JP2010194801A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】インク流路口の数を増やすことなく、流路抵抗の差を低減し、ノズル孔の数が増えても各ノズル孔からのインク滴の飛翔速度および体積のばらつきを低減するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクが供給される第１の共通インク溝１１において、この第１の共通インク溝１１に設けられた第１の流路口１３ａと、この第１の流路口１３ａに最も近い位置にある個別インク溝６の開口部１６との間に、インク流れを邪魔する突起部１８が設けられている。
【選択図】図２

Description

この発明は、例えば、プリンタなどに用いられるインクジェットヘッドに関する。

一般に、インクジェットヘッドは、ノズル面に形成された複数のノズル孔から塗布対象物に対して微小なインク滴を吐出するデバイスである。インクジェットヘッドは、民生用として用紙等に画像形成を行うインクジェットプリンタに用いられるだけでなく、インクとして導電材料を吐出させることによって配線を描画したり、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色のインクを吐出させることによってカラーフィルタを作製したり、熱硬化性または紫外線（ＵＶ）硬化性のインクを吐出させることによって、マイクロレンズやスペーサなどのような３次元構造物を作製したり、といった産業用途にも用いられている。

産業用途においては特に、高精細化や処理時間の短縮のために、１つのインクジェットヘッドに多数のノズル孔を形成させるという要求がある。一方で、インク滴の着弾位置や塗布量を精密にコントロールするために、それぞれのノズル孔から吐出されるインク滴の飛翔速度や体積のばらつきを低く抑える必要がある。

ノズル孔ごとの吐出インク滴の飛翔速度や体積がばらつく要因としては、ノズル孔そのものの形状ばらつきのほかに、インク供給口から共通インク室、圧電基板に形成された溝を介して各ノズル孔に至るまでの流路抵抗のばらつきが挙げられる。インク供給口との距離が短いノズル孔では流路抵抗が小さいためインクを引き込みやすく、逆にインク供給口との距離が長いノズル孔ではインクを引き込みにくい。このように流路抵抗に差があると、インク供給能力のばらつきが生じ、吐出インク滴の飛翔速度や体積がばらつくことになる。

ノズル孔の数が増えるほど、インク供給口とノズル孔との距離の差は大きくなり、流路抵抗の差が大きくなるので、吐出インク滴の飛翔速度や体積のばらつきは大きくなってしまう。

流路抵抗の差を小さくする構成として、特開平９−２６２９８０号公報（特許文献１）に記載されたインクジェットヘッドがある。これによると、共通インク室を複数に分割し、それぞれにインク供給口を配設することで、流路抵抗の差を小さくする構成となるようにしている。

特開平９−２６２９８０号公報

しかしながら、上記従来のインクジェットヘッドでは、インク流路口が増えると、繋ぎこむ流路、配管の数が増えるため、インクジェットヘッド内の流路や、インクジェットヘッドを搭載する装置の配管が複雑化するという問題があった。

また、流路の接続箇所が増えるため、インクリークの可能性が増し、インクジェットヘッドやインクジェットヘッドを搭載する装置の信頼性を低下させるという問題があった。

そこで、この発明の課題は、インク流路口の数を増やすことなく、流路抵抗の差を低減し、ノズル孔の数が増えても各ノズル孔からのインク滴の飛翔速度および体積のばらつきを低減するインクジェットヘッドを提供することにある。

上記課題を解決するため、この発明のインクジェットヘッドは、
Ｘ方向に延在しＸ方向の両端が開口すると共にＸ方向に交差するＹ方向に互いに間隔をあけて配列された複数の個別インク溝を有する圧電基板と、
上記圧電基板の複数の個別インク溝を覆うように配置されると共に、上記個別インク溝に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
上記圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝のＸ方向一端側の開口部に連通する第１の共通インク溝、および、上記複数の個別インク溝のＸ方向他端側の開口部に連通する第２の共通インク溝を有する本体部と
を備え、
上記本体部は、上記第１の共通インク溝に設けられた第１の流路口、および、上記第２の共通インク溝に設けられた第２の流路口を有し、
上記第１の共通インク溝および上記第２の共通インク溝のうちの少なくともインクが供給される共通インク溝において、この共通インク溝に設けられた流路口と、この流路口に最も近い位置にある個別インク溝の開口部との間に、インク流れを邪魔する突起部が設けられていることを特徴としている。

この発明のインクジェットヘッドによれば、インクが供給される共通インク溝において、この共通インク溝に設けられた流路口と、この流路口に最も近い位置にある個別インク溝の開口部との間に、インク流れを邪魔する突起部が設けられているので、上記流路口と上記個別インク溝との距離が最も短く流路抵抗の小さい流路上に、上記突起部を配設することで、流路抵抗を大きくし、上記流路口と全ての個別インク溝との間を結ぶ流路における流路抵抗の差を小さくすることができる。このため、ノズル孔ごとの飛翔インク滴の飛翔速度や体積のばらつきを低減することができる。

