JP4971416B2 - 被検査体の載置機構 - Google Patents
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Description
ことを特徴とするものである。
本実施形態の被検査体の載置機構(以下、単に「載置機構」と称す。)10は例えば図1、図2に示すように構成され、前述したプローブ装置の他、ウエハの電気的特性検査を行う各種の検査装置に適用することができる。そこで、以下では本実施形態の載置機構についてのみ説明し、検査装置全体の説明は省略する。
11、21 チャックトップ(載置台)
12、22 支持台
13 θ回転駆動機構
14 真空吸着部
14A 突起壁部
14B 真空排気路
15 気体供給部
15A 突起平面部
15B 給気路
16 昇降案内機構
16A、26A アンギュラベアリング(回転軸受)
16B、26B スプライン軸
16C、26C 係合部材
18 θ回転駆動機構(回転駆動機構)
181 直進駆動機構
181A モータ
181B ボールネジ
182 ナット(移動体)
183A ガイドレール(直進ガイド機構)
184 リンク機構
184B スプライン軸
184C リンク
184D 支持軸
Claims (10)
- 被検査体を載置する載置台と、この載置台を正逆回転可能に支持する支持台と、
この支持台上で上記載置台を正逆回転させる回転駆動機構と、上記支持台に対して上記載置台を昇降案内する昇降案内機構と、を備え、且つ、
上記支持台は、上記載置台を支持台上に真空力により吸着固定するための真空排気路を有する真空吸着機構と、
上記載置台を圧縮気体により上記支持台から浮上させ、また、上記圧縮気体を解除して上記載置台を上記支持台上に着地させるための昇降機構と、を備えた
ことを特徴とする被検査体の載置機構。 - 上記真空吸着機構は、上記支持台上面に設けられ且つ上記載置台下面と接触して上記支持台と上記載置台との間に密閉空間を作る突起壁部と、上記支持台上面で且つ上記突起壁部に囲まれた内側で開口する真空排気路と、を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の被検査体の載置機構。 - 上記昇降機構は、上記支持台上面に形成された突起部と、この突起部において開口する気体供給部と、を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の被検査体の載置機構。
- 上記真空吸着機構と上記昇降機構は、それぞれ上記支持台の周方向に等間隔に配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の被検査体の載置機構。
- 上記昇降案内機構は、上記載置台及び上記支持台のうちの一つに正逆回転自在に軸支されたスプライン軸と、上記載置台及び上記支持台のうちの他の一つに固定され且つ上記スプライン軸に噛み合った状態で昇降する係合部材と、を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の被検査体の載置機構。
- 上記回転駆動機構は、
移動体と、
上記載置台の側方において、モータの駆動力により上記移動体を直進移動させるボールネジを有する直進駆動機構と、
上記移動体を直進方向へ案内するためのガイドレールを有する直進ガイド機構と、
上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換するリンク機構と、を備えた
ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の被検査体の載置機構。 - 上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、
上記リンク機構は、その両端がそれぞれ上記載置台側と上記移動体側に連結されていることを特徴とする請求項6に記載の被検査体の載置機構。 - 上記移動体は、その内部に上記ボールネジに螺合する溝が形成された貫通孔を有し、
上記リンク機構は、上記載置台側に一端が連結されたスプライン軸と、このスプライン軸の他端に一端が連結されたリンクと、このリンクの他端に連結され且つ上記移動体に立設された支持軸と、を有する
ことを特徴とする請求項6に記載の被検査体の載置機構。 - 上記ガイドレールは、上記移動体の下部と係合するLMガイドであることを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載の被検査体の載置機構。
- 上記回転駆動機構は、
移動体と、
上記載置台の側方において、モータの駆動力により上記移動体を直進移動させるボールネジを有する直進駆動機構と、
上記移動体と上記載置台とを連結し且つ上記移動体の直進移動を上記載置台の回転動に変換するリンク機構と、を備え、
上記リンク機構は、
上記移動体の側面に、これと直交する方向に形成された係合溝と、
上記移動体の係合溝に遊嵌し且つ上記載置台から水平方向に延設された係合突起と、
上記係合溝の両側面にそれぞれ設けられ且つ上記係合溝において上記係合突起を弾力的に挟持するローラ及びバネと、を有する
ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の被検査体の載置機構。
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