JP4952513B2 - 極端紫外光光源装置 - Google Patents
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Description
同図において、101,102は円盤状の電極、103,104はそれぞれ電極101,102を回転させる回転軸、105は電極101,102の一部が浸される高温プラズマ用原料としての加熱された液体金属または溶融金属である。電極101,102の回転に伴って電極101,102の表面上に乗った液体状の金属105は、予め設定された電極101,102間の放電領域106となるギャップに運ばれ、運ばれた液体状金属105に対してレーザビーム107が照射され気化される。次に、電極101,102間に気化された金属105を介して放電電圧が印加される。放電電圧が印加されると放電領域106において放電が開始され、高温プラズマが発生する。高温プラズマから発生したEUV光は図面上側から取り出される。
第1の手段は、容器と、該容器内に極端紫外光を放射させるための液体または固体の原料を供給する原料供給手段と、エネルギービームを上記原料に照射して該原料を気化するエネルギービーム照射手段と、上記気化した原料を放電により上記容器内で加熱励起して高温プラズマを発生させるための所定距離だけ離間して配置された一対の放電電極と、該放電電極間にパルス電力を供給するパルス電力供給手段と、上記放電電極間における放電により生成された上記高温プラズマから放射される極端紫外光を集光する集光光学手段と、上記集光された極端紫外光を取り出す極端紫外光取出部とを有する極端紫外光光源装置において、上記一対の放電電極は、各々が回転軸と直交しかつ該回転軸の周りを回転する円盤状の回転電極を備え、上記2つの回転軸および上記2つの回転電極を貫通する仮想直線を中心として、一方の回転電極が他方の回転電極に対して回動変位していることを特徴とする極端紫外光光源装置である。
図1(a)は、本実施形態に係る極端紫外光光源装置の概略構成を示す平面図、図1(b)は図1(a)に示した極端紫外光光源装置の要部構成を示す正面図である。
これらの図において、1は一対の回転電極6,8等が収納される真空容器、2は放射された極端紫外光を集光するEUV集光ミラー12等が収納される真空容器、3はエネルギービーム照射手段としてのレーザー装置、4はレーザー光、5はレーザー入射窓、6は回転軸7と直交しかつ回転軸7の周りを回転する円盤状の回転電極、7は回転電極6の回転軸、8は回転軸9と直交しかつ回転軸9の周りを回転する円盤状の回転電極、9は回転電極8の回転軸、10は放電領域、11は高温プラズマ原料のドロップレットターゲット、12は回転電極6,8とEUV集光ミラー13の間に設けられ、高温プラズマから発生するデブリを除去するホイルトラップ、13は集光光学手段としてのEUV集光ミラー、14は極端紫外光取出部としてのEUV光出射窓、15はガス供給ユニット、16はガス排気ユニット、17は回転電極6,8にパルス電力を供給するパルス電力供給手段としてのパルス電源、18は液体または固体の原料を供給する原料供給手段としてのドロップレット供給装置、19は滴下される原料を回収するターゲット回収筒である。
これらの図に示すように、一対の円盤状の放電電極は、2つの回転軸7,9および2つの回転電極6,8を貫通する仮想直線Aを中心として、一方の回転電極6が他方の回転電極8に対して任意の捻れ角度θ回動変位して配置され、各々の回転電極6,8の回転軸7,9を介してモータ20,21が取り付けられ、回転軸7,9を中心にして回転する。両回転電極6,8が最も接近する位置が放電領域10であり、この放電領域10に向けて、図1(b)に示すように、上方に配置されたドロップレット供給装置18から、Sn等の液体状の高温プラズマ原料が滴下される。滴下された高温プラズマ原料が、放電領域10に接近(または少し通過後)したとき、図2(a)に示すように、レーザー光14が高温プラズマ原料に照射され気化される。それと共に、図1(a)、(b)に示したパルス電源17から回転電極6,8間にパルス電力が供給されて放電が開始され、これにより両電極間に高温プラズマが形成されてEUV光が出射する。
図3(a)に示すように、各々の厚さがbの回転電極6,8が、その側面を対向させて同一平面上に配置されたとき、即ち、捻れ角度0°のとき、対向する回転電極6,8間のギャップ長が殆ど変わらない長さをaとすると、a>bとなり、両回転電極6,8が接近している領域の面積はa×bとなる。
これに対して、図3(b)に示すように、仮想直線Aを中心として、一方の回転電極6に対して他方の回転電極8を任意の捻れ角度θ回動変位して配置したとき、両回転電極6,8が接近している領域の面積はc×b<a×bとなり両回転電極6,8が接近している面積が捻れ角度0°の場合より小さくなる。