また、インクを個別インク溝に供給するための共通インク溝や流路口を一つにできるので、繋ぎこむ配管などの流路構成が簡素になる。また、流路の接続箇所を減らせるので、インクリークの可能性を低減できる。

したがって、ノズル孔の数が増えても各ノズル孔からのインク滴の飛翔速度および体積のばらつきを低減し、簡素で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。

また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記突起部は、上記流路口と複数の上記個別インク溝との間を結ぶ流路に交差するように配設され、
上記突起部は、上記流路口と上記個別インク溝との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する部分におけるＸ方向およびＹ方向に直交するＺ方向の高さが高くなるように、形成されている。

この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記突起部は、上記流路口と上記個別インク溝との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する部分の高さが高くなるように、形成されているので、流路口からそれぞれの個別インク溝への流路抵抗の差をさらに小さくすることができる。このため、ノズル孔ごとの飛翔インク滴の飛翔速度や体積のばらつきをさらに低減することができる。

また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記突起部は、Ｙ方向に沿って、互いに間隔をあけて複数存在し、
この複数の突起部は、上記流路口と上記個別インク溝との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する上記突起部におけるＸ方向およびＹ方向に直交するＺ方向の高さが高くなるように、形成されている。

この実施形態のインクジェットヘッドによれば、この複数の突起部は、上記流路口と上記個別インク溝との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する上記突起部におけるＸ方向およびＹ方向に直交するＺ方向の高さが高くなるように、形成されているので、流路口からそれぞれの個別インク溝への流路抵抗の差をさらに小さくすることができる。このため、ノズル孔ごとの飛翔インク滴の飛翔速度や体積のばらつきをさらに低減することができる。

また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記突起部は、上記第１の共通インク溝および上記第２の共通インク溝の両方に、設けられている。

この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記突起部は、上記第１の共通インク溝および上記第２の共通インク溝の両方に、設けられているので、インク流動の向きが逆になっても、複数の個別インク溝を流れるインク流路に対する流路抵抗のばらつきを低減できて、複数のノズル孔についてインク流動による効果を均一にすることができ、また、インク流動を長期間にわたって行うことができる。

つまり、供給タンクから共通インク溝や個別インク溝を経由して廃液タンクへインクを流し続けることで、ノズル孔の直近のインクを常に流動させることができ、微粒子を含むインクでの微粒子の沈降、浮上を防止し、圧電基板の駆動によるインクの温度上昇を防止することができる。この場合、２つのタンクに供給タンク、廃液タンクといった役割を決めず、インクを流す方向を定期的に変更することで、供給タンクにインクを補充することなく長期間にわたってインク流動を行うことができる。

また、廃液タンクから供給タンクへ直接インクを戻す流路を、インクジェットヘッドを搭載する装置に設置することでも、インク流動を長期間行うことができるが、この実施形態によれば、そのような流路を設置することの必要がなく、装置を簡素化することができる。

また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記突起部の少なくとも一部は、上記ノズルプレートに取り付けられている。

この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記突起部の少なくとも一部は、上記ノズルプレートに取り付けられているので、ノズルプレートのたわみを小さくすることができ、ノズルプレートの剥がれにくい、良好なクリーニングを行えるインクジェットヘッドを提供することができる。

つまり、共通インク溝は、複数の個別インク溝に連通されているので、ノズル孔の数が増えるほど、共通インク室が大きくなる。ノズルプレートが本体部とともに共通インク室の一部を形成している場合、ノズルプレートが接着されていない部分が広くなる。そして、突起部がノズルプレートに取り付けられていないと、インク加圧やノズル孔からのインク吸引時にノズルプレートが大きくたわみ剥がれる可能性が大きくなると共に、ワイプブレードによるノズルプレートのクリーニング時に、ワイプブレードの当接圧によりノズルプレートが大きくたわむため、適正な当接圧を維持することが困難となり、良好なクリーニングを行うことができない。

また、この実施形態では、ノズルプレートのたわみを小さくできるので、厚さが薄く、剛性の低いノズルプレートを使用することができる。ノズルプレートが薄いほど、ノズル孔の加工に要する時間を短くでき、ノズル孔の真円度などの形状精度が向上するため、作製時間が短く、安定したインク吐出の行えるインクジェットヘッドを提供することができる。

この発明のインクジェットヘッドによれば、インクが供給される共通インク溝において、この共通インク溝に設けられた流路口と、この流路口に最も近い位置にある個別インク溝の開口部との間に、インク流れを邪魔する突起部が設けられているので、ノズル孔の数が増えても各ノズル孔からのインク滴の飛翔速度および体積のばらつきを低減し、簡素で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。

