JP4934603B2 - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4934603B2 JP4934603B2 JP2008020698A JP2008020698A JP4934603B2 JP 4934603 B2 JP4934603 B2 JP 4934603B2 JP 2008020698 A JP2008020698 A JP 2008020698A JP 2008020698 A JP2008020698 A JP 2008020698A JP 4934603 B2 JP4934603 B2 JP 4934603B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- groove
- piezoelectric substrate
- individual
- individual ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記段差部の深さは、上記圧電基板の端面に向かって、増大しており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、
上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、
上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少していることを特徴としている。
また、上記段差部の深さは、上記圧電基板の端面に向かって、増大しているので、供給されるインクに気泡が混入していた場合に、インクの流れによって、段差部で気泡を押しつぶして個別インク室に流すことができて、段差部に気泡が残留することがない。この、気泡の残留は、不吐出や、個別インク室により発生した圧力波を減衰させるため、吐出特性の低下を招くが、気泡の排出性を高めることで、吐出特性を向上できる。
また、上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられているので、電極の断線の抑制と気泡の排出性の向上の効果を維持し、かつ、製作工程を簡易化することができる。
また、上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少しているので、インクの供給側の段差部で押しつぶされた気泡は、個別インク溝を通過して排出側の共通インク溝に排出される。そして、排出側の共通インク溝に排出された気泡を、インクジェットヘッド外部へ容易に排出することができる。
一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記段差部の底面と、上記ノズルプレートにおける上記隔壁側の一面との成す角度は、鋭角であり、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、
上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、
上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少している。
また、上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する上記第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられているので、上記圧電基板における上記一方向の長さ(つまり、上記圧電基板の上記両端面の間の長さ)を、上記個別インク溝の上記一方向の長さのみの長さとすることができる。このように、上記圧電基板を小型にできて、上記圧電基板の高価な材料を抑えて、コストダウンを図ることができる。
また、上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられているので、上記隔壁における上記段差部を形成した部分は、駆動電圧を印加しても、せん断変形が小さいため、上記個別インク溝内面の上記第1の電極部の断線を抑制することができる。
したがって、インクジェットヘッド内においてインクの循環が円滑に行なわれ、インクジェットヘッドチップの小型化を図ることができると共に、電気的に長期信頼性を得ることができる。
また、上記段差部の底面と、上記ノズルプレートにおける上記隔壁側の一面との成す角度は、鋭角であるので、供給されるインクに気泡が混入していた場合に、インクの流れによって、段差部で気泡を押しつぶして個別インク室に流すことができて、段差部に気泡が残留することがない。この、気泡の残留は、不吐出や、個別インク室により発生した圧力波を減衰させるため、吐出特性の低下を招くが、気泡の排出性を高めることで、吐出特性を向上できる。
また、上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられているので、電極の断線の抑制と気泡の排出性の向上の効果を維持し、かつ、製作工程を簡易化することができる。
また、上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少しているので、インクの供給側の段差部で押しつぶされた気泡は、個別インク溝を通過して排出側の共通インク溝に排出される。そして、排出側の共通インク溝に排出された気泡を、インクジェットヘッド外部へ容易に排出することができる。
一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記隔壁における上記段差部の形成により切り欠かれた空間と、上記隔壁が延在する上記一方向に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記圧電基板の端面に向かって、増大しており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、
上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、
上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少している。
また、上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する上記第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられているので、上記圧電基板における上記一方向の長さ(つまり、上記圧電基板の上記両端面の間の長さ)を、上記個別インク溝の上記一方向の長さのみの長さとすることができる。このように、上記圧電基板を小型にできて、上記圧電基板の高価な材料を抑えて、コストダウンを図ることができる。
また、上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられているので、上記隔壁における上記段差部を形成した部分は、駆動電圧を印加しても、せん断変形が小さいため、上記個別インク溝内面の上記第1の電極部の断線を抑制することができる。
したがって、インクジェットヘッド内においてインクの循環が円滑に行なわれ、インクジェットヘッドチップの小型化を図ることができると共に、電気的に長期信頼性を得ることができる。
また、上記隔壁における上記段差部の形成により切り欠かれた空間と、上記隔壁が延在する上記一方向に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記圧電基板の端面に向かって、増大しているので、供給されるインクに気泡が混入していた場合に、インクの流れによって、段差部で気泡を押しつぶして個別インク室に流すことができて、段差部に気泡が残留することがない。この、気泡の残留は、不吐出や、個別インク室により発生した圧力波を減衰させるため、吐出特性の低下を招くが、気泡の排出性を高めることで、吐出特性を向上できる。
また、上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられているので、電極の断線の抑制と気泡の排出性の向上の効果を維持し、かつ、製作工程を簡易化することができる。
