JP4960347B2 - より高次の高調波原子間力顕微鏡 - Google Patents
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Description
前記レバーアームの前記チップを、前記レバーアームの基本周波数に対応する第1の共振周波数に従って共振させるステップと、
前記共振を表す信号を生成するステップと、
前記顕微鏡システムの動作閾値に対応するパラメータを定義するステップと、
もし前記信号が前記動作閾値以上の前記システムの状態に対応するならば、前記信号を解析するステップと、
前記レバーアームの少なくとも1つのより高次の高調波に従って前記振動器の励起周波数を変化させることにより、前記レバーの前記チップの前記共振周波数を変化させるステップと、
前記共振を表す前記信号が前記動作閾値に等しいかまたは低いシステムの状態に対応する前記対応するより高次の高調波の1つを選択するステップと、
前記サンプルの前記表面の形状を測定するために、前記共振プローブチップを、前記選択したより高次の高調波と相互作用させるステップと、を備える。
Claims (4)
- レバーアーム(2)の一方の端に配置されたプローブチップと、
前記レバーアームの基本周波数に従って前記プローブチップを共振させる共振手段(1)と、
前記プローブチップがサンプルの表面と相互作用するように、前記の共振しているプローブチップと前記サンプルとの間の変化を生成するために1回の走査を行う走査手段(5)であって、前記共振の振幅が設定された値に維持されるように、前記プローブチップと前記表面との相対位置を調整するフィードバックループを備える走査手段と、を備える原子間力顕微鏡システムであって、
前記サンプルの表面が許容される期間内に走査されるようにするために、前記レバーアームの1又は複数のより高次の高調波に従って前記プローブチップの共振周波数を変化させるように前記共振手段を制御することが可能な制御手段(7)を、備え、
前記システムは、さらに、前記プローブチップと前記表面の間の相互作用を検出する手段を備え、前記検出手段は、前記表面の形状を表す信号を供給することが可能であり、
前記制御手段は、前記システムの動作閾値を表すパラメータを受ける入力を備え、前記信号が前記動作閾値以上の前記システムの状態に対応するとき、前記プローブチップの共振周波数を前記レバーアームの少なくとも1つのより高次の高調波に従って変化させ、前記共振周波数は1回の走査を行う間は変化せず、前記信号が前記動作閾値に等しいかまたは低いシステムの状態に対応する前記より高次の高調波の1つを選択し、前記サンプルの前記表面の形状を測定するために、前記の共振しているプローブチップを、前記選択したより高次の高調波に従って前記表面と相互作用させることを特徴とする原子間力顕微鏡システム。 - 前記信号を処理するユニットをさらに備える請求項1に記載の原子間力顕微鏡システム。
- 前記共振手段は、縦続された複数の振動器を備える請求項1または2に記載の原子間力顕微鏡システム。
- 原子間力顕微鏡システムにおいて、レバーアームの一方の端に配置されたプローブチップによりサンプルの表面の形状を測定する方法であって、前記レバーアームは振動器により共振することが可能であり、
前記原子間力顕微鏡システムの制御ユニットが前記原子間力顕微鏡システムに、
前記レバーアームの前記プローブチップを、前記レバーアームの基本周波数に対応する第1の共振周波数に従って共振させるステップと、
前記共振の特徴を表す信号を生成するステップと、
前記顕微鏡システムの動作閾値に対応するパラメータを受信するステップと、
前記信号が前記動作閾値以上の前記システムの状態に対応するとき、
前記サンプルの表面が許容される期間内に走査されるようにするために、前記レバーアームの少なくとも1つのより高次の高調波に従って、前記レバーアームの前記プローブチップの前記共振周波数を変化させるステップであって、前記共振周波数は1回の走査を行う間は変化しない、ステップと、
前記信号が前記動作閾値に等しいかまたは低いシステムの状態に対応する前記より高次の高調波の1つを選択するステップと、
前記サンプルの前記表面の形状を測定するために、前記共振の振幅が設定された値に維持されるように、前記プローブチップと前記表面との相対位置を調整することによって、前記の共振しているプローブチップを、前記選択したより高次の高調波に従って前記表面と相互作用させるステップと、を実行させることを特徴とする方法。
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