個別インク溝を形成した圧電基板の斜視図である。 導電膜形成工程後の圧電基板の斜視図である。 除去工程後の圧電基板の斜視図である。 分離工程後の圧電基板の斜視図である。 個別インク溝が開口する圧電基板側面の拡大図である。 導電部材接着後の圧電基板の斜視図である。 第１の部材を取り付けた圧電基板の斜視図である。 第２の部材を取り付けた圧電基板の斜視図である。 本発明のインクジェットヘッドの第１実施形態を示す斜視図である。 図１ＩのＡ−Ａ断面図である。 インクジェットヘッドをノズルプレート側からみた平面図である。 他の形態の突起部を示す平面図である。 他の形態の突起部を示す平面図である。 他の形態の突起部を示す平面図である。 別の形態の突起部を示す断面図である。 別の形態の突起部を示す断面図である。 別の形態の突起部を示す断面図である。 別の形態の突起部を示す断面図である。 別の形態の突起部を示す断面図である。 別の形態の突起部を示す断面図である。 別の形態の突起部を示す断面図である。 他の形態のインクジェットヘッドをノズルプレート側からみた平面図である。 本発明のインクジェットヘッドの第２実施形態を示す断面図である。 インクジェットヘッドをノズルプレート側からみた平面図である。 従来のインクジェットヘッドにおいて、インク加圧を行っている際の状態を示す断面図である。 本発明のインクジェットヘッドにおいて、インク加圧を行っている際の状態を示す断面図である。 従来のインクジェットヘッドにおいて、ノズル吸引を行っている際の状態を示す断面図である。 本発明のインクジェットヘッドにおいて、ノズル吸引を行っている際の状態を示す断面図である。 従来のインクジェットヘッドにおいて、ワイプブレードを用いて、共通インク室を形成する部分のノズルプレートをクリーニングしている状態を示す断面図である。 従来のインクジェットヘッドにおいて、ワイプブレードを用いて、圧電基板に接着された部分のノズルプレートをクリーニングしている状態を示す断面図である。 本発明のインクジェットヘッドにおいて、ワイプブレードを用いて、共通インク室を形成する部分のノズルプレートをクリーニングしている状態を示す断面図である。 本発明のインクジェットヘッドにおいて、ワイプブレードを用いて、圧電基板に接着された部分のノズルプレートをクリーニングしている状態を示す断面図である。

以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。

（第１の実施形態）
本発明のインクジェットヘッドの製造方法について説明する。まず、図１Ａに示すように、アクチュエータ部材である圧電基板１にダイシングブレードを複数回一定方向に走査して複数の個別インク溝６を形成する溝形成工程を行う。

個別インク溝６は、Ｘ方向に延在しＸ方向の両端が開口する。個別インク溝６は、Ｘ方向の両端に、開口部１６を有する。複数の個別インク溝６は、Ｙ方向に互いに間隔をあけて配列されている。ここで、Ｙ方向は、Ｘ方向に交差し、Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する。

個別インク溝６は、後に、ノズルプレート２で覆うことにより、インクに圧力を伝達してインクを吐出するための圧力発生室（個別インク室６ａ）となる。

本実施の形態では、圧電基板１の大きさは５ｍｍ×５０ｍｍであり厚さは２ｍｍのものを使用した。個別インク溝６の深さはおよそ３００μｍ、幅は１００μｍとし、個別インク溝６のピッチは２００μｍで溝の数は２００本とした。ただし、全ての図において、図の簡略化のため個別インク溝６の数、深さ等は正確に図示してはいない。溝の幅は、使用するダイシングブレードの厚みで変えることができ、溝の深さは、ダイシングブレードの切り込み量を変えることにより変更することができる。

また、圧電基板１には個別インク溝６の深さ方向における略中央にて分極方向が相反する２枚の圧電材料があらかじめ接着剤で貼りあわされている。本実施形態では２ｍｍの圧電基板１では、０．１５ｍｍの薄板と１．８５ｍｍの厚板が貼りあわされている。この構成は外部より電圧を印加した際に、個別インク溝６の薄板部分と厚板部分とが反対方向に変形することにより、個別インク溝６とノズルプレート２とで囲まれた領域である圧力発生室（個別インク室６ａ）の容積を変えることによってインクを吐出するために必要である。

続いて、図１Ｂに示すように、圧電基板１の個別インク溝６の内壁に電極７となる導電膜を形成するための、且つ圧電基板１の側面に電極引き出し部９となる導電膜を形成するための導電膜形成工程を行う。斜線部が導電膜を形成した部分である。本実施の形態では銅をスパッタ法により成膜した。このとき成膜した銅の個別インク溝６の内壁における膜厚はもっとも薄い部分で０．５μｍとなるようにした。

本実施形態におけるスパッタ法による導電膜形成工程では、圧電基板１の個別インク溝６を形成した面の裏側の面を除く全面に導電膜が形成されるため目的以外の部分にも導電膜が形成される。このとき圧電基板１の個別インク溝６が開口する側面に成膜された銅の厚みは１μmであった。個別インク溝６の内壁に成膜された銅の膜厚と、個別インク溝６が開口する圧電基板１の側面に成膜された銅の膜厚が異なるのは形状による銅のつきまわりの差によるものである。