また、上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少しているので、インクの供給側の段差部で押しつぶされた気泡は、個別インク溝を通過して排出側の共通インク溝に排出される。そして、排出側の共通インク溝に排出された気泡を、インクジェットヘッド外部へ容易に排出することができる。
一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記段差部は、隣り合う上記個別インク溝の間に位置する上記隔壁にのみ、設けられている。
また、上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する上記第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられているので、上記圧電基板における上記一方向の長さ(つまり、上記圧電基板の上記両端面の間の長さ)を、上記個別インク溝の上記一方向の長さのみの長さとすることができる。このように、上記圧電基板を小型にできて、上記圧電基板の高価な材料を抑えて、コストダウンを図ることができる。
また、上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられているので、上記隔壁における上記段差部を形成した部分は、駆動電圧を印加しても、せん断変形が小さいため、上記個別インク溝内面の上記第1の電極部の断線を抑制することができる。
したがって、インクジェットヘッド内においてインクの循環が円滑に行なわれ、インクジェットヘッドチップの小型化を図ることができると共に、電気的に長期信頼性を得ることができる。
また、上記段差部は、隣り合う上記個別インク溝の間に位置する上記隔壁にのみ、設けられているので、上記複数の隔壁の配列方向の最端にある隔壁には、上記段差部がない。このため、混入した気泡は、上記最端の隔壁に、残存しない。
圧電基板に、一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を形成して、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する個別インク溝形成工程と、
上記圧電基板の上記個別インク溝の内面に第1の電極部としての導電膜を形成すると共に、上記圧電基板における上記個別インク溝の両端が開口する両端面のうちの少なくとも一方の端面に、導電膜を形成する導電膜形成工程と、
上記隔壁の上面に、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高い位置に、段差部を形成する段差部形成工程と、
上記圧電基板の上記少なくとも一方の端面に形成された導電膜を、上記各個別インク溝に対応するように分離して、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部とする分離工程と、
ホルダ部に上記圧電基板を取り付けて、上記複数の個別インク溝の一端に連通する第1共通インク溝および上記複数の個別インク溝の他端に連通する第2共通インク溝を、上記ホルダ部に形成する取付工程と
を備えることを特徴としている。
図1は、この発明のインクジェットヘッドの第1実施形態である斜視図を示している。図2は、図1におけるA−A’断面図を示す。図3は、インクジェットヘッドのノズルプレートを外した状態を示す。図1〜図3に示すように、このインクジェットヘッド100は、圧電基板1とノズルプレート2とホルダ部3とを備える。
図15Aおよび図15Bは、この発明のインクジェットヘッドの第2実施形態を示している。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第2実施形態では、段差部を形成する位置が相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第3実施形態を説明する。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第3実施形態では、段差部形成工程が相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第4実施形態を説明する。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第4実施形態では、段差部形成工程が相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第5実施形態を説明する。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第5実施形態では、段差部の深さが相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
図16Aおよび図16Bは、この発明のインクジェットヘッドの第6実施形態を示している。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第6実施形態では、圧電基板の四隅に段差部がない点が相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第7実施形態を説明する。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第7実施形態では、圧電基板の加工工程が相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第8実施形態を説明する。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第8実施形態では、導電膜形成工程で成膜した導電膜の厚さが相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
図17Aおよび図17Bは、この発明のインクジェットヘッドの第9実施形態を示している。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第9実施形態では、段差部の形状が相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
図18および図19は、この発明のインクジェットヘッドの第10実施形態を示している。上記第1実施形態と相違する点を説明すると、この第10実施形態では、圧電基板およびホルダ部の構成が相違する。なお、その他の構造は、上記第1実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第11実施形態を説明する。上記第10実施形態と相違する点を説明すると、この第11実施形態では、段差部形成工程が相違する。なお、その他の構造は、上記第10実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第12実施形態を説明する。上記第10実施形態と相違する点を説明すると、この第12実施形態では、段差部を形成する方法が相違する。なお、その他の構造は、上記第10実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
次に、この発明のインクジェットヘッドの第13実施形態を説明する。上記第10実施形態と相違する点を説明すると、この第13実施形態では、ホルダ部の構成が相違する。なお、その他の構造は、上記第10実施形態と同じであるため、その説明を省略する。
1a 上部圧電部
1b 下部圧電部
1c 接着部
2 ノズルプレート
3、3A、3B ホルダ部
3a 第1部材
3b 第2部材
4 フレキシブルケーブル
5a 第1配管
5b 第2配管
6 個別インク溝
6a 個別インク室
7 第1の電極部
8 ノズル孔
9 第2の電極部
11 第1共通インク溝
11a 第1共通インク室
12 分離溝
13a 第1流路口
13b 第2流路口
16 凹部
17 接着剤
19、19A〜19D 段差部
20 隔壁
20a 段差部の底面
21 第2共通インク溝
21a 第2共通インク室
