JP2007255904A - 欠陥検査装置及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wを基板処理装置1A、1Bへ搬入する搬入路及び前記基板Wを前記基板処理装置1A、1Bから搬出する搬出路において、前記基板Wの被検面W1に検査光Lを照射する光照射部4と、前記検査光Lが照射された被検面W1からの反射、回折及び/又は散乱光Lを検出して、搬入時に検出した搬入時光強度信号及び搬出時に検出した搬出時光強度信号を出力する光検出部5と、前記光検出部5から搬入時光強度信号及び搬出時光強度信号を受信し、前記被検面W1の欠陥Sを検出する情報処理装置6と、を備えている。
【選択図】図1
Description
W1・・・被検面
S ・・・欠陥(異物)
1 ・・・基板処理装置
2 ・・・搬送機構
3 ・・・欠陥検査装置(異物検査装置)
4 ・・・光照射部
5 ・・・光検出部
6 ・・・情報処理装置
61・・・異物検出部
62・・・基板処理装置評価部
Claims (6)
- 基板を基板処理装置へ搬入する搬入路及び前記基板を前記基板処理装置から搬出する搬出路において、前記基板の被検面に検査光を照射する光照射部と、
前記検査光が照射された被検面からの回折及び/又は散乱光を検出して、搬入時に検出した搬入時光強度信号及び搬出時に検出した搬出時光強度信号を出力する光検出部と、
前記光検出部から搬入時光強度信号及び搬出時光強度信号を受信し、前記被検面の欠陥を検出する情報処理装置と、を備えている欠陥検査装置。 - 前記光照射部が、前記基板が前記基板処理装置の基板導入ポートの近傍、及び基板導出ポートの近傍にあるときに検査光を照射するものであることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記情報処理装置が、前記搬入時光強度信号と前記搬出時光強度信号とを比較して、その比較結果をパラメータとして、前記被検面を検査するものであることを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥検査装置。
- 前記情報処理装置が、前記搬入時光強度信号と前記搬出時光強度信号とを比較して、その比較結果をパラメータとして、前記基板処理装置を検査するものであることを特徴とする請求項1、2又は3記載の欠陥検査装置。
- 前記情報処理装置が、前記搬入時光強度信号から得られる基板処理前の欠陥情報と、前記搬出時光強度信号から得られる処理後の欠陥情報とを比較して、前記基板処理装置における欠陥増加特性を評価するものであることを特徴とする請求項4記載の欠陥検査装置。
- 基板に対して処理を施す基板処理装置と、
前記基板の被検面の欠陥を検査する欠陥検査装置とを備え、
前記欠陥検査装置が、基板を基板処理装置へ搬入する搬入路及び前記基板を前記基板処理装置から搬出する搬出路において、前記基板の被検面に検査光を照射する光照射部と、前記検査光が照射された被検面からの回折光及び/又は散乱光を検出して、搬入時に検出した搬入時光強度信号及び搬出時に検出した搬出時光強度信号を出力する光検出部と、前記光検出部から搬入時光強度信号及び搬出時光強度信号を受信し、前記被検面の欠陥を検出する情報処理装置と、を備えていることを特徴とする基板処理システム。
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JP2006076823A JP2007255904A (ja) | 2006-03-20 | 2006-03-20 | 欠陥検査装置及び基板処理システム |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012112921A (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-14 | Nsk Technology Co Ltd | 異物検出装置及び異物検出方法 |
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-
2006
- 2006-03-20 JP JP2006076823A patent/JP2007255904A/ja active Pending
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