JP4952372B2 - 複合icパッケージ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
半導体装置の更なる高集積化の要求に対し、個々の電子部品用パッケージをより小型化する必要があり、この要求を満たすパッケージ技術として、例えば、特許文献1には、パワー素子とそれ以外の電気素子とを一つのチップに形成し、該チップの一面側に所定のピッチにて配列された複数個のバンプを形成してなるチップサイズパッケージ(CSP)による複合ICパッケージが開示されている。CSPとは、半導体チップの電極パッド上に、UBM(Under Bump Metal)やCu配線を使って再配線層を形成し、半導体チップ上にはんだボールなどの外部接続端子を配置する技術である。
更に、第2の外部接続端子は、第1の外部接続端子よりも表面積が大きくなるように形成されているため、パワー素子の許容電流を増大させることができるので、大電流化の要請に対応可能である。また、放熱性を高くすることができるので、パワー素子の発熱を効率よく外部に放熱することができる。
第1の外部接続端子と第2の外部接続端子とをSOI基板の異なる面に形成するので、外部接続端子を形成することができる面積が増大し、外部接続端子の不足を解消することができる。
これにより、パッケージサイズの小型化と外部接続端子の不足の解消とを両立させることができる複合ICパッケージを形成することができる。
更に、第2の外部接続端子を、第1の外部接続端子よりも表面積が大きくなるように形成するため、パワー素子の許容電流を増大させることができるので、大電流化の要請に対応可能である複合ICパッケージを形成することができる。また、放熱性を高くすることができるので、パワー素子の発熱を効率よく外部に放熱することができる複合ICパッケージを形成することができる。
図1は、本実施形態の複合ICパッケージの説明図である。図1(A)は、断面説明図であり、図1(B)は、素子形成基板側から見た平面説明図であり、図1(C)は支持基板側から見た平面説明図である。なお、図1(B)及び図1(C)は図1(A)を縮小して示している。図2及び図3は、複合ICパッケージの実装例の説明図である。図4ないし図7は、複合ICパッケージの製造工程を示す断面説明図である。
なお、各図では、説明のために一部を拡大して誇張して示している。
なお、CMOS12及びバイポーラトランジスタ13は、公知の構成からなり、内部の構成の図示及び説明を省略する。
CMOS12、バイポーラトランジスタ13及びLDMOS14は、外周部がそれぞれSOI基板11の深さ方向に形成された素子分離領域であるトレンチ11dにより絶縁分離されて、素子形成基板11cに形成されている。
第1再配線層15の表面には、配線基板に電気的に接続するための外部接続端子となるバンプ16が配置されている。バンプ16は、例えば、直径約0.5mmの球形のはんだにより形成されており、図1(B)に示すように、所定のピッチにてアレイ状に配置されている。
バンプ16は、第1再配線層15を介してCMOS12、バイポーラトランジスタ13とそれぞれ電気的に接続されている。
第2再配線層17の表面には、配線基板に電気的に接続するための電極となる電極プレート18が配置されている。電極プレート18はバンプ16よりも表面積が大きくなるように形成されている。電極プレート18は、例えば、図1(C)に示すように、はんだにより1mm角の平坦なランド状に形成され、アレイ状に配置されている。
バンプ16と電極プレート18とは、SOI基板の異なる面に形成されているので、外部接続端子を形成することができる面積が増大し、外部接続端子の不足を解消することができる。これにより、パッケージサイズの小型化と外部接続端子の不足の解消とを両立させることができる。
更に、電極プレート18は、バンプ16よりも表面積が大きくなるように形成されているため、パワー素子であるLDMOS14の許容電流を増大させることができるので、大電流化の要請に対応可能である。また、放熱性を高くすることができるので、LDMOS14の発熱を効率よく外部に放熱することができる。
また、貫通電極19は幅が広い電極に形成することができるため、LDMOS14が発生する熱を効率よく電極プレート18に伝達して、複合ICパッケージ1の外部に放出させることができる。
図2(A)及び(B)に示すように、配線基板30は複合ICパッケージ1とほぼ同じ大きさに形成されている。配線基板30上には信号の入出力を行う配線パターンが形成されている。複合ICパッケージ1は、素子形成基板11c側を配線基板30に向けて配置され、CMOS12及びバイポーラトランジスタ13はバンプ16を介して配線パターンに電気的に接続される。
LDMOS14は、リードフレーム31により電極プレート18と接続され、配線基板30と電気的に接続される。
また、図3に示すように、配線基板30にクリップ状のリードフレーム32を形成し、リードフレーム32が電極プレート18と電気的に接続されるように複合ICパッケージ1を挟み込んで実装することもできる。
このように、複合ICパッケージ1は、配線基板30に容易に実装できるとともに、電極プレート18が大きく形成されているので、リードフレームとの接続を確実に行うことができる。
まず、図4(A)に示すように、論理素子であるCMOS12及びバイポーラトランジスタ13とパワー素子であるLDMOS14とが混載されたSOI基板11を用意する。
LDMOS14が形成された素子領域では、半導体技術により埋込酸化膜11bまで到達する埋込電極19aが絶縁膜20を介して形成されており、第1再配線層15を介してLDMOS14と電気的に接続されている。
これにより、CMOS12及びバイポーラトランジスタ13をバンプ16を介して配線基板に接続することが可能となる。また、埋込電極19aは、第1再配線層15を介してLDMOS14と電気的に接続される。
これにより、樹脂膜24及び配線25からなる第2再配線層17が形成される。
本実施形態では、パワー素子として、LDMOS14を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、縦型DMOS(VDMOS)や絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ(IGBT)などを用いることができる。また、非パワー素子として、CMOS12、バイポーラトランジスタ13を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、抵抗素子、コンデンサ素子など用いることができる。
また、バンプ16及び電極プレート18はともにはんだにより形成したが、これに限定されるものではなく、例えば、金により形成することもできる。
(1)バンプ16と電極プレート18とは、SOI基板の異なる面に形成されているので、外部接続端子を形成することができる面積が増大し、外部接続端子の不足を解消することができる。これにより、パッケージサイズの小型化と外部接続端子の不足の解消とを両立させることができる。
更に、電極プレート18は、バンプ16よりも表面積が大きくなるように形成されているため、パワー素子であるLDMOS14の許容電流を増大させることができるので、大電流化の要請に対応可能である。また、放熱性を高くすることができるので、LDMOS14の発熱を効率よく外部に放熱することができる。
また、貫通電極19は幅が広い電極に形成することができるため、LDMOS14が発生する熱を効率よく電極プレート18に伝達して、複合ICパッケージ1の外部に放出させることができる。
(1)複合ICパッケージ1では、素子形成基板11cの表面11eに第2再配線層17及び電極プレート18を形成し、支持基板11aの表面11fに第1再配線層15及びバンプ16を形成する構成を採用することもできる。
この構成では、第2再配線層17は、素子形成基板11c内に形成された各半導体素子と電気的に接続された配線を有しており、LDMOS14は、第2再配線層17を介して電極プレート18と電気的に接続される。
貫通電極19は、CMOS12及びバイポーラトランジスタ13が形成されている素子形成基板11c内に設けられており、CMOS12及びバイポーラトランジスタ13は、第2再配線層17、貫通電極19及び第1再配線層15を介してバンプ16と電気的に接続される。
CMOS12及びバイポーラトランジスタ13が請求項1に記載の非パワー素子に、LDMOS14がパワー素子に、第1再配線層15が第1の配線層に、バンプ16が第1の外部接続端子に、第2再配線層17が第2の配線層に、電極プレート18が第2の外部接続端子にそれぞれ対応する。
11 SOI基板
11a 支持基板
11c 素子形成基板
12 CMOS(非パワー素子)
13 バイポーラトランジスタ(非パワー素子)
14 LDMOS(パワー素子)
15 第1再配線層(第1の配線層)
16 バンプ(第1の外部接続端子)
17 第2再配線層(第2の配線層)
18 電極プレート(第2の外部接続端子)
19 貫通電極
Claims (4)
- パワー素子と非パワー素子とが形成された素子形成基板が、埋込酸化膜を介して支持基板上に積層形成されたSOI(Silicon on Insulator)基板を備えた複合ICパッケージにおいて、
前記素子形成基板及び前記支持基板の一方の表面に、第1の配線層と、当該第1の配線層を介して前記非パワー素子と電気的に接続された第1の外部接続端子とが設けられ、他方の表面に、第2の配線層と、当該第2の配線層を介して前記パワー素子と電気的に接続された第2の外部接続端子とが設けられており、
前記第2の外部接続端子は、前記第1の外部接続端子よりも表面積が大きくなるように形成されていることを特徴とする複合ICパッケージ。 - 前記第2の外部接続端子は、前記支持基板の表面に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の複合ICパッケージ。
- 前記SOI基板を貫通して形成され、前記パワー素子と前記第2の配線層とを電気的に接続する貫通電極を備えたことを特徴とする請求項2に記載の複合ICパッケージ。
- パワー素子と非パワー素子とが形成された素子形成基板が、埋込酸化膜を介して支持基板上に積層形成されたSOI(Silicon on Insulator)基板を備えた複合ICパッケージの製造方法において、
前記素子形成基板の表面に前記非パワー素子と電気的に接続された第1の配線層を形成する工程と、
前記第1の配線層と電気的に接続された第1の外部接続端子を前記第1の配線層の表面に形成する工程と、
前記支持基板の表面に前記パワー素子と電気的に接続された第2の配線層を形成する工程と、
前記第2の配線層と電気的に接続され、前記第1の外部接続端子よりも表面積が大きい第2の外部接続端子を前記第2の配線層の表面に形成する工程と、
前記SOI基板を貫通し、前記パワー素子と前記第2の配線層とを電気的に接続する貫通電極を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする複合ICパッケージの製造方法。
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