JPH02226996A - 圧電素子接着装置および圧電素子接着方法 - Google Patents
圧電素子接着装置および圧電素子接着方法Info
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- JPH02226996A JPH02226996A JP1047740A JP4774089A JPH02226996A JP H02226996 A JPH02226996 A JP H02226996A JP 1047740 A JP1047740 A JP 1047740A JP 4774089 A JP4774089 A JP 4774089A JP H02226996 A JPH02226996 A JP H02226996A
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 20
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧電素子を振動体などの被接着物に接着す
る為の接着装置、およびその接着方法に関するものであ
る。
る為の接着装置、およびその接着方法に関するものであ
る。
この発明は、振動体などの被接着物(以下、振動体と言
う)圧電素子を接着するときに、振動体の上に接着剤を
介して圧電素子をおき、この圧電素子の上に押し枠をお
き、押し枠の中央部を加工圧の突起部により一定の加圧
ばねの加圧力を介して押圧保持することにより、圧電素
子と振動体の間に均一な加圧力をかけて圧電素子と振動
体とを接着するもので、圧電素子の破損や接着の不均一
による振動体の動作不良を防止するようにしたものであ
る。
う)圧電素子を接着するときに、振動体の上に接着剤を
介して圧電素子をおき、この圧電素子の上に押し枠をお
き、押し枠の中央部を加工圧の突起部により一定の加圧
ばねの加圧力を介して押圧保持することにより、圧電素
子と振動体の間に均一な加圧力をかけて圧電素子と振動
体とを接着するもので、圧電素子の破損や接着の不均一
による振動体の動作不良を防止するようにしたものであ
る。
従来の接着装置の構造を第6図に示す。
図面において、基体1の上面に振動体3を載置する。
次に、接着剤を介して圧電素子4を載置し、押し枠1)
を押え仮21に設けられた加圧ねじ22の調節位置によ
り圧電素子4に押しつけて加圧し接着していた。
を押え仮21に設けられた加圧ねじ22の調節位置によ
り圧電素子4に押しつけて加圧し接着していた。
しかし、従来の接着装置においては、加圧ねじて直接押
し枠を押圧するため、圧電素子にかかる圧力が均一とは
ならず、又加圧ねじによる圧力の調整も困難なため、接
着時に圧電素子が破損したり、接着後の振動体の振動の
特性が不均一になったりするという課題を有していた。
し枠を押圧するため、圧電素子にかかる圧力が均一とは
ならず、又加圧ねじによる圧力の調整も困難なため、接
着時に圧電素子が破損したり、接着後の振動体の振動の
特性が不均一になったりするという課題を有していた。
そこで、この発明の目的は従来のこのような課題を解決
するため、圧電素子への接着時の加圧を均一とし、加圧
力の調整が可能な接着装置を得ることにある。
するため、圧電素子への接着時の加圧を均一とし、加圧
力の調整が可能な接着装置を得ることにある。
上記!1)1)を解決するために、この発明は接着剤を
介して圧電素子を振動体に押しつけるとき、圧電素子に
圧力を与える押し枠の上面を、加工圧の突起部と加圧ば
ねの弾性力とを介して加圧する構造とした。
介して圧電素子を振動体に押しつけるとき、圧電素子に
圧力を与える押し枠の上面を、加工圧の突起部と加圧ば
ねの弾性力とを介して加圧する構造とした。
上記のように構成された圧電素子の接着装置においては
、加工圧の突起部を介して押し枠を押しつけるため圧電
素子と振動体の相互は平行で均一な加圧力により加圧さ
れ、加圧力も加圧ばねを介する事により発生するので調
整が容易となる。
、加工圧の突起部を介して押し枠を押しつけるため圧電
素子と振動体の相互は平行で均一な加圧力により加圧さ
れ、加圧力も加圧ばねを介する事により発生するので調
整が容易となる。
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図および第2図において、基体1に設けられた受台
案内ビンlaを案内として基体1の上面に受台2を組み
込む、この受台2は、圧電素子4を接着する被接着物(
例えば振動体)の形状に合わせて複数用意しておく。
案内ビンlaを案内として基体1の上面に受台2を組み
込む、この受台2は、圧電素子4を接着する被接着物(
例えば振動体)の形状に合わせて複数用意しておく。
受台2の中央は案内穴2aを設け、この案内穴2aにあ