さらに、図3(c)に示すように、仮想直線Aを中心として、一方の回転電極6に対して他方の回転電極8を捻れ角度90°回動変位して配置したとき、両回転電極6,8が接近している領域の面積はb×b<c×bとなり両回転電極6,8が接近している面積が任意の捻れ角度θの場合よりもさらに小さくなる。
ここで、回転電極6,8の電極直径R=350mm、回転電極6と回転電極8との対向する最短距離(ギァップ)をδ、回転電極8上の任意の点Pから最も近い回転電極6上の点をQとし、仮想直線Aと点P間の距離をL、P−Q間の距離をDとすると、捻れ角度θ=0°のときD=dと表され、さらに、仮想直線Aと回転電極8の回転中心と点Pを結ぶ線とのなす角度φ(L)はφ(L)=asin(L/R)、仮想直線Aと回転電極6の回転中心と点Qを結ぶ線とのなす角度Φ(L)はΦ(L)=atan[L/(R+δ+R(1−cosφ(L)))]と表される。
その結果、捻れ角度θ=0°のとき、電極間距離d(L)=√[(R+δ+R(1−cos(φ(L)))2+L2]−Rと表され、捻れ角度θが任意の角度のとき、電極間距離D(L,θ)=√[(d(L)・cos(Φ(L)))2+(L・cos(θ)−R・sin(Φ(L)))2+(L・sin(θ))2]と表される。
同図に示すように、電極間距離D(L,θ)は捻れ角度θが大きくなるほど長くなり、
θ=90°において最大になる。
図6(a)は、本実施形態に係る極端紫外光光源装置の概略構成を示す平面図、図6(b)は図6(a)に示した極端紫外光光源装置の要部の構成を示す正面図である。
これらの図において、22は原料供給手段としてのメタルバスであり、その他の構成は図1に示した同符号の構成に対応するので説明を省略する。
これらの図に示すように、本実施形態に係る極端紫外光光源装置は、図1に示した高温プラズマの原料供給手段としてのドロップレツト供給装置18に代えて、メタルバス22を用いたものである。メタルバス22には液体状の高温プラズマ原料が溜められており、回転電極6,8の一方または両方の一部がメタルバス22の中に浸かり、回転電極6,8が回転させるものである。メタルバス22を通過した回転電極8の外周縁の表面に、高温プラズマ原料が付着される。
2 真空容器
3 レーザー装置
4 レーザー光
5 レーザー入射窓
6 回転電極
7 回転軸
8 回転電極
9 回転軸
10 放電領域
11 ドロップレットターゲット
12 ホイルトラップ
13 EUV集光ミラー
14 EUV光出射窓
15 ガス供給ユニット
16 ガス排気ユニット
17 パルス電源
18 ドロップレット供給装置
19 ターゲット回収筒
20 モータ
21 モータ
22 メタルバス
Claims (1)
- 容器と、該容器内に極端紫外光を放射させるための液体または固体の原料を供給する原料供給手段と、エネルギービームを上記原料に照射して該原料を気化するエネルギービーム照射手段と、上記気化した原料を放電により上記容器内で加熱励起して高温プラズマを発生させるための所定距離だけ離間して配置された一対の放電電極と、該放電電極間にパルス電力を供給するパルス電力供給手段と、上記放電電極間における放電により生成された上記高温プラズマから放射される極端紫外光を集光する集光光学手段と、上記集光された極端紫外光を取り出す極端紫外光取出部とを有する極端紫外光光源装置において、
上記一対の放電電極は、各々が回転軸と直交しかつ該回転軸の周りを回転する円盤状の回転電極を備え、上記2つの回転軸および上記2つの回転電極を貫通する仮想直線を中心として、一方の回転電極が他方の回転電極に対して回動変位していることを特徴とする極端紫外光光源装置。
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JP2007284596A JP4952513B2 (ja) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | 極端紫外光光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007284596A JP4952513B2 (ja) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | 極端紫外光光源装置 |
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JP2007284596A Active JP4952513B2 (ja) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | 極端紫外光光源装置 |
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