続いて、導電膜形成工程で形成された、圧電基板１の個別インク溝６を形成した面における不要な導電膜を除去するための除去工程を行う。図１Ｃに示すように、この除去工程は、例えば圧電基板１の上部表面をダイシングブレードで複数回走査することで行うことができる。このとき、圧電基板１の個別インク溝６形成面において隣接する個別インク溝６同士が確実に絶縁するように、ダイシングブレードにより圧電基板１の表面もわずかに研削することが好ましい。除去工程後の圧電基板１には、個別インク溝６の内壁に形成された電極７と、圧電基板１の側面とに導電膜が形成されている。

次に、図１Ｄと図１Ｅに示すように、圧電基板１の側面に形成されている導電膜に対してダイシングブレードを複数回一定方向に走査して分離溝１０を形成する分離工程を行う。この分離工程により、個別インク溝６にそれぞれ対応した電極引き出し部９を形成する。

個別インク溝６の内壁に形成された電極７と電極引き出し部９とは、個別インク溝６が開口する圧電基板１の側面において電気的に接続されている。本実施の形態では、分離溝１０の深さは１０μｍ、幅は５０μｍとして個別インク溝６が開口する圧電基板１の側面にそれぞれ分離工程を行った。また分離溝１０を形成した部分は、個別インク溝６の間であり、隣接する個別インク溝６の間で電気的に導通することがない位置としている。

このような分離工程を、個別インク溝６が開口する圧電基板１の側面の両側に行った。両側に分離工程を行うことにより、圧電基板１は対称形となるため後工程において方向を間違うことはない。また片側の電極引き出し部９に損傷があった場合には反対側の電極引き出し部９を使用することができるため歩留まりを向上することができる。

その後、図１Ｆに示すように、圧電基板１の電極引き出し部９に導電部材を接続する。本実施の形態では導電部材としてフレキシブルケーブル４を用い、電極引き出し部９との接続はＡＣＦ接続を用いた。フレキシブルケーブル４の他方の端部はインクを吐出するために、直接または他部材を介して外部電圧印加機構と接続される。本実施形態において、導電部材としてフレキシブルケーブルを使用するのは、フレキシブルケーブルは変形が容易であるため後工程においてプロセス上使用しやすく歩留まりの低下を抑制できるからであるが、必ずしもフレキシブルケーブルである必要はない。

次に、図１Ｇに示すように、第１の部材３ａに、圧電基板１を取り付ける。圧電基板１と第１の部材３ａとを接着する接着剤として、粘度４０００ｃＰ程度のエポキシ接着剤を使用し、第１の部材３ａと圧電基板１との接着面に接着剤を塗布して圧電基板１に押し当てた。全ての図において簡略化のため接着剤は省略しており記載していない。

続いて、図１Ｈに示すように、第１の部材３ａに、第２の部材３ｂを取り付ける。第１の部材３ａと第２の部材３ｂとの接着面に同じく接着剤を塗布して、第１の部材３ａに第２の部材３ｂを押し当てた。この状態を室温にて２４時間保持して接着した。

二つの第１の部材３ａおよび第２の部材３ｂにて、本体部３を構成する。第１の部材３ａは、複数の個別インク溝６のＸ方向一端側の開口部に連通する第１の共通インク溝１１を有する。第２の部材３ｂは、複数の個別インク溝６のＸ方向他端側の開口部に連通する第２の共通インク溝１２を有する。

第２の部材３ｂは、フレキシブルケーブル４と電極引き出し部９との接続部分がインクに曝されないように覆っている。フレキシブルケーブル４と電極引き出し部９との接続部は、第２の共通インク溝１２の外側に位置する。したがって、導電性インクを使用する際に、導電性インクと、フレキシブルケーブル４と電極引き出し部９との接続部とが接していないため、電気的に短絡することがない。

また、本実施例にあるように本体部３を複数の部材より構成することによって、フレキシブルケーブル４を覆う部分など、接着剤を封止しづらい場所に予め接着剤を塗布して接着することで、封止が不十分になることを防止することができる。この点より、本体部３は複数の部材から形成することが好ましい。

第１の部材３ａには、第１の流路口１３ａを通って、第１の流路部５ａが接続され、第２の部材３ｂには、第２の流路口１３ｂを通って、第２の流路部５ｂが接続されている。第１の流路部５ａと第２の流路部５ｂは、インク、気泡が滞ることなく効率よく流れるように、折れ線部や段差、平面部などが極力少ない形状が好ましい。本実施形態においてはフィルターなどの次に連通する部材まで直線状となっており、かつドリルなどで加工がしやすいよう円柱形状となっている。

本実施の形態では、インクジェットヘッドの内部にてインクの流れを形成するため、またインクジェットヘッドの内部にダストを含まないインクを供給するため、第１の流路部５ａはフィルター１４を介してインクを供給するための供給タンク（図示しない）に接続し、第２の流路部５ｂはインクを排出するために用いられるため廃液タンク(図示しない)に接続される。

