JP4934952B2 - 薄膜形成基板の接合装置および接着方法 - Google Patents
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Description
図1、図2は本発明の接合装置の構成の一例を示したものである。図a)は第一の加圧設定を行う第一ユニットA101を示す。第一ユニットの構成は第一加圧設定ねじ0001と加圧ばね0002と加圧軸0003とをスライドブロック0004で受ける構成とし、スライドブロック0004は加圧ガイド0005に固定されている。この構成により、加圧ねじ0001の押し込み長により、加圧ばね0002のばね定数に対応したばね荷重が、加圧軸0003に印加される。加圧軸0003の先端に、加圧接触子である自在回転球0006を固定することで、前記ばね荷重が自在回転球0006に伝達される構成をとる。例えば一例として加圧ばね0002のばね定数が1kgf/mmとし、加圧ねじ0001を4mm長押し込むことで前記自在回転球には4kgfの荷重が印加されることとなる。またスライドブロック0004には加圧軸0003と平行な通し穴が施されている。これは後述する図1のb)で示す垂直ガイドポール0008を挿入する通し穴である。次に第二の加圧設定を行う第二ユニットA102を図1のb)に示す。ガイドブロック0009にはガイドブロックのガイド面0010に平行に位置する垂直ガイドポール0008を固定し、同じくガイドブロックのガイド面0010に平行な第二加圧設定ねじ部0007をねじ込む構成である。図1のc)は上記第一ユニットと第二ユニットの組図A104(側面図)である。まず第一ユニットA101のスライドブロック0004に施された通し穴にガイドブロック0009に固定された垂直ガイドポール0008を挿入する。この構成により、第一ユニットにおいて予め設定された荷重に加えて、加圧軸0003の先端に固定された加圧接触子である自在回転球0006を接合を行う重なり合わされた2枚の基板表面(薄膜形成面から見れば裏面側)に当接し、第二ユニットA102の第二加圧設定ねじ0007を締め込み、第一ユニットのスライドブロック0004に押圧することで、全加圧設定が可能となる。例えば一例として、第一ユニットA101において加圧ばね0002のばね定数が1kgf/mmとし、加圧ねじ0001を4mm長押し込むことで前記自在回転球0006には4kgfの荷重が印加されることとなり、第二ユニットA102の第二加圧設定ねじ0007の1mm長押し込むことで総合荷重は5kgfとなる。次に第一ユニットA101および第二ユニットA102を接合基板表面と平行に移動させる第三ユニットを図2のd)に示す。d)−1が側面図、d)−2が正面図である。構成の一例として、水平スライドガイドのガイド面0013に平行になるように水平ガイドポールを配置させ、水平スライドガイドのガイド面0013に平行な水平スライドねじ部0010をねじ込む構成である。図d)では水平ガイドポールは2本設定であるが、必ずしも2本である必要はないことは言うまでも無い。また基板ステージユニットA105を図2のe)に示す。e)−1が平面図、e)−2が側面図である。構成の一例として、本体ベース0019のベース面に平行に基板ステージ0015と軸受け0016を配置する。本体ベース0019内に回転動力部0018と動力伝達部0017配置させ、図e)−2のように動力伝達部0017を基板ステージ0015の平面中心位置に連結させ、本体ベース0019に平行に基板ステージ0015を回転駆動するよう構成する。また基板ステージ0015には2層化基板挿入部0014が基板ステージ0015の平面中心に配置されている。この基板挿入部0014は2層化用基板を挿入した際に、基板ステージ0015の表面と略同一面になるような凹部形状を取っている。基板挿入部0014は2層化用基板の挿入、取り出しを考慮し、又基板の大きさ較差を考慮し0.5mm程度の隙間を設けても良い。以上のような第一ユニットA101、第二ユニットA102、第三ユニットA103及び基板ステージユニットの組図の一例を図3のf)に示す。f)−1は側面図、f)−2は正面図、f)−3は平面図である。薄膜形成基板の接合装置A1の構成の一例を以下に示す。第一ユニットA101と第二ユニットA102の組図A104の構成の、第二ユニットA102のガイドブロック0009に施した水平ガイドポール穴0011に第三ユニットA103の水平ガイドポール0010を挿入する。第一ユニットA101の自由落下防止に第一ユニットA101のスライドブロック0004の側面にストッパー0013施し、第二ユニットA102の垂直ガイドポール0008を押圧して仮固定しても良い。次に第三ユニットA103を図f)−1及びf)−2に示すように基板ステージユニットA105に固定する。
0002 加圧ばね
0003 加圧軸
0004 スライドブロック
0005 加圧ガイド
0006 自在回転球
0007 第二加圧設定ねじ部
0008 垂直ガイドポール
0009 ガイドブロック
0010 水平ガイドポール
0011 水平スライドねじ
0012 水平ガイドブロックブロック
0013 ストッパー
0014 2層化用基板
0015 基板ステージ
0016 軸受け
0017 動力伝達部
0018 回転動力部
0019 本体ベース
0020 薄膜形成用基板
0021 薄膜
0022 接着層
0024 基板挿入部
0025 加圧ばねの押し込み長1
0026 加圧ばねの押し込み長2
0027 水平スライド量
0028 スパイラル状加圧軌跡イメージ
0030 接着層
Claims (4)
- 基板ステージに接着基板を挿入した際に、前記接着基板表面と前記基板ステージ表面とが略同一面になる凹部を中心に具備した前記基板ステージと、前記基板ステージ表面に対して水平駆動する機構とを具備する基板ステージユニットと、
前記基板ステージ表面に対して鉛直方向に配置する加圧接触子と、前記加圧接触子を保持しながら前記基板ステージに鉛直方向に荷重印加を行うばね機構と、前記ばね機構を保持するガイド機構と、を具備する第一ユニットと、
前記第一ユニットを前記基板ステージに鉛直方向にスライド移動するスライド機構と、前記第一ユニットを前記基板ステージに鉛直方向に加圧を行う加圧機構とを具備する第二ユニットと、
前記第一ユニット及び第二ユニットを前記基板ステージ表面に対して水平移動を行うためのスライド機構を具備する第三ユニットと、を少なくとも備えた薄膜形成基板の接合装置において、前記接着基板を作製する方法であって、
所望の薄膜を基板に形成する第1工程と、
前記基板に接着層を形成する第2工程と、
2枚以上の前記基板の前記接着層の形成面同士を当接し、仮接合基板を作製する第3工程と、
前記仮接合基板中央付近から前記仮接合基板外周部にかけてスパイラル状に加圧軌跡を描く加圧方法を用いて、前記仮接合基板を接合面とは反対側の面から押圧し接着基板を作製する第4工程と、
前記接着基板を熱処理する第5工程と、
を少なくとも有することを特徴とする接着基板の作製方法。 - 前記加圧接触子が自在回転球型であることを特徴とする請求項1記載の接着基板の作製方法。
- 前記加圧接触子がローラー形状であることを特徴とする請求項1記載の接着基板の作製方法。
- 前記基板ステージユニットが前記基板ステージ表面に対して水平且つ前記基板ステージ表面中心で回転を行う機構を具備することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の接着基板の作製方法。
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