JP5505975B2 - 割込み測定可能なx線測定装置 - Google Patents
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Description
この構成によれば、中断された主測定が1つの試料に対してどの段階まで行われたかを気にすることなく、中断された主測定を割込み測定の終了後に再開できるので、制御が簡単である。
本実施形態のX線測定装置1の制御系は、1つのカセットの中に収容された複数のウエハに対して自動的に連続してX線測定を行う制御モードである主測定モードと、主測定モードに従って測定を行っている途中に他のカセットに対する測定を割り込んで実行させる制御モードである割込み測定モードとの2つの制御モードを有している。
まず、測定者は、図6において、測定を希望する複数の6インチウエハ14a又は4インチウエハ14bを、それぞれ、6インチ用カセット43a又は4インチ用カセット43bへ収納する。本実施形態では、最大で25枚のウエハをカセットの内部に収容できる。
次に、割込み測定モードについて説明する。
この割込み測定モードは、ある測定者の指示に従って主測定モードに則って測定が行なわれているときに、同じ測定者又は別の測定者が主測定モードに従った測定を一次中断して、異なるカセットに対してX線測定を別個に行うものである。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
また、試料はウエハに限られず、他の任意の物質を試料とすることができる。但しその場合には、試料を収容するカセットの構成を試料に合わせる必要がある。
Claims (8)
- 試料支持台を含んでいるX線測定系を収容しX線の漏洩を防止する防X線カバーと、
当該防X線カバーの外側に設けられた複数のカセット台と、
複数の試料を収容でき前記複数のカセット台のそれぞれの上に載せられる複数のカセットと、
前記複数のカセット台に対向する部分の前記防X線カバーに設けられた開口と、
X線を遮蔽できる材料によって形成されており前記防X線カバーの開口を開閉する試料室シャッタと、
前記防X線カバーの内部に設けられており、前記カセットと前記試料支持台との間で前記防X線カバーの開口を通して前記試料を搬送する試料搬送手段と、
前記複数のカセットの1つに対する主測定を実現する主測定モードと、前記複数のカセットの他の1つに対する割込み測定を実現する割込み測定モードとを有しており、前記主測定モードと前記割込み測定モードとの間で前記試料室シャッタの開閉によって前記防X線カバーの開口を開閉し、前記防X線カバーの開口が開状態のときに当該開口を通して前記試料搬送手段によって試料を搬送させる制御を行う制御手段と、
前記複数のカセット台上に置かれたカセット内の試料が前記主測定モード中又は前記割込み測定モード中に他の試料と交換されることを防止する試料交換防止手段と、
を有することを特徴とする割込み測定可能なX線測定装置。 - 前記試料交換防止手段は、
前記カセット台及び当該カセット台上に置かれた前記カセットを包囲し開閉可能であるカバーと、
当該カバーを開き移動不能に保持するロック手段と
を有することを特徴とする請求項1記載の割込み測定可能なX線測定装置。 - 前記試料交換防止手段は、
前記カセットが前記カセット台上から取り外されたことを検出するセンサと、
当該センサの出力信号に基づいて画像表示手段上に表示を行う表示制御手段と、
を有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の割込み測定可能なX線測定装置。
- 前記制御手段は、
前記試料室シャッタを開状態にして前記開口を通して前記試料搬送手段によって前記カセットから前記試料支持台上へ試料を搬送し、前記試料室シャッタを閉状態にして前記主測定モードを実行し、
当該主測定モードの実行中に前記割込み測定モードを実行することの指令を受けたとき、当該主測定モードの実行を中断し、
当該中断後に前記試料室シャッタを開状態にして前記開口を通して前記試料搬送手段によって前記試料支持台上の試料を交換し、
当該交換後に前記試料室シャッタを閉状態にして前記割込み測定モードを実行し、
当該割込み測定モードの終了後に前記試料室シャッタを開状態にして前記開口
を通して前記試料搬送手段によって前記試料支持台上の試料を交換し、
当該交換後に前記主測定モードを再開する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の割込み測定可能なX線測定装置。 - 試料番号に関連して測定条件を記憶する測定条件記憶手段と、
試料番号を記憶する試料番号記憶手段と、をさらに有しており、
前記制御手段は、
前記主測定モードの実行中に前記割込み測定モードを実行することの指令を受けたとき、そのときに測定に供されていたウエハの試料番号を前記試料番号記憶手段に記憶させ、
前記割込み測定モードの終了後に前記主測定モードを再開する際、前記試料番号記憶手段に記憶されている試料番号及び前記測定条件記憶手段に記憶されている測定条件に従って前記主測定モードを再開する
ことを特徴とする請求項4記載の割込み測定可能なX線測定装置。 - 前記制御手段は、前記割込み測定モードの実行後に前記主測定モードを再開するとき、前記試料番号記憶手段に記憶されている試料番号に基づいて当該試料番号に対して初めから主測定モードを実行する
ことを特徴とする請求項5記載の割込み測定可能なX線測定装置。 - 測定結果を記憶する測定結果記憶手段をさらに有しており、
前記制御手段は、前記割込み測定モードの実行後に前記主測定モードを再開するとき、前記試料番号記憶手段に記憶されている試料番号に基づいて当該試料番号に対して中断時までに得られた測定結果以降の測定結果を求める主測定モードを実行することを特徴とする請求項5記載の割込み測定可能なX線測定装置。 - 前記X線測定系は、X線を発生するX線管と、当該X線管のX線出射窓を開閉するX線シャッタとを有しており、
前記制御手段は、
前記試料室シャッタを開けるときは、前記X線シャッタを閉じてから前記試料室シャッタを開け、
前記X線シャッタを開けるときは、前記試料室シャッタを閉じてから前記X線シャッタを開ける
ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1つに記載の割込み測定可能なX線測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010148391A JP5505975B2 (ja) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | 割込み測定可能なx線測定装置 |
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JP2012013464A JP2012013464A (ja) | 2012-01-19 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5505975B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2832741B2 (ja) * | 1990-05-17 | 1998-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP3912606B2 (ja) * | 2004-10-26 | 2007-05-09 | 株式会社リガク | X線薄膜検査装置と、プロダクトウエーハの薄膜検査装置およびその方法 |
JP4939359B2 (ja) * | 2007-10-05 | 2012-05-23 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析システムおよびそのシステムに用いるプログラム |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012013464A (ja) | 2012-01-19 |
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