インクジェットヘッド内部にダストが混入した場合、ノズルプレート２のノズル孔にダストが詰まり不吐出が発生するため、フィルターをつけることが好ましい。第１の流路口１３ａを供給側とし、第２の流路口１３ｂを排出側とすることで、フィルターは供給側だけで十分である。インクジェットヘッド供給側の第１の流路口１３ａの直前にフィルター１４を持つことで、流路に付着したダストがインクジェットヘッド内部に混入することを防止することができる。

第１の部材３ａおよび第２の部材３ｂには、あらかじめ第１の流路部５ａや第２の流路部５ｂを接続しておいてもよいし、圧電基板１と第１の部材３ａおよび第２の部材３ｂとを接着してから第１の流路部５ａおよび第２の流路部５ｂを接続してもよい。また、第１、第２の流路部５ａ、５ｂは本体部３の中に形成してもよい。同様に、第１の流路部５ａもしくは第２の流路部５ｂと、供給タンクまたは廃液タンクとはあらかじめ接続されていてもよいし、後に接続されてもよい。

また、圧電基板１と第１の部材３ａとを直接接着せずに、例えば圧電基板１を別部材に接着し、その別部材と第１の部材３ａとを接着してもよい。つまり圧電基板１と第１の部材３ａとが固定されていればよい。さらに本実施の形態では二つの部材からなる本体部３を使用したが、二つの部材である必要はなく、一体型でもよいし、３種類以上のパーツから形成されていてもよい。

また、本体部３と圧電基板１が接着剤で固定されていることより、その二つの部材が異なった素材を用いた場合、熱膨張係数の差によって部材の破壊やリークが発生する虞がある。そのため熱膨張係数の近い素材、もしくは同一部材で構成することが好ましい。サンドブラスト加工法を用いることで、同一部材である圧電基板１で共通インク室を形成することができる。

また、コストを考慮した場合、本体部３は金属や樹脂などを加工、成型することで作製するのが好ましい。しかしながら、異素材を接着させて構成する場合は熱膨張係数の差によって、部材の破壊やリーク発生等の問題が発生する虞があるため、熱膨張係数の差を吸収できるよう、弾性接着剤を用いることが好ましい。そのことによって、温度変化信頼性が高く、かつ無駄なコストを削減したインクジェットヘッドを提供することができる。本実施例では硬度パラメータがショアＤ５０の接着剤を使用した。軟らかさ、形状信頼性の観点よりショアＤが２０〜６０程度のものが好ましい。

また、本実施の形態では、先にフレキシブルケーブル４を接続したが、圧電基板１に第１の部材３ａを接着して後にフレキシブルケーブル４を接続してもよい。

続いて、図１Ｉと図１Ｊに示すように、個別インク溝６を覆うようにノズルプレート２を接着してインクジェットヘッドが完成する。

ノズルプレート２は、厚み５０μｍのポリイミド製フィルムで、エキシマレーザーをマスクを通して照射し加工することで、直径３０μｍの複数のノズル孔８が個別インク溝６に対応する位置に形成されている。

ノズルプレート２と第１の部材３ａ（第１の共通インク溝１１）と圧電基板１に囲まれた領域は、第１の共通インク室１１ａであり、ノズルプレート２と第２の部材３ｂ（第２の共通インク溝１２）と圧電基板１に囲まれた領域は、第２の共通インク室１２ａである。

本実施の形態では、圧電基板１と第１の部材３ａおよび第２の部材３ｂとの接着面に粘度が４０００ｃＰ程度のエポキシ接着剤を塗布した後、ノズルプレート２を押し当てて室温で２４時間保持して接着した。

ノズルプレート２に形成されている複数のノズル孔８は、圧電基板１に形成された個別インク溝６と連通するように位置あわせを行い、ノズル孔８からインクを吐出することができる構成となっている。

また、インクのリークを防ぎ、共通インク室１１ａ，１２ａを形成するために、ノズルプレート２は、圧電基板１と本体部３との間の開放された空間を密閉する大きさである必要がある。ノズル孔８の位置は、圧電基板１の個別インク溝６の長手方向における中心位置となるように接着されており、これはノズル孔８が個別インク溝６の長手方向における中心に位置したときが、外部電圧印加機構により電圧を印加した際の圧力波の伝搬効率が最良で、低い吐出電圧でインクを吐出できるからである。

第１、第２の部材３ａ、３ｂにおけるノズルプレート２の接着面側端部は、圧電基板１の隔壁におけるノズルプレート２の接着面側端部より突出していない必要がある。これは、本体部３の端部と隔壁の端部とが、同時にノズルプレート２を接着するため、もし、本体部３が突出していた場合、ノズルプレート２が本体部３によって持ち上げられる形となり、隔壁の端部に接着できない、つまり連通状態の領域が発生する。溝間に連通した領域があると、インクが行き来することで効率良くインクを吐出できず速度低下等の原因になるため、第１、第２の部材３ａ、３ｂにおけるノズルプレート２の接着面側端部は、圧電基板１の隔壁におけるノズルプレート２の接着面側端部より突出していない必要がある。