らかじめ振動体3に固定された振動体ビン3aを組み込
むことにより振動体3の位置決めを行う。
らかじめ振動体3に固定された振動体ビン3aを組み込
むことにより振動体3の位置決めを行う。
次に、接着剤を介して中心穴を有する圧電素子4を該中
心穴を前記振動体ビン3aに合わせて振動体の上面に載
置する。
心穴を前記振動体ビン3aに合わせて振動体の上面に載
置する。
押し枠1)の下部には合成樹脂で製造した加圧シート5
をねじ止めし、圧電素子4を保護している。
をねじ止めし、圧電素子4を保護している。
押し枠1)の中央には押し枠案内ビンllaが固定され
てあり、この押し枠案内ビンttaの先端を前記振動体
3に固定された振動体ビン3aの中心穴に合わせて組み
込み、振動体の位置決めを行う。
てあり、この押し枠案内ビンttaの先端を前記振動体
3に固定された振動体ビン3aの中心穴に合わせて組み
込み、振動体の位置決めを行う。
基体lの一端には円筒状の押え板案内座26を置き、こ
の押え板案内座26の中心段部に押え板ばね25をはめ
込み、この押え板ばね25をたわませながら押え板案内
座26の一端に押え板21を押え板案内ねじ24を押え
Fi案内座26の中心穴を通して基体1にねし止めする
。
の押え板案内座26の中心段部に押え板ばね25をはめ
込み、この押え板ばね25をたわませながら押え板案内
座26の一端に押え板21を押え板案内ねじ24を押え
Fi案内座26の中心穴を通して基体1にねし止めする
。
押え板21にはこの押え仮21が上下方向にのみ移動可
能なように加工圧12を加工圧案内ねし23により固定
している。加工圧12の下部には球形をした加圧ボール
13を突出部として固定しており、この突出部の下部が
前記押し枠の上部中央に接触する。
能なように加工圧12を加工圧案内ねし23により固定
している。加工圧12の下部には球形をした加圧ボール
13を突出部として固定しており、この突出部の下部が
前記押し枠の上部中央に接触する。
加工圧12の上方の穴に加圧ばね14を組み込み、加圧
ばね12の螺旋の中に加圧ばね案内軸15を岨み込み、
これの上面を押え板21に自身のねじを介して支持した
加圧ねじ22により押しつけている。
ばね12の螺旋の中に加圧ばね案内軸15を岨み込み、
これの上面を押え板21に自身のねじを介して支持した
加圧ねじ22により押しつけている。
以上により振動体と圧電素子に対する必要な加圧力の調
整は加圧ねじ22のねじ込み量を調整することにより、
加圧ばね14のたわみ量が変化して行われる。
整は加圧ねじ22のねじ込み量を調整することにより、
加圧ばね14のたわみ量が変化して行われる。
以上のように、圧電素子4の振動体3への接着の加圧は
中間に加圧シート5があり、上方を球体からなる突起部
で押圧された押し枠1)により行われるので均一で平行
度よくできることになる。
中間に加圧シート5があり、上方を球体からなる突起部
で押圧された押し枠1)により行われるので均一で平行
度よくできることになる。
さらに加圧ねじ22のねじ込み量と押し枠1)による圧
電素子4を振動体3に押しつける力の関係をあらかじめ
測定しておくことにより、加圧力の調整量が決められる
。
電素子4を振動体3に押しつける力の関係をあらかじめ
測定しておくことにより、加圧力の調整量が決められる
。
一定の加圧ねじ22のストロークが決まれば、加圧ねじ
22のつばと押え板21の上面の間の座(図示しない)
をその厚みに製作しておくことにより、加圧力の調整が
確実に行える。
22のつばと押え板21の上面の間の座(図示しない)
をその厚みに製作しておくことにより、加圧力の調整が
確実に行える。
複数の圧電素子の接着を行う場合は、第3図に示すよう
に、−個の基体に複数の押し枠や押え仮等を取り付ける
ことにより可能となる。
に、−個の基体に複数の押し枠や押え仮等を取り付ける
ことにより可能となる。
この状態から所定の加圧力で保持したり、さらに一定の
加熱によるキュアを行えば圧電素子4と振動体3の接着
は品質が安定することとなる。
加熱によるキュアを行えば圧電素子4と振動体3の接着
は品質が安定することとなる。
接着およびキュアが終了して、振動体をこの接着装置か
ら外すときは、第4図および第5図に示すように、最初
に加圧ねじ22をゆるめて、圧電素子4への加圧力をな
くす。
ら外すときは、第4図および第5図に示すように、最初
に加圧ねじ22をゆるめて、圧電素子4への加圧力をな
くす。
次に、押え板案内ねじ24をゆるめるが、このとき、押
え仮案内ねじ24のねじ部24aが基体lから外れない
ようにしておく、このようにすると、押え仮は25のば
ね力により押え板21は、押え仮案内ねじ24のつば下
面24bに押しつけられるので上方へ移動する。そうす
ると、加圧廃案内ねじ23は押え仮21にねじ止めされ
