JP4940960B2 - 面発光レーザ - Google Patents
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Description
伊賀および小山編著、「面発光レーザの基礎と応用」、共立出版、第1章および第2章 屋敷、他5名、22p-ZN-3「1.1μm帯埋め込みトンネル接合構造面発光レーザ」、第53回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集、2006年春、p.1223 J. J. Wierer、他3名、"Lateral electron current operation of vertical cavity surface emitting lasers with buried tunnel contact hole sources"、Applied Physics Letter(1997)、pp.3468-3469
前記電流注入部が複数のトンネル接合部で構成され、
前記トンネル接合部の各平面パターンは、該各平面パターンの中心を通り、該各平面パターンの外周を結ぶ線分の最短長が1〜4μmである。
本実施形態の面発光レーザの構成を説明する。ここでは、GaAs基板上に形成した発振波長1.3μmの面発光型レーザの場合とする。
本実施形態の面発光レーザの構成を説明する。ここでは、GaAs基板上に形成した発振波長1.15μmの面発光型レーザの場合とする。また、第1の実施形態と同様な構成については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
本実施形態の面発光レーザの構成を説明する。ここでは、GaAs基板上に形成した発振波長1.07μmの面発光型レーザの場合とする。また、第1または第2の実施形態と同様な構成については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
102 第1のDBR層
103 n型Al0.3Ga0.7Asクラッド層
104、204、404 活性層
105 p型Al0.3Ga0.7Asクラッド層
106 p−GaAs層
107 p+−GaAs0.9Sb0.1層
108 n+−In0.15GaAs0.85層
109 n−GaAs層
110、210 第2のDBR層
111、211、411 円柱状構造
112 n型電極
113 ポリイミド
114 p型電極
301 トンネル接合部
302 合成された光出力
303 マルチモード光ファイバ
304 直径
414 p型全面電極
415 レンズ
417 出射光
418 合成出射光
1001 下部電極
1002 基板
1003 下部反射鏡構造
1004 下部クラッド層
1005 発光層
1006 上部クラッド層
1007 AlAs層
1008 上部反射鏡構造
1009 上部電極
1010 酸化されていない領域
1101 半導体基板
1102 第1多層反射膜
1103 第1のn型スペーサ層
1104 活性層
1105 p型スペーサ層
1106 高濃度p型層
1107 高濃度n型層
1108 第2のn型スペーサ層
1109 第2多層反射膜
1110 プラス電極
1111 マイナス電極
1112 界面
Claims (7)
- 共振器を構成する2つの反射鏡の間に設けられた活性層と、トンネル接合により前記活性層に電流注入を行う電流注入部と、該電流注入部を覆う埋め込み層とを有する面発光レーザであって、
前記電流注入部が複数のトンネル接合部で構成され、
前記トンネル接合部の各平面パターンは、該各平面パターンの中心を通り、該各平面パターンの外周を結ぶ線分の最短長が1〜4μmである、面発光レーザ。
- 前記2つの反射鏡のうち一方の反射鏡が複数の反射鏡部で構成され、
前記複数の反射鏡部のそれぞれが前記複数のトンネル接合部の各位置に対応して配置された請求項1記載の面発光レーザ。 - 発振波長をλとすると、
前記2つの反射鏡のうち一方の反射鏡は、膜厚が(1/4)λの第1の層と該第1の層よりも屈折率が小さく膜厚が(1/4)λの第2の層との対を1ペアとした複数のペアを有し、かつ、前記第1および第2の層が誘電体材料で構成されている請求項1または2記載の面発光レーザ。 - 前記トンネル接合部の平面パターンの中心を通り、該平面パターンの外周を結ぶ線分の最短長が、前記複数のトンネル接合部の全てについて同等である請求項1から3のいずれか1項記載の面発光レーザ。
- 前記トンネル接合部の平面パターンの中心を通り、該平面パターンの外周を結ぶ線分の最短長が前記複数のトンネル接合部について同一ではなく、前記最短長の異なる平面パターンのトンネル接合部が含まれている請求項1から3のいずれか1項記載の面発光レーザ。
- 前記平面パターンが円形である請求項4または5記載の面発光レーザ。
- 前記共振器が基板上に設けられ、
前記基板の前記共振器とは反対側の面にレンズが設けられた請求項1から6のいずれか1項記載の面発光レーザ。
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