22 封止部材
23 気泡
25A〜25F ダイシングブレード
100 インクジェットヘッド
Claims (13)
- 一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記段差部の深さは、上記圧電基板の端面に向かって、増大しており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、
上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、
上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少していることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記段差部の底面と、上記ノズルプレートにおける上記隔壁側の一面との成す角度は、鋭角であり、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、
上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、
上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少していることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記隔壁における上記段差部の形成により切り欠かれた空間と、上記隔壁が延在する上記一方向に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記圧電基板の端面に向かって、増大しており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝にインクの供給を行う側の共通インク溝に面する上記圧電基板の端面に、上記段差部が、設けられており、
上記第1共通インク溝または上記第2共通インク溝のうちの上記個別インク溝からインクの排出を行う側の共通インク溝に、インク排出用の流路口が設けられ、
上記流路口は、上記排出を行う側の共通インク溝において、上記ノズルプレートから最も離れた位置にあり、
上記排出を行う側の共通インク溝の空間と、上記流路口の中心軸に対して直交する仮想平面とが、交差する面積は、上記流路口に向かって、連続的に減少していることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から3の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記段差部の底面に、上記第2の電極部が、設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を有すると共に、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する圧電基板と、
この圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第1共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第2共通インク溝を有するホルダ部と、
上記隔壁の上面に接触して上記複数の個別インク溝を上側から覆うように配置され、上記個別インク溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記個別インク溝の両端は、上記圧電基板の両端面に開口し、上記個別インク溝の内面には、第1の電極部が設けられ、
上記圧電基板の上記両端面のうちの少なくとも一方の端面には、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部が、上記各個別インク溝に対応するように、設けられ、
上記隔壁は、互いに異なる分極方向をもつ上部圧電部および下部圧電部を積層して、形成され、
上記隔壁の上面には、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高くに位置すると共に上記ノズルプレートから離隔する段差部が設けられており、
上記段差部は、隣り合う上記個別インク溝の間に位置する上記隔壁にのみ、設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から5の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記段差部は、上記圧電基板における上記第2の電極部が設けられた端面に、設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から5の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記段差部は、上記圧電基板の上記両端面のそれぞれに、設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項7に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記第2の電極部は、上記圧電基板の上記両端面のそれぞれに、設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から5の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記段差部および上記第2の電極部は、上記圧電基板の一方の端面に、設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から9の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
一つの上記隔壁に設けられた全ての上記段差部の上記一方向における長さは、この一つの隔壁の上記一方向における長さの1%以上であることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から10の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記段差部における上記上面から最も深い部分の深さは、少なくとも20μm以上であることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から11の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記隔壁における上記段差部の深さ方向に対応する全領域には、上記上部圧電部および上記下部圧電部が存在することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 圧電基板に、一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配列された複数の隔壁を形成して、この隣り合う隔壁の間に両端が開口する個別インク溝を形成する個別インク溝形成工程と、
上記圧電基板の上記個別インク溝の内面に第1の電極部としての導電膜を形成すると共に、上記圧電基板における上記個別インク溝の両端が開口する両端面のうちの少なくとも一方の端面に、導電膜を形成する導電膜形成工程と、
上記隔壁の上面に、この上面よりも低くかつ上記個別インク溝の底面よりも高い位置に、段差部を形成する段差部形成工程と、
上記圧電基板の上記少なくとも一方の端面に形成された導電膜を、上記各個別インク溝に対応するように分離して、上記第1の電極部に電気的に接続する第2の電極部とする分離工程と、
ホルダ部に上記圧電基板を取り付けて、上記複数の個別インク溝の一端に連通する第1共通インク溝および上記複数の個別インク溝の他端に連通する第2共通インク溝を、上記ホルダ部に形成する取付工程と
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020698A JP4934603B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020698A JP4934603B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009178959A JP2009178959A (ja) | 2009-08-13 |