ているのでこれも同時に上方へ移動し、少し移動すると
この加圧廃案内ねじ23のつば下面23aが加工圧12
の加圧廃案内ねし頭にげさらいの段部に接触して加工圧
12も同時に上方に移動するようになる。この状態では
加圧ボール13と押し枠1)の上面の間に隙間13aが
できる。
え仮案内ねじ24のねじ部24aが基体lから外れない
ようにしておく、このようにすると、押え仮は25のば
ね力により押え板21は、押え仮案内ねじ24のつば下
面24bに押しつけられるので上方へ移動する。そうす
ると、加圧廃案内ねじ23は押え仮21にねじ止めされ
ているのでこれも同時に上方へ移動し、少し移動すると
この加圧廃案内ねじ23のつば下面23aが加工圧12
の加圧廃案内ねし頭にげさらいの段部に接触して加工圧
12も同時に上方に移動するようになる。この状態では
加圧ボール13と押し枠1)の上面の間に隙間13aが
できる。
そして、押え板案内ねじ24を回転中心として押え仮2
1を反時計まわり方向にまわセば第5図の二点鎖線に示
す状態となる。このときは、圧電素子4が接着された振
動体3を受台から上方へ取り外せる。
1を反時計まわり方向にまわセば第5図の二点鎖線に示
す状態となる。このときは、圧電素子4が接着された振
動体3を受台から上方へ取り外せる。
さらに接着作業を続けるときは、新しい振動体3を受台
2に組み込み、接着剤を介して新しい圧電素子4を組み
込む。次に、押え仮案内ねじ24を回転中心として押え
板21を時計まわり方向に回転させ、押え板21の一部
が押え板度決めねじ31に当たる位置に止める。
2に組み込み、接着剤を介して新しい圧電素子4を組み
込む。次に、押え仮案内ねじ24を回転中心として押え
板21を時計まわり方向に回転させ、押え板21の一部
が押え板度決めねじ31に当たる位置に止める。
この状態で押え板案内ねじ24を締めつけることにより
、押え板21の位置決めを行い、加圧ねじ22を一定量
締めつけて圧電素子4に加圧力を生じさせる。
、押え板21の位置決めを行い、加圧ねじ22を一定量
締めつけて圧電素子4に加圧力を生じさせる。
〔発明の効果〕
この発明は、以上説明したように圧電素子を被接着物体
に接着する際に、相互の中心位置合わせかG1実に行え
、加圧力の調整が容易で、かつ、加圧力は振動体の全面
に均一に伝えられるので、接着時における圧電素子の破
損は掻めて少なく、接着の不均一による振動体の動作不
良の発生もほとんどなくなるという効果がある。
に接着する際に、相互の中心位置合わせかG1実に行え
、加圧力の調整が容易で、かつ、加圧力は振動体の全面
に均一に伝えられるので、接着時における圧電素子の破
損は掻めて少なく、接着の不均一による振動体の動作不
良の発生もほとんどなくなるという効果がある。
さらに、?3[敗の圧電素子を一個の基体に取りつけて
接着作業やキュアを行うことができ、安全で作業性も良
いという効果も有する。
接着作業やキュアを行うことができ、安全で作業性も良
いという効果も有する。
第1図は本発明の圧電素子接着装置の縦断面図、第2図
は本発明の圧電素子接着装置の接着部の縦断面図、第3
図は本発明の圧電素子接着装置の平面図、第4図は本発
明の圧電素子の接着部:fの圧電素子を外す状態の縦断
面図、第5図は本発明の圧電素子t1着装!の圧電素子
を外す状態の平面図、第6図は従来の圧電素子接着装置
の縦断面図である。 1・・・基体 3・・・振動体 1)・・・押し枠 14・・・加圧ばね 22・・・加圧ねじ 受台 ・圧電素子 加工圧 ・ l甲え板 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社
は本発明の圧電素子接着装置の接着部の縦断面図、第3
図は本発明の圧電素子接着装置の平面図、第4図は本発
明の圧電素子の接着部:fの圧電素子を外す状態の縦断
面図、第5図は本発明の圧電素子t1着装!の圧電素子
を外す状態の平面図、第6図は従来の圧電素子接着装置
の縦断面図である。 1・・・基体 3・・・振動体 1)・・・押し枠 14・・・加圧ばね 22・・・加圧ねじ 受台 ・圧電素子 加工圧 ・ l甲え板 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社
Claims (2)
- (1)被接着物体に圧電素子を接着する圧電素子接着装
置において、 基体およびこの基体と一体または別体に設けた受台と、 押し枠と下方に設けた突起部が前記押し枠の上面に接触
する加圧座と、 該加圧座の前記突起部とは反対側の上面に接触する加圧
ばねと、 前記気体に組み込まれた押え板と、 該押え板に支持され、前記加圧ばねの押圧力を調節する
加圧ねじとを有することを特徴とする圧電素子接着装置
。 - (2) 被接着物体に圧電素子を接着する圧電素子の接