供給タンクから第１の流路部５ａを介して第１の共通インク室１１ａにインクが供給され、各個別インク溝６を通って第２の共通インク室１２ａに通じたインクが第２の流路部５ｂを介して廃液タンクへ流れる。一方インクの吐出は、外部からフレキシブルケーブル４を介して電極引き出し部９に電圧を印加し、印加された電圧は電極引き出し部９と導通している電極７に伝わる。電極７に印加された電圧により、圧電基板１の個別インク溝６の壁面が剪断変形し、個別インク溝６とノズルプレート２に囲まれた領域である個別インク室６ａ（圧力発生室）の容積を変形させるため押し出されたインクがノズル孔８から吐出される。

本実施の形態では、圧電基板１の個別インク溝６の長手方向における長さは個別インク室６ａの長さであるため、例えば個別インク室６ａの長さが５ｍｍの場合には、長手方向における圧電基板１の長さは５ｍｍあればよい。圧電基板１の溝が並ぶ溝列方向（Ｙ方向）における圧電基板１の大きさは溝の数、溝の幅、ピッチによって異なる。

インクジェットヘッド吐出においては、吐出対象であるガラス基板などを、重力を用いて重力方向に設置して、移動、位置決め等を行うことで固定する部材、コストを削減できるため、インクジェットヘッドは主に重力方向に吐出することが多いことが公知である。この実施形態では、インクを重力方向に吐出することが前提となっている。つまり、ノズル孔８が下側を向くように配置される。

図１Ｊに示すように、上述のように製造されたインクジェットヘッドは、圧電基板１、ノズルプレート２および本体部３を有する。

圧電基板１は、複数の個別インク溝６を有する。個別インク溝６は、Ｘ方向に延在しＸ方向の両端が開口する。複数の個別インク溝６は、Ｘ方向に交差するＹ方向に互いに間隔をあけて配列される。

ノズルプレート２は、圧電基板１の複数の個別インク溝６を覆うように配置される。ノズルプレート２は、個別インク溝６に連通する複数のノズル孔８を有する。

本体部３は、圧電基板１が取り付けられる。本体部３は、複数の個別インク溝６のＸ方向一端側の開口部に連通する第１の共通インク溝１１、および、複数の個別インク溝６のＸ方向他端側の開口部に連通する第２の共通インク溝１２を有する。

本体部３は、第１の共通インク溝１１に設けられた第１の流路口１３ａ、および、第２の共通インク溝１２に設けられた第２の流路口１３ｂを有する。

インクが供給される第１の共通インク溝１１において、この第１の共通インク溝１１に設けられた第１の流路口１３ａと、この第１の流路口１３ａに最も近い位置にある個別インク溝６の開口部１６との間に、インク流れを邪魔する突起部１８が設けられている。

次に、図２を用いて、インク吐出時のインクの流れを説明する。

図２は、インクジェットヘッドをノズルプレート側から見た図であり、ノズルプレートは図示していない。インクが吐出される際には、図示しない供給タンクと第１の流路口１３ａとの間の流路は開放され、図示しない廃液タンクと第２の流路口１３ｂとの間の流路は遮断され、インクは、供給タンクから第１の流路口１３ａを通じて、第１の共通インク室１１ａおよび個別インク溝６に供給され、図示しないノズル孔より吐出される。

ここで、矢印１７ａは、第１の流路口１３ａから第１の流路口１３аに最も近い個別インク溝６へのインク流路を示し、矢印１７ｂは、第１の流路口１３ａから最も遠い個別インク溝６へのインク流路を示している。また、矢印１７ａで示す流路にかかるように、第１の部材３ａに突起部１８が配設されている。この突起部１８は、図１Ｊで示すように、第１の流路口１３аから個別インク溝６へのインク流路を狭くしており、突起部１８が無い場合に比べて、矢印１７ａで示す流路の流路抵抗を増加させる。

一方、図２の矢印１７ｂで示した流路には、突起部１８が配設されていないが、流路が長い分、流路抵抗は大きい。

２つの流路（矢印１７ａ、１７ｂ）を比較すると、矢印１７ａの流路は、流路が短いため流路抵抗が小さいが、突起部１８があることにより流路抵抗が増し、結果として、流路抵抗の差が小さくなっている。

このように、インクが供給される第１の共通インク溝１１において、この第１の共通インク溝１１に設けられた第１の流路口１３ａと、この第１の流路口１３ａに最も近い位置にある個別インク溝６の開口部との間に、インク流れを邪魔する突起部１８が設けられているので、第１の流路口１３ａと個別インク溝６との距離が最も短く流路抵抗の小さい流路上に、突起部１８を配設することで、流路抵抗を大きくし、第１の流路口１３ａと全ての個別インク溝６との間を結ぶ流路における流路抵抗の差を小さくすることができる。このため、ノズル孔８ごとの飛翔インク滴の飛翔速度や体積のばらつきを低減することができる。

