JP4972657B2 - 気化器及び成膜装置 - Google Patents
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Description
まず、図1を参照して本発明に係る第1基本形態の気化器410について説明する。この基本形態の気化器410は、噴霧ノズル411と、加熱手段412cなどによって加熱された気化室412とを有し、また、ガス導出口413が設けられている。
次に、図2を参照して、本発明に係る第1実施形態の気化器420について説明する。この実施形態の気化器420では、第1基本形態と同様のフィルタ424の表面424aが気化面として噴霧ノズル421の噴霧口421aに対向配置されているが、このフィルタ424の裏面は気化室422の内面に接触するように配置されている。また、ガス導出口423はフィルタ424の表面424a側の側面に設けられている。
次に、図3を参照して、本発明に係る第2基本形態の気化器430について説明する。この基本形態の気化器430においては、第1実施形態とほぼ同様に、気化室432の内部にフィルタ434が配置され、フィルタ434の表面434aは噴霧ノズル431の噴霧口431aに対向配置されている。また、ガス導出口433は噴霧口431aから見てフィルタ434の背後に設けられている。
次に、図4を参照して、本発明に係る第2実施形態の気化器440について説明する。この実施形態の気化器440は、気化室442の内部に、噴霧ノズル441の噴霧口441aに向かって凹曲面状の表面444aを有するフィルタ444が配置されている。このフィルタ444は、凹曲面状の表面を有する伝熱材445の上に接触配置されている。この伝熱材445には、第2基本形態と同様に複数の開口部445aが設けられている。
次に、図5を参照して、本発明に係る第3基本形態の気化器450について説明する。この基本形態の気化器450においては、気化室452の内部に多数の孔454a,455aを備えた多孔材である多孔板454,455が配置されている。多孔板454,455は、噴霧口451aから見て相互に重なるように配置されている。このとき、多孔板454の孔454aと、多孔板455の孔454aとは噴霧口451aから見て平面的に異なる位置に配置されるように構成されていることが望ましい。なお、ガス導出口453は、噴霧口451a側の気化室452の壁面に設けられている。また、多孔板454,455は、気化室から伝導熱を受けて加熱されていてもよく、或いは、多孔板の内部に直接ヒータなどの加熱手段が内蔵されていてもよい。
次に、図6を参照して、本発明に係る第4基本形態の気化器460について説明する。この基本形態の気化器460は、気化室462の内部に、多数の孔を有する多孔材である多孔体(多孔ブロック)464が配置されている点で上記第3基本形態と同様であるが、この多孔体464の孔464aは、その開口幅(開口直径)よりも長い軸線距離(貫通距離或いは深さ)を有している点で上記とは異なる。この多孔体464は、例えばハニカム構造を有するものとすることができる。図示例のように噴霧ノズル461の噴霧口461aから見てガス導出口463が多孔体464の背後に配置されている場合には、孔464aは貫通孔として構成される。また、図示例とは異なるが、図2に示すものと同様にガス導出口が多孔体464の噴霧口461a側の側方に、或いは、図5に示すものと同様にガス導出口が噴霧口461a側に設けられている場合には、孔464aを、底部を有する穴としてもよい。
次に、図7を参照して、本発明に係る第5基本形態の気化器470について説明する。この基本形態の気化器470は、その気化室472の内部に、第4基本形態と同様に構成された多孔体474と、第3基本形態と同様に構成された多孔板475,476を噴霧ノズル471の噴霧口471aの噴霧方向に順次に配置したものである。ガス導出口473は、多孔板475,476の背後に設けられている。
最後に、図8を参照して、本発明に係る第6基本形態別の気化器480について説明する。この基本形態の気化器480においては、気化室482の内部に第3基本形態と同様に構成された多孔板484,485は、噴霧ノズル481の噴霧口481aに対向配置されている。そして、ガス導出口483の手前位置に第4基本形態と同様に構成された多孔体486を設けている。
Claims (9)
- 原料を溶媒に溶解してなる溶液原料を噴霧する噴霧手段と、噴霧された前記溶液原料を気化するための加熱された気化面を備えた気化室と、該気化室にて生成された原料ガスを導出するガス導出口とを有する気化器において、
前記噴霧手段の噴霧方向にある前記気化面は、通気性を有するフィルタによって構成され、前記フィルタは前記噴霧手段に向かって凹曲面状の表面を有することを特徴とする気化器。 - 前記フィルタの裏面は複数の開口部を有する伝熱材に接触し、該伝熱材を介して加熱されていることを特徴とする請求項1に記載の気化器。
- 原料を溶媒に溶解してなる溶液原料を噴霧する噴霧手段と、噴霧された前記溶液原料を気化するための加熱された気化面を備えた気化室と、該気化室にて生成された原料ガスを導出するガス導出口とを有する気化器において、
前記噴霧手段の噴霧方向にある前記気化面は、通気性を有するフィルタによって構成され、前記フィルタの裏面は前記気化室の内面に接触するように配置されることを特徴とする気化器。 - 前記フィルタには、裏面側の温度が表面側の温度よりも相対的に高くなるように温度勾配が形成されることを特徴とする請求項3に記載の気化器。
- 前記フィルタの裏面からパージガスを供給するパージガス供給手段を有することを特徴とする請求項3又は4に記載の気化器。
- 前記ガス導出口は、前記噴霧手段から見て前記フィルタの背後に配置されていることを特徴とする請求項3又は4に記載の気化器。
- 前記ガス導出口は、前記フィルタの表面側の側面に設けられていることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか一項に記載の気化器。
- 原料を溶媒に溶解してなる溶液原料を噴霧する噴霧手段と、噴霧された前記溶液原料を気化するための加熱された気化面を備えた気化室と、該気化室にて生成された原料ガスを導出するガス導出口とを有する気化器において、
前記噴霧手段の噴霧方向にある前記気化面は、多数の孔若しくは穴を有する多孔材によって構成され、前記多孔材を振動させる振動手段を有することを特徴とする気化器。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の気化器と、前記溶液原料を前記気化器に供給する原料供給系と、前記気化器から導出される前記原料ガスを用いて成膜するための成膜室とを有することを特徴とする成膜装置。
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