着方法において、 基体と一体又は別体に設けた受台に被接着物体を載置し
、 該被接着物体の上面に接着剤を介して圧電素子を載置し
、 該圧電素子の上方に押し枠を載置し、 加圧座の下面に設けた突起部を前記押し枠の上面に対向
して配置させ、 加圧座を弾性的に支持する加圧ばねの弾性力を介して前
記加圧座を前記押し枠に圧接させ、圧電素子と被接着物
体とを押圧することにより圧電素子と被接着物体とを加
圧接着するようにしたことを特徴とする圧電素子接着方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1047740A JPH02226996A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 圧電素子接着装置および圧電素子接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1047740A JPH02226996A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 圧電素子接着装置および圧電素子接着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02226996A true JPH02226996A (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=12783748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1047740A Pending JPH02226996A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 圧電素子接着装置および圧電素子接着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02226996A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6246247B1 (en) | 1994-11-15 | 2001-06-12 | Formfactor, Inc. | Probe card assembly and kit, and methods of using same |
JP2005322669A (ja) * | 2004-05-06 | 2005-11-17 | Nittoku Eng Co Ltd | 巻線機のセンター押さえ装置および方法 |
JP2006086250A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜形成基板の接合装置および接着方法 |
US7262611B2 (en) | 2000-03-17 | 2007-08-28 | Formfactor, Inc. | Apparatuses and methods for planarizing a semiconductor contactor |
JP2011069829A (ja) * | 1994-11-15 | 2011-04-07 | Formfactor Inc | プローブカード・アセンブリ及びキット、及びそれらを用いる方法 |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP1047740A patent/JPH02226996A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6246247B1 (en) | 1994-11-15 | 2001-06-12 | Formfactor, Inc. | Probe card assembly and kit, and methods of using same |
JP2011069829A (ja) * | 1994-11-15 | 2011-04-07 | Formfactor Inc | プローブカード・アセンブリ及びキット、及びそれらを用いる方法 |
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JP4504731B2 (ja) * | 2004-05-06 | 2010-07-14 | 日特エンジニアリング株式会社 | 巻線機のセンター押さえ装置および方法 |
JP2006086250A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜形成基板の接合装置および接着方法 |
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