また、インクを個別インク溝６に供給するための第１の共通インク溝１１や第１の流路口１３ａを一つにできるので、繋ぎこむ配管などの流路構成が簡素になる。また、流路の接続箇所を減らせるので、インクリークの可能性を低減できる。

したがって、ノズル孔８の数が増えても各ノズル孔８からのインク滴の飛翔速度および体積のばらつきを低減し、簡素で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。

図２では、突起部１８の形状は、平面視、楕円形であるが、突起部の形状は、図３Ａ〜図３Ｃに示すような形状であってもよい。

図３Ａに示すように、突起部１８Ａの形状は、平面視、円形であってもよく、また、図３Ｂに示すように、突起部１８Ｂの形状は、平面視、三角形であってもよく、また、図３Ｃに示すように、突起部１８Ｃの形状は、平面視、菱形であってもよい。

図４Ａは、図１ＪのＢ−Ｂ断面図であり、突起部１８は、横断面、第１の流路口１３ａよりも大きな横長の矩形状であるが、突起部の形状や構成は、図４Ｂ〜図４Ｇに示すような形状であってもよい。

図４Ｂに示すように、突起部１８Ｄは、横断面、第１の流路口１３ａと同じ大きさの縦長の矩形状である。図４Ｃに示すように、突起部１８Ｅは、横断面、角部のない滑らかな形状である。

図４Ｄに示すように、突起部１８Ｆは、第１の流路口１３ａと複数の個別インク溝６との間を結ぶ流路に交差する（かかる）ように配設されている。突起部１８Ｆは、第１の流路口１３ａと個別インク溝６との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する部分におけるＺ方向の高さが高くなるように、形成されている。

つまり、突起部１８Ｆの高さは、複数の個別インク溝６が配列している方向であるＹ方向中央部が、最も高く、Ｙ方向端部側へ次第に低くなっている。突起部１８Ｆは、横断面、台形に形成されている。なお、突起部を、横断面、階段状に形成してもよい。

したがって、突起部１８Ｆは、第１の流路口１３ａと個別インク溝６との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する部分の高さが高くなるように、形成されているので、第１の流路口１３ａからそれぞれの個別インク溝６への流路抵抗の差をさらに小さくすることができる。このため、ノズル孔８ごとの飛翔インク滴の飛翔速度や体積のばらつきをさらに低減することができる。

図４Ｅに示すように、突起部１８Ｇは、Ｙ方向に沿って、互いに間隔をあけて複数存在する。この複数の突起部１８Ｇは、第１の流路口１３ａと個別インク溝６との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する突起部１８ＧにおけるＺ方向の高さが高くなるように、形成されている。

つまり、全ての突起部１８Ｇの幅は、互いに、同一である。全ての突起部１８Ｇの高さは、複数の個別インク溝６が配列している方向であるＹ方向中央部が、最も高く、Ｙ方向端部側へ次第に低くなっている。

したがって、この複数の突起部１８Ｇは、第１の流路口１３ａと個別インク溝６との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する突起部１８ＧにおけるＺ方向の高さが高くなるように、形成されているので、第１の流路口１３ａからそれぞれの個別インク溝６への流路抵抗の差をさらに小さくすることができる。このため、ノズル孔８ごとの飛翔インク滴の飛翔速度や体積のばらつきをさらに低減することができる。

図４Ｆに示すように、突起部１８Ｈは、Ｙ方向に沿って、互いに間隔をあけて複数存在する。この複数の突起部１８Ｈは、第１の流路口１３ａと個別インク溝６との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する突起部１８ＨにおけるＹ方向の幅が大きくなるように、形成されている。

つまり、全ての突起部１８Ｈの高さは、互いに、同一である。全ての突起部１８Ｈの幅は、複数の個別インク溝６が配列している方向であるＹ方向中央部が、最も大きく、Ｙ方向端部側へ次第に小さくなっている。

図４Ｇに示すように、突起部１８Ｉは、Ｙ方向に沿って、互いに間隔をあけて複数存在する。隣接する突起部１８Ｉの間隔は、第１の流路口１３ａと個別インク溝６との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差するＹ方向の間隔が小さくなるように、形成されている。

つまり、全ての突起部１８Ｉの高さおよび幅は、互いに、同一である。隣接する突起部１８Ｉの間隔は、複数の個別インク溝６が配列している方向であるＹ方向中央部が、最も小さく、Ｙ方向端部側へ次第に大きくなっている。

図２では、突起部１８を、第１の共通インク溝１１のみに、設けていたが、図５に示すように、突起部１８を、第１の共通インク溝１１および第２の共通インク溝１２の両方に、設けてもよい。

