JP2010067715A - 電子部品の実装装置及び実装方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子部品を基板に実装する際、基板を加熱する熱が実装ツールを伝わって実装ツールを駆動する可動部材に逃げるのを防止した実装装置を提供する。
【解決手段】上下方向に駆動される可動部材と、可動部材の下端部に設けられ先端面に電子部品を吸着保持する実装ツール15と、可動部材を下降させて実装ツールの先端面に吸着保持された電子部品を基板の上面に実装させる駆動手段と、ヒータを有し、電子部品が基板の上面に実装されるとき基板の下面を支持してヒータによって加熱するステージと、実装ツールが基板に電子部品を実装するときにステージのヒータによって加熱された基板の熱が実装ツールから可動部材に伝わるのを阻止する断熱部材16を具備する。
【選択図】図2
【解決手段】上下方向に駆動される可動部材と、可動部材の下端部に設けられ先端面に電子部品を吸着保持する実装ツール15と、可動部材を下降させて実装ツールの先端面に吸着保持された電子部品を基板の上面に実装させる駆動手段と、ヒータを有し、電子部品が基板の上面に実装されるとき基板の下面を支持してヒータによって加熱するステージと、実装ツールが基板に電子部品を実装するときにステージのヒータによって加熱された基板の熱が実装ツールから可動部材に伝わるのを阻止する断熱部材16を具備する。
【選択図】図2
Description
この発明は実装ツールの下端面に吸着保持された電子部品を下面がステージによって保持された基板の上面に実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
基板に電子部品としての半導体チップを実装するダイボンダなどの実装装置においては、実装ツールが電子部品の供給部の上方に駆動され、この供給部から半導体チップなどの電子部品を吸着して取り出した後、搬送手段によって搬送される基板の上方に位置決めされる。
実装ツールが基板の上方に位置決めされた後、この基板の下面はステージによって支持される。ステージにはヒータが設けられ、このヒータによって基板は数百度、たとえば300〜400℃に加熱される。
ステージを上昇させると同時に、上記実装ツールが下降方向に駆動され、この実装ツールの下端面に吸着保持された電子部品が上記基板の上面に加圧される。それによって、基板の上記電子部品が実装される箇所に設けられた熱硬化性の接着剤が溶融硬化して上記電子部品が上記基板に実装される。なお、電子部品は接着剤によらず、電子部品に設けられた金属製のバンプを溶融させて上記基板に実装されることもある。
このようにして基板に電子部品を実装する実装装置は特許文献1に示されている。
特開2007−95737号公報
ところで、上記構成の実装装置において、ステージのヒータによって加熱された基板の上面に、実装ツールの下端面に吸着保持された電子部品を加圧して実装するとき、基板の熱が電子部品を通じて実装ツールに伝導する。実装ツールは通常、駆動源によって上下駆動される可動部材に取付けられている。そのため、実装ツールに伝わった熱はさらに可動部材に伝導することになる。
つまり、基板の熱は実装ツールを通じて可動部材に逃げてしまう。可動部材は熱容量が大きいから、基板から可動部材に逃げる熱量の大きくなる。そのため、基板の温度が低下してしまうため、基板に電子部品を接着剤やバンプなどによって確実に接続できなくなるということがあったり、実装ツールを通じて熱が伝わった可動部材が熱膨張して変形し、電子部品の位置決め精度が低下するということがあるから、実装精度も低下するということがある。
この発明は、ステージのヒータの熱が電子部品から実装ツールを通じて可動部材に伝わるのを防止して、電子部品を基板の確実に、しかも精度よく実装することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
この発明は、電子部品を基板に実装するための実装装置であって、
上下方向に駆動される可動部材と、
この可動部材の下端部に設けられ先端面に上記電子部品を吸着保持する実装ツールと、
上記可動部材を下降させて上記実装ツールの先端面に吸着保持された上記電子部品を上記基板の上面に実装させる駆動手段と、
ヒータを有し、上記電子部品が上記基板の上面に実装されるときこの基板の下面を支持して上記ヒータによって加熱するステージと、
上記実装ツールが上記基板に上記電子部品を実装するときに上記ステージのヒータによって加熱された上記基板の熱が上記実装ツールから上記可動部材に伝わるのを阻止する断熱部材と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
上下方向に駆動される可動部材と、
この可動部材の下端部に設けられ先端面に上記電子部品を吸着保持する実装ツールと、
上記可動部材を下降させて上記実装ツールの先端面に吸着保持された上記電子部品を上記基板の上面に実装させる駆動手段と、
ヒータを有し、上記電子部品が上記基板の上面に実装されるときこの基板の下面を支持して上記ヒータによって加熱するステージと、
