JP4939359B2 - 蛍光x線分析システムおよびそのシステムに用いるプログラム - Google Patents
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Description
図1
の制御装置90として機能させるためのプログラムについて説明する。このプログラムは、気相分解装置20および試料回収装置30による前処理の前に、蛍光X線分析装置40に1次X線43を基板1に照射させて発生する蛍光X線44の強度を測定させた基板数nをカウントして、分析条件設定時に設定された基板数と同数か、否かを判断する手順を、第2実施形態の蛍光X線分析システム200に用いるプログラムに追加したプログラムである。
2 被測定物
20 気相分解装置
30 試料回収装置
40 蛍光X線分析装置
43 1次X線
44 蛍光X線
50 搬送装置
60、70、80、90 制御装置
100、200、300、400 蛍光X線分析システム
Claims (4)
- 1次X線を基板に照射して発生する蛍光X線の強度を測定して被測定物の定量分析値を算出する蛍光X線分析装置と、
基板の表面に存在する被測定物または基板の表面に形成された膜の表面もしくは膜中に存在する被測定物を反応性ガスにより溶解する気相分解装置と、
表面に被測定物が存在する基板に溶液を滴下して保持具で保持しながら基板の表面で移動させ、被測定物を回収後乾燥させて基板の表面に保持する試料回収装置と、
基板の搬送を行う搬送装置と、
前記蛍光X線分析装置、気相分解装置、試料回収装置および搬送装置を制御して、前記気相分解装置および試料回収装置に基板を前処理させ、基板の表面に保持された被測定物の定量分析値を前記蛍光X線分析装置に算出させる制御装置とを備える蛍光X線分析システムであって、
前記制御装置が、前記気相分解装置および試料回収装置による前処理の前に、前記蛍光X線分析装置に、1次X線を基板に照射させて発生する蛍光X線の強度を測定させ、被測定物の定量分析値を算出させ、その算出された定量分析値を所定の分析閾値と比較して、前記気相分解装置および試料回収装置による前処理を行うべきか否かを判断する蛍光X線分析システム。 - 請求項1において、
前記制御装置が、前記気相分解装置および試料回収装置による前処理を行うべきか否かを判断する前に、前記測定された蛍光X線の強度のうち基板を構成する元素の蛍光X線の強度を所定の強度閾値と比較して、前記蛍光X線分析装置が正常か否かを判断する蛍光X線分析システム。 - 請求項1に記載の蛍光X線分析システムが備えるコンピュータを前記制御装置として機能させるためのプログラムであって、
前記気相分解装置および試料回収装置に基板を前処理させる前に、
前記蛍光X線分析装置に、1次X線を基板に照射させて発生する蛍光X線の強度を測定させ、
前記蛍光X線分析装置に、被測定物の定量分析値を算出させ、
その算出された定量分析値を所定の分析閾値と比較して、前記気相分解装置および試料回収装置による前処理を行うべきか否かを判断する手順をコンピュータに実行させるためのプログラム。 - 請求項2に記載の蛍光X線分析システムが備えるコンピュータを前記制御装置として機能させるためのプログラムであって、
前記気相分解装置および試料回収装置による前処理を行うべきか否かを判断する前に、
前記測定された蛍光X線の強度のうち基板を構成する元素の蛍光X線の強度を所定の強度閾値と比較して、前記蛍光X線分析装置が正常か否かを判断する手順をコンピュータに実行させるためのプログラム。
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