図５に示すように、このインクジェットヘッドでは、供給タンクから第１の流路口１３ａ、第１の共通インク溝１１、個別インク溝６、第２の共通インク溝１２、第２の流路口１３ｂ、廃液タンクへとインクを流し続けることで、ノズル孔８の直近のインクを常に流動させることができる。そのため、ビーズのような微粒子を含むインクを使用した場合に、インクが流動していることにより微粒子の沈降、浮遊を防止し、吐出インク滴の微粒子濃度を安定化させることができる。また、高周波数でインク吐出を行った際に生じる圧電基板１の温度上昇を、インク流動により低減することができる。

この際、供給タンクのインクが空になるたびにインクを補充する必要があるが、２つのタンクに供給タンク、廃液タンクといった役割を決めずに、矢印２５ａで示す第１の流路口１３ａから第２の流路口１３ｂへ向かう方向へのインク流動と、矢印２５ｂで示す第２の流路口１３ｂから第１の流路口１３ａへ向かう方向へのインク流動とを定期的に変更するようにすれば、インクを補充することなく長期間にわたってインクの流動を行うことができる。インクジェットヘッドを搭載する装置内に、廃液タンクから供給タンクへインクを直接戻す流路を設置することでも、インクの流動を長期間行うことができるが、装置が複雑化するため好ましくない。

図５において、第１の流路口１３ａと最も近い溝との間だけでなく、第２の流路口１３ｂと最も近い溝との間にも、突起部１８を配設することで、インク流動の際のインクの流れ方向が逆になっても、それぞれの個別インク溝６を通るインク流路について流路抵抗の差が小さくなり、それぞれの個別インク溝６でのインク流速を均一にすることができる。このため、吐出インク滴の微粒子濃度を安定化させる効果や、圧電基板１の温度上昇の防止効果をそれぞれのノズル孔８で均一にすることができる。

なお、本実施形態では電極として銅を使用したが、導電性材料ならば何でもよい。さらに、導電膜形成工程をスパッタ法により行っているが、イオンプレーティング法や無電解めっき法でも、同様の導電膜を形成することができることを確認している。イオンプレーティング法は密着力良く導電膜を形成することができ、無電解めっき法では、複数の複雑な溝形状が形成されている圧電基板１に対しても少ない膜厚ばらつきで導電膜を形成することができる。一方、気相成長法や蒸着法は圧電基板１の基板表面温度が上がりやすいため適していないことが分かった。これは圧電材料の圧電特性が高温において劣化してしまうことによるものである。イオンプレーティング法、無電解めっき法を導電膜形成工程に用いて形成したインクジェットヘッドでも、スパッタ法で導電膜形成を行ったインクジェットヘッドと同等の吐出性能を有することを確認した。

さらに本実施形態では導電膜形成工程の後に除去工程を行ったが、導電膜形成工程の前にレジスト材料などであらかじめ導電膜を成膜したくない部分を被覆しておき、導電膜形成工程後にレジスト材料を剥離して分離してもよい。

また、分離工程においてダイシングブレードによる分離溝１０の形成を行っているが、ワイヤーソーなどのダイシングブレード以外の機械加工でもよい。さらにはダイシングブレードによる分離ではなく、ＹＡＧレーザー照射により不要な部分の導電膜を除去して電極引き出し部９を形成したインクジェットヘッドについても、ダイシングブレードで分離したインクジェットヘッドと同様の吐出性能、循環性能を持つことを確認した。レーザーの種類に関してはＹＡＧレーザーである必要はなく、例えばＣＯ_２レーザーやエキシマレーザーを用いて圧電基板１の側面の導電膜を分離して電極引き出し部９を形成することができることを確認した。

また、電極引き出し部９と導電部材の接続方法は、本実施形態ではＡＣＦ接続により行ったが、これに限るものではなく、銀ペーストやハンダなどの導電性ペーストを用いても接続できることを確認した。しかしながら圧電基板１の厚さが薄いときには電極引き出し部９に塗布した導電性ペーストやハンダが個別インク溝６に流入する虞があるため、圧電基板１の厚さから個別インク溝６の深さを差し引いた長さ、つまり電極引き出し部９にフレキシブルケーブル４などの導電部材を接続することができる長さがすくなくとも１．５ｍｍ以上のときにのみ導電性ペーストやハンダを用いることが好ましい。

さらには、本実施形態に記載した工程は必要最小限の工程であり、必要に応じて前述した以外の工程を追加していてもよい。例えば圧電基板１のどこかに加工の基準とするための目印として溝を加工する工程や、電極７がインクに接することで腐食する場合などには電極７を保護膜で覆うような工程を追加してもよい。

（第２の実施形態）
図６は、この発明のインクジェットヘッドの第２の実施形態を示している。上記第１の実施形態と相違する点を説明すると、この第２の実施形態では、突起部の少なくとも一部は、ノズルプレートに取り付けられている。なお、この第２の実施形態において、上記第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。

図６に示すように、第１の共通インク溝１１および第２の共通インク溝１２には、突起部２０が配設されており、突起部２０の頂上部（先端部）は、ノズルプレート２に接着されている。

そして、図７に示すように、第１の流路口１３ａからこの流路口１３ａに最も近い個別インク溝６へのインクの流れは、矢