JP4945976B2 - 光学式絶対値エンコーダ - Google Patents
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Description
(第1の実施の形態)
図1は本発明の第1の実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダが備える検出部の概略構成図、図2は本実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダが備えるスケール板の概略構成図、図3は本実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダが備える検出部の概略構成図、図4は本実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダが備える第1受光部の受光セルアレイ群の概略構成図、図5は本実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダが備える第2発光部及び第2受光部の概略構成図、図6は本実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダが備える第2受光部の受光セルアレイ群の概略構成図である。
図8は第1受光部23へ到達する反射光の説明図、図9は第2発光部24および第2受光部25による光検出を説明する説明図、図10は検出信号の説明図である。まず、第1発光部22、第1受光部23の動作について説明する。例えば、図3(a)で示すように、第1発光部22からの照明光は、スケール板10の第1トラック12と第2トラック13を照明し、反射部での反射により光が多い領域(明領域)と透過部での透過により反射光が少ない領域(暗領域)とを含む反射光が第1受光部23へ入射される。
本実施の形態の光学式絶対値エンコーダは、電源投入時に絶対値情報を確立する処理を行い、その後は通常の相対値エンコーダとして動作し、相対移動量と確立済みの絶対値情報とにより絶対値情報を算出する。上述したように、絶対値を検出するための第1発光部22からの照明光が高分解能光学系である第2受光部25に影響を及ぼす他、第1発光部22の寿命による光量低下の影響によって第2内挿倍信号のオフセットが変動する。そこで、電源投入時の絶対値情報を確立した後には、絶対値を検出するための第1発光部22を消灯するようにCPU60が制御している。
図14は本発明の第2の実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダの概略構成を示すブロック図である。なお、上述した図7と共通する部分には同一の符号を付けてその説明を省略する。上述した第1の実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダでは、絶対値確立後には正確な位置検出情報を得ることができるが、絶対値確立中には絶対値光学系による影響によりオフセット変動が発生し、第2内挿倍信号35,36の周期の範囲内で位置検出誤差が発生する。これに対し、本実施の形態に係る光学式絶対値エンコーダでは、第2内挿倍信号35,36に予めオフセット変動に相当するオフセット補正値を加算(または減算)するようにして絶対値光学系による影響を最小限に抑えるようにした。この場合、上述した実施の形態1と同様に、絶対値情報確立後は絶対値光学系の第1発光部22を消灯するので、補正値の加算(または減算)は絶対値情報確立中のみ行う。図14中の補正回路70が第2内挿倍信号35,36にオフセット変動に相当する補正値を加算(または減算)する。本実施の形態では、補正値を補正回路70内の図示せぬメモリに格納している。
11 透明板
12 第1トラック
12a 反射部
12b 透過部
13 第2トラック
13a 反射部
13b 透過部
14 第3トラック
20 検出部
21 回路基板
22 第1発光部
23 第1受光部
23A 受光セルアレイA群
23B 受光セルアレイB群
23A’ 受光セルアレイA’群
23B’ 受光セルアレイB’群
24 第2発光部
24a 発光領域
24b 遮光領域
25 第2受光部
25A” 受光セルアレイA”群
25B” 受光セルアレイB”群
25C” 受光セルアレイC”群
25D” 受光セルアレイD”群
27,28 反射光
29 干渉縞
31,32 M系列信号
33,34 第1内挿倍信号
35,36 第2内挿倍信号
37a,37b 位置
38,39 領域
38a,38b 領域
39a,39b 領域
40,41,42 受光セル
50,51 オフセット変動
60 CPU
70 補正回路
Claims (3)
- M系列情報に基づいて反射と透過を繰り返すM系列トラックと、所定周期で反射と透過を繰り返す第1内挿倍トラックと、前記第1内挿倍トラックの1/N(Nは2以上の自然数)の周期の凹凸格子からなる第2内挿倍トラックと、が設けられたスケールと、
前記M系列トラック及び前記第1内挿倍トラックと対向する位置に配置された第1発光素子と、
前記M系列トラックと対向する位置に配置された複数の受光素子からなり前記M系列トラックからの光を検出してM系列信号を出力するM系列用受光素子群と、前記第1内挿倍トラックと対向する位置に配置された複数の受光素子からなり前記第1内挿倍トラックからの光を検出して第1内挿倍信号を出力する第1内挿倍用受光素子群とを備えた第1受光部と、
前記第2内挿倍トラックと対向する位置に配置された第2発光素子と、
前記第2内挿倍トラックと対向する位置に配置された複数の受光素子からなり前記第2内挿倍トラックからの光を検出して第2内挿倍信号を出力する第2受光部と、
絶対値確立後は、前記第1発光素子を消灯して前記第2発光素子だけを点灯し、前記第2受光部から出力される第2内挿倍信号を用いて位置検出を継続する制御手段と、
を具備し、
前記M系列信号、第1内挿倍信号及び第2内挿倍信号を用いて絶対値位置情報が確立するまでは、前記第1発光素子の影響により前記第2内挿倍信号に発生するオフセット変動に相当するオフセット補正値を加算または減算して前記第2内挿倍信号をオフセット補正することを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。 - M系列情報に基づいて反射と透過を繰り返すM系列トラックと、所定周期で反射と透過を繰り返す第1内挿倍トラックと、前記第1内挿倍トラックの1/N(Nは2以上の自然数)の周期の凹凸格子からなる第2内挿倍トラックと、が円周方向に沿って設けられた回転板と、
前記M系列トラック及び前記第1内挿倍トラックと対向する位置に配置された第1発光素子と、
前記M系列トラックと対向する位置に配置された複数の受光素子からなり前記M系列トラックからの光を検出してM系列信号を出力するM系列用受光素子群と、前記第1内挿倍トラックと対向する位置に配置された複数の受光素子からなり前記第1内挿倍トラックからの光を検出して第1内挿倍信号を出力する第1内挿倍用受光素子群とを備えた第1受光部と、
前記第2内挿倍トラックと対向する位置に配置された第2発光素子と、
前記第2内挿倍トラックと対向する位置に配置された複数の受光素子からなり前記第2内挿倍トラックからの光を検出して第2内挿倍信号を出力する第2受光部と、
絶対値確立後は、前記第1発光素子を消灯して前記第2発光素子だけを点灯し、前記第2受光部から出力される第2内挿倍信号を用いて位置検出を継続する制御手段と、
を具備し、
前記M系列信号、第1内挿倍信号及び第2内挿倍信号を用いて絶対値位置情報が確立するまでは、前記第1発光素子の影響により前記第2内挿倍信号に発生するオフセット変動に相当するオフセット補正値を加算または減算して前記第2内挿倍信号をオフセット補正することを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。 - 請求項1または請求項2に記載の光学式絶対値エンコーダと、
前記光学式絶対値エンコーダから出力される絶対値情報を用いて位置制御される移動体と、
を備えたことを特徴とする移動装置。
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