JP4947688B2 - 信頼性試験用基板ユニット、信頼性試験装置及び信頼性試験方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図7に基づいて説明する。図1には、本発明の第1の実施形態に係る信頼性試験装置100の概略構成が示されている。
(1)温度制御ユニット302を介して恒温槽301の温度を80℃とする。
(2)入力端子Taに駆動電流を供給する(図5参照)。
(3)面発光レーザ103a_1、面発光レーザ103b_1、及び面発光レーザ103c_3の光出力特性を計測する。
(4)入力端子Taへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Tbに駆動電流を供給する(図6参照)。
(5)面発光レーザ103a_2、面発光レーザ103b_2、及び面発光レーザ103c_2の光出力特性を計測する。
(6)入力端子Tbへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Tcに駆動電流を供給する(図7参照)。
(7)面発光レーザ103a_3、面発光レーザ103b_3、及び面発光レーザ103c_1の光出力特性を計測する。
(9)通電を停止する。
(10)入力端子Taに駆動電流を供給する。
(11)面発光レーザ103a_1、面発光レーザ103b_1、及び面発光レーザ103c_3の光出力特性を計測する。
(12)入力端子Taへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Tbに駆動電流を供給する。
(13)面発光レーザ103a_2、面発光レーザ103b_2、及び面発光レーザ103c_2の光出力特性を計測する。
(14)入力端子Tbへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Tcに駆動電流を供給する。
(15)面発光レーザ103a_3、面発光レーザ103b_3、及び面発光レーザ103c_1の光出力特性を計測する。
(16)温度制御ユニット302を介して恒温槽301の温度を150℃とする。
(17)全ての面発光レーザに所定の電流値(例えば、5mA)で所定時間(例えば、30分時間)通電する。
これにより、各面発光レーザの動作特性を安定化することができる。
以下、本発明の第2の実施形態を図11〜図14に基づいて説明する。図11には、本発明の第2の実施形態に係る信頼性試験装置400の概略構成が示されている。
Claims (9)
- それぞれが複数の発光素子を有する複数のアレイ光源の信頼性を試験する際に用いられる信頼性試験用基板ユニットであって、
前記複数のアレイ光源に対応して複数設けられ、対応するアレイ光源がそれぞれに装着される複数の設置台と;
前記複数の設置台に対応して複数設けられ、対応する設置台に装着されているアレイ光源から出射される光をそれぞれ受光する複数の受光素子と;
前記複数の発光素子と同じ数の複数の入力端子を有し、各入力端子が、それぞれ各アレイ光源の1つの発光素子に対応している配線部と;
前記各入力端子を介して前記複数のアレイ光源それぞれの前記複数の発光素子のうちの1つの発光素子に同時に通電可能な制御装置;とを備える信頼性試験用基板ユニット。 - 前記配線部は、一の入力端子から入力される駆動電流を前記複数の設置台に装着されている各アレイ光源における一の発光素子にそれぞれ供給し、入力端子毎に各アレイ光源における駆動される発光素子が異なることを特徴とする請求項1に記載の信頼性試験用基板ユニット。
- 前記駆動電流は、電源から供給され、
前記複数の設置台の数は、前記電源が同時並列に通電可能な発光素子の最大個数と同じであることを特徴とする請求項2に記載の信頼性試験用基板ユニット。 - 前記各アレイ光源における一の発光素子は、各アレイ光源における互いに同じ位置に配置されている一の発光素子であることを特徴とする請求項2又は3に記載の信頼性試験用基板ユニット。
- 前記発光素子は、面発光レーザであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の信頼性試験用基板ユニット。
- それぞれが複数の発光素子を有する複数のアレイ光源の信頼性を試験する信頼性試験装置であって、
少なくとも一つの請求項1〜4のいずれか一項に記載の信頼性試験用基板ユニットと、
前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットに装着されている複数のアレイ光源の温度を制御する温度制御装置と;
前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子に対応し、それぞれ駆動電流を生成する複数の電源を有する電源ユニットと;
前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記複数のアレイ光源における各発光素子の特性をそれぞれ求める処理装置と;を備える信頼性試験装置。 - 前記発光素子は、面発光レーザであることを特徴とする請求項6に記載の信頼性試験装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の信頼性試験用基板ユニットを用いた複数のアレイ光源の信頼性試験方法であって、
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子のいずれか1つに駆動電流を供給する工程と;
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記駆動電流が供給された複数の発光素子の特性を求める工程と;を含み、
前記複数の入力端子の全てについて、前記供給する工程と前記特性を求める工程とを行うことを特徴とする信頼性試験方法。 - 請求項4に記載の信頼性試験用基板ユニットを用いた複数のアレイ光源の信頼性試験方法であって、
前記各アレイ光源の特定位置にそれぞれ配置されている複数の発光素子が試験対象の発光素子であり、
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子のうち、前記試験対象の複数の発光素子に接続されている入力端子に駆動電流を供給する工程と;
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記試験対象の複数の発光素子の特性を求める工程と;を含む信頼性試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006120568A JP4947688B2 (ja) | 2006-04-25 | 2006-04-25 | 信頼性試験用基板ユニット、信頼性試験装置及び信頼性試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007292591A JP2007292591A (ja) | 2007-11-08 |
JP4947688B2 true JP4947688B2 (ja) | 2012-06-06 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4947688B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010016110A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Fujitsu Component Ltd | アレイ型発光素子の検査装置及び検査方法 |
CN117233516B (zh) * | 2023-11-13 | 2024-03-01 | 朗思传感科技(深圳)有限公司 | 一种引脚检测方法和引脚检测装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6482580A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | Method and equipment for driving array light emitting device |
JPH10260220A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-09-29 | Nec Eng Ltd | Icモジュール試験用ボード |
JP2000353844A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-19 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 半導体試験用治具、半導体試験装置および半導体試験方法 |
JP2001024270A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Kyocera Corp | バーンイン用基板及びそれを用いたバーンイン方法 |
JP2004279290A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Espec Corp | 半導体装置の検査用基板、半導体装置の検査装置および半導体装置の検査方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007292591A (ja) | 2007-11-08 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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