト装置幅を小として構成するようした第２実施例の平面図である。

Ａ シフト装置
Ｌ シフト台車の移動量
Ｌ０ シフト装置の幅（シフト台車の移動範囲）
Ｍ 製造装置
Ｒ 搬送ライン
Ｒ１ 往路側の直線走行レール
Ｒ２ 復路側の直線走行レール
Ｖ 搬送車
１ シフト台車
２ 曲線レール
３ シフトレール
４ スライド移動装置
５ リジェクトレール

Claims (3)

1. 搬送ラインコーナ部の製造装置エリア外に、メンテナンス対象の搬送車を搬送ラインから離脱するためのシフト装置を配置するようにした工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置であって、シフト装置を、搬送ラインの平行する２本の直線走行レール端部間を接続するようにした曲線レールと直線状のシフトレールとを敷設したシフト台車を、搬送ラインの直線走行レール端部に曲線レール或いはシフトレールを選択的に接続できるよう、搬送ラインの直線走行レールと交わる方向に移動可能に構成したことを特徴とする工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置。
2. シフト装置外方の製造装置エリア外にリジェクトレールを配設して構成したことを特徴とする請求項１記載の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置。
3. 搬送ラインの平行する２本の直線走行レール端部を屈曲し、これと接続するようにしたシフト台車上の曲線レールを小径に形成し、シフト装置幅を小として構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の工程間搬送システムにおける搬送車のシフト装置。

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