上記実装ツールが上記基板に上記電子部品を実装するときに上記ステージのヒータによって加熱された上記基板の熱が上記実装ツールから上記可動部材に伝わるのを阻止する断熱部材と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
上記可動部材には上記実装ツールの後端部が挿入保持される取付け孔が開口形成されていて、上記断熱部材は上記取付け孔の内周面と上記実装ツールの後端部の外周面との間に設けられることが好ましい。
上記断熱部材は上記実装ツールの軸方向中途部に設けられていることが好ましい。
上記実装ツールが断熱材によって形成されていることが好ましい。
この発明は、電子部品を基板に実装するための実装方法であって、
可動部材によって上下方向に駆動される実装ツールの先端面に上記電子部品を吸着保持する工程と、
電子部品が吸着保持された上記実装ツールを下降方向に駆動して上記電子部品を上記基板の上面に実装する工程と、
上記基板に上記電子部品を実装するときにこの基板の下面を加熱するとともに、加熱された上記基板の熱が上記実装ツールから上記可動部材に伝わるのを阻止する工程と、
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
可動部材によって上下方向に駆動される実装ツールの先端面に上記電子部品を吸着保持する工程と、
電子部品が吸着保持された上記実装ツールを下降方向に駆動して上記電子部品を上記基板の上面に実装する工程と、
上記基板に上記電子部品を実装するときにこの基板の下面を加熱するとともに、加熱された上記基板の熱が上記実装ツールから上記可動部材に伝わるのを阻止する工程と、
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
この発明によれば、ステージに設けられたヒータによって加熱された基板の熱が実装ツールを通じてこの実装ツールを駆動する可動部材に伝わるのを阻止するようにした。
そのため、ヒータの熱が基板から実装ツールから可動部材に伝わるのが防止されるから、基板を効率よく確実に加熱して電子部品を実装することができ、しかも実装ツールが取付けられた可動部材が熱膨張して変形するのが防止できるから、電子部品の実装精度が低下するのを防止することもできる。
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図1乃至図3はこの発明の第1の実施の形態を示し、図1に示す実装装置は搬送手段を構成する平行に離間対向して配置された一対のガイドレール1を備えている。このガイドレール1に沿って搬送されるリードフレームなどの基板Wは実装位置Bに位置決めされる。実装位置Bに位置決めされた上記基板Wにはたとえば半導体チップなどの電子部品2が後述するように実装される。
上記実装位置Bには、上記ガイドレール1の上方に実装手段5が設けられている。この実装手段5の上方には駆動手段6が配設され、上記実装手段5を後述するように作動させるようになっている。
上記実装手段5は第1の支持体8を有する。この第1の支持体8はX・Y駆動源7によって水平方向であるX・Y方向に駆動される。X・Y駆動源7は図示しない制御装置によって駆動が制御されるようになっている。
上記第1の支持体8の一側面には一対のリニアガイド9(一方のみ図示)が上下方向に沿って設けられ、このリニアガイド9には可動部材11が一側面に設けられた受け部10を移動可能に係合させて支持されている。この可動部材11の下端面には取付け軸12が突設され、この取付け軸12には下端面に開口した取付け孔13が形成されている。
図2に示すように、上記取付け孔13には中途部に鍔14が設けられた軸状の実装ツール15の後端部が挿入されている。実装ツール15は、通常、耐熱性を有するステンレス鋼などの金属によって形成されていて、その後端部には耐熱性を備えた材料、たとえばポリイミド樹脂などの樹脂によって筒状に形成された断熱部材16が外嵌されている。
上記取付け孔13に挿入された実装ツール15の後端部の外周面は、上記取付け軸12に形成されたねじ孔12aに螺合された止めねじ17によって脱落不能に固定されている。
上記実装ツール15には吸引孔18が軸方向に貫通して形成されている。実装ツール15を取付け軸12の取付け孔13に取付けると、上記吸引孔18は可動部材11に形成されて連通孔19の一端に連通する。この連通孔19の他端には吸引ポンプ21(図1に示す)に接続される。
それによって、吸引ポンプ21を作動させると、上記実装ツール15の吸引孔18に吸引力が発生するから、その吸引力によって実装ツール15の先端面に上記電子部品2を吸着保持できるようになっている。
なお、実装手段5の実装ツール15には、供給ノズルなどによって供給部(ともに図示せず)から取り出された電子部品2が供給され、その先端面に受け渡されるようになっている。
図1に示すように、上記第1の支持体8の上端には逆L字状のフック部材22が設けられている。このフック部材22と上記可動部材11の上下方向の中途部の間には、この可動部材11を弾性的に保持するばね23が張設されている。