JP4934603B2 true JP4934603B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=41033303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008020698A Expired - Fee Related JP4934603B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4934603B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5364084B2 (ja) | 2010-03-16 | 2013-12-11 | パナソニック株式会社 | インクジェット装置 |
JP2011207172A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Sharp Corp | インクジェットヘッド |
JP5427730B2 (ja) * | 2010-08-19 | 2014-02-26 | 東芝テック株式会社 | インクジェットプリントヘッド及びインクジェットプリントヘッド製造方法 |
JP2015168177A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2015217624A (ja) * | 2014-05-19 | 2015-12-07 | 株式会社東芝 | インクジェットヘッド |
JP2016055555A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置 |
JP6942462B2 (ja) * | 2016-01-08 | 2021-09-29 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置 |
JP6155370B2 (ja) * | 2016-07-13 | 2017-06-28 | 株式会社東芝 | インクジェットヘッド |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL148024A (en) * | 1999-08-14 | 2005-07-25 | Xaar Technology Ltd | Component and method for use in a droplet deposition apparatus |
JP2002137384A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-14 | Kyocera Corp | インクジェット記録ヘッド |
JP2002210989A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-07-31 | Sharp Corp | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP4573826B2 (ja) * | 2002-08-23 | 2010-11-04 | シャープ株式会社 | インクジェットヘッド |
-
2008
- 2008-01-31 JP JP2008020698A patent/JP4934603B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009178959A (ja) | 2009-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4934603B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP4286302B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
EP3202576B1 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and manufacturing method of liquid ejecting apparatus | |
JP4900486B2 (ja) | インクジェットヘッド及び静電吸引型インクジェットヘッド | |
US10471716B2 (en) | Liquid ejecting head chip, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus | |
WO2010029974A1 (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド装置 | |
US9193163B2 (en) | Liquid discharge apparatus and manufacturing method thereof | |
JP4370349B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP2010284908A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP2013111974A (ja) | 圧電アクチュエータ、インクジェットヘッドアセンブリ及びその製造方法 | |
JP2011207172A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2011167846A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP3596865B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP2008284739A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP2011224979A (ja) | インクジェットヘッドアセンブリー及びその製造方法 | |
JP2005254616A (ja) | 液体噴射ヘッドおよびこれを備えた液体噴射装置 | |
JP2010194801A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2009096041A (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド装置 | |
JP2010284811A (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP3838094B2 (ja) | シェヤーモードインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2004160947A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
US9873251B2 (en) | Method of manufacturing flow path member, flow path member, and liquid ejecting head | |
JP2009107213A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP6157130B2 (ja) | 液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法、金属配線の製造方法およびカラーフィルターの製造方法 | |
JP2007301803A (ja) | 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111101 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |