JP4952683B2 - 基板搬出装置 - Google Patents
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Description
によりポストヒートステージ30は鉛直方向に移動する。
2 電子部品
3 基板
4 第1の移動装置
5 第2の移動装置
19 ヒータブロック
30 ポストヒートステージ
40 ベルトコンベア装置
45 基板プッシャ
50 ヒータブロック
Claims (1)
- 実装装置において電子部品が熱圧着により実装された基板を移動させる第1の移動装置および第2の移動装置を備え、第1の移動装置は第2の移動装置に基板を移動させるものであり、
第1の移動装置は、基板を吸着する複数の吸着パッドと、吸着パッドに吸着された基板を真上から加熱する第1の上加熱手段を備え、
第2の移動装置は、基板を水平に載置する下加熱手段としてのポストヒートステージと、ポストヒートステージを基板搬出方向に水平移動させる水平移動機構と、ポストヒートステージを鉛直移動させる鉛直移動機構と、ポストヒートステージと鉛直方向において重なる位置に配置されてポストヒートステージとの相対的な高さを自在に調整することができ、且つポストヒートステージの移動と連動して移動するベルトコンベア装置と、ベルトコンベア装置から基板を後工程に搬出する基板搬出手段と、基板搬出中の基板を上方から加熱する第2の上加熱手段とを備えたことを特徴とする基板搬出装置。
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