上記第1の支持体8の上部には取付け部材24が水平に設けられている。この取付け部材24には位置決めねじ25が螺合されている。この位置決めねじ25の先端は上記可動部材11の上面に当接している。したがって、上記位置決めねじ25の締め込み量を調整すれば、上記可動部材11の上下方向の位置決めができるようになっている。つまり、実装手段5が実装位置Bに位置決めされたとき、実装ツール15の下端面に吸着された電子部品2の基板Wの上面からの高さを設定できるようになっている。
上記駆動手段6は、上記実装位置Bの上方に固定的に配置された第2の支持体26を有する。この第2の支持体26は、板面を上記第1の支持体8に対して垂直軸線を中心にする回転方向に90度位置をずらして設けられていて、その板面には所定間隔で離間した一対のリニアガイド27が上下方向に沿って設けられている。
上記リニアガイド27には可動体28が移動可能に設けられている。この可動体28にはL字状の加圧ツール29が下端部を上記可動体28の下端よりも下方に突出させて取付けられている。
上記加圧ツール29の下端面は上記可動部材11の上端面に立設された軸部11aの上端に設けられたラジアル軸受30の外周面の上端を押圧する加圧面29aとなっている。この加圧面29aは上記ラジアル軸受30よりもX、Y方向に対して大きな面積に形成されている。
上記第2の支持体26の上部には保持部材31が設けられ、この保持部材31にはたとえばサーボモータからなる位置決め手段としての加圧用駆動源32が軸線を垂直にして設けられている。この加圧用駆動源32の駆動軸32aは上記可動体28に継ぎ手33を介して連結されている。
したがって、上記加圧用駆動源32が作動してその駆動軸32aが下降方向に駆動されれば、駆動軸32aに連動して上記可動体28が下降するから、この可動体28に設けられた加圧ツール29の加圧面29aによって上記可動部材11の軸部11aの上端に設けられたラジアル軸受30の外周面の上端が押圧される。それによって、上記加圧ツール29が下降方向に駆動されることになる。
加圧ツール29が下降方向に駆動されて可動部材11の軸部11aが押圧されれば、この可動部材11がばね23の復元力に抗して下降する。それによって、可動部材11に設けられた実装ツール15に吸着保持された電子部品2がガイドレール1に位置決めされた基板Wの上面に押圧される。
なお、基板Wに対する電子部品2の位置決めは、実装ツール15に吸着保持された電子部品2と基板Wを図示しない撮像カメラによって撮像し、その撮像信号に基いて実装手段5をX・Y駆動源7によってX、Y方向に駆動して行われる。
実装ツール15によって電子部品2を基板Wの上面に実装するとき、この基板Wの下面は上記ステージ35がZ方向上方に駆動されることで、このステージ35の上面によって支持される。このステージ35にはヒータ36が内蔵されていて、ステージ35を高温度に加熱している。ヒータ36によるステージ35の加熱温度は、たとえば300〜400℃に設定される。
それによって、基板Wに電子部品2を実装ツール15によって加圧する際、ステージ35によって基板Wが加熱されるから、その熱によってたとえば基板Wに設けられた熱硬化性の接着剤38が溶融されてから硬化することで、上記電子部品2が上記基板Wの上面に実装されることになる。
電子部品2を基板Wに実装する際、実装ツール15の先端面に吸着保持された電子部品2が基板Wの上面に押圧されると、ステージ35のヒータ36によって加熱された基板Wの熱が電子部品2から実装ツール15を伝わって可動部材11に逃げ、基板Wの上面に設けられた接着剤38の温度が上昇し難くなり、電子部品2を基板Wに確実かつ迅速に実装できなくなるということがある。
しかしながら、上記実装ツール15は上記可動部材11の取付け孔13に断熱部材16を介して取付けられている。そのため、基板Wの熱は電子部品2を介して実装ツール15から可動部材11に伝わるのが阻止される。つまり、基板Wの熱が可動部材11に逃げるのを阻止することができる。
それによって、図3に示すように電子部品2が基板Wの接着剤38が塗布された部分に加圧されると、接着剤38はヒータ36の熱によって短時間で確実に溶融されて硬化する。つまり、電子部品2の実装を能率よく確実に行なうことができる。
しかも、ヒータ36の熱が可動部材11に伝わらないため、可動部材11が熱膨張して変形してこの可動部材11に設けられた実装ツール15が位置ずれするということがない。そのため、実装ツール15に保持された電子部品2が基板Wの実装位置からずれるのが防止されるから、実装ツール15による電子部品2の実装を高精度に行なうことができる。
上記一実施の形態では筒状に形成された断熱部材16を実装ツール15の後端部に外嵌させたが、実装ツール15が取付けられる可動部材11の取付け孔13の内面に筒状の断熱部材16を設け、そこに実装ツール15を挿入固定するようにしてもよい。
図4はこの発明の第2の実施の形態を示す実装ツール15Aの変形例であって、この実施の形態の実装ツール15Aは鍔14よりも後端側が2つの部分151a,151bに分割されている。そして、分割された2つの部分151a,151bが耐熱性を有する断熱部材によって形成された接続部材41によって接続されている。
上記接続部材41は円盤部41aの上下面の中央部にそれぞれ軸部41bが突設されていて、それぞれの軸部41bを実装ツール15Aの分割された各部分151a,151bの端面に開口して形成された凹部42に挿入して接着固定されている。
なお、上記実装ツール15Aの2つの部分151a,151b及び接続部材41の中心部には吸引孔18が連通して形成されている。
なお、上記実装ツール15Aの2つの部分151a,151b及び接続部材41の中心部には吸引孔18が連通して形成されている。
それによって、実装ツール15Aは軸方向の中途部に断熱部材によって形成された接続部材41が設けられることになるから、電子部品2を実装するときにステージ35の熱が上記接続部材41によって遮断され、可動部材11に伝わるのが阻止されることになる。
図5はこの発明の第3の実施の形態を示す実装ツール15Bの変形例であって、この実施の形態は実装ツール15Bが耐熱性及び電子部品2の実装に耐え得る硬度を有する断熱材、たとえばセラミック材やポリイミド樹脂などによって形成されている。
実装ツール15Bを上述した性能を有する断熱材で形成すれば、電子部品2を基板Wに実装するとき、ヒータ36によって加熱されたステージ35の熱が可動部材11に伝わるのが阻止できるから、電子部品2の実装を第1、第2の実施の形態と同様、能率よく確実に行なうことが可能となる。
上記第1の実施の形態では実装ツールが設けられた可動部材を駆動する駆動手段として加圧ツールを上下方向に駆動し、この加圧ツールによって可動部材を押圧してばねの付勢力に抗して下降させるようにしたが、可動部材の上下方向の駆動はカムを用いたり、或いはシリンダやリニアモータなどによって上記可動部材を直接的に駆動するようにしてもよく、その点はなんら限定されるものでない。
また、実装ツールは可動部材に設けられた取付け軸に設けるようにしたが、可動部材に直接設けるようにしてもよい。
2…電子部品、11…可動部材、6…駆動手段、12…取付け軸、15,15A,15B…実装ツール、11…実装ツール、16…断熱部材、35…ステージ、36…ヒータ、41…接続部材(断熱材)。
Claims (5)
- 電子部品を基板に実装するための実装装置であって、
上下方向に駆動される可動部材と、
この可動部材の下端部に設けられ先端面に上記電子部品を吸着保持する実装ツールと、
上記可動部材を下降させて上記実装ツールの先端面に吸着保持された上記電子部品を上記基板の上面に実装させる駆動手段と、
ヒータを有し、上記電子部品が上記基板の上面に実装されるときこの基板の下面を支持して上記ヒータによって加熱するステージと、
上記実装ツールが上記基板に上記電子部品を実装するときに上記ステージのヒータによって加熱された上記基板の熱が上記実装ツールから上記可動部材に伝わるのを阻止する断熱部材と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。 - 上記可動部材には上記実装ツールの後端部が挿入保持される取付け孔が開口形成されていて、上記断熱部材は上記取付け孔の内周面と上記実装ツールの後端部の外周面との間に設けられることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
- 上記断熱部材は上記実装ツールの軸方向中途部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
- 上記実装ツールが断熱材によって形成されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
- 電子部品を基板に実装するための実装方法であって、
可動部材によって上下方向に駆動される実装ツールの先端面に上記電子部品を吸着保持する工程と、
電子部品が吸着保持された上記実装ツールを下降方向に駆動して上記電子部品を上記基板の上面に実装する工程と、
上記基板に上記電子部品を実装するときにこの基板の下面を加熱するとともに、加熱された上記基板の熱が上記実装ツールから上記可動部材に伝わるのを阻止する工程と、
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
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JP2018026375A (ja) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | 東レエンジニアリング株式会社 | 実装装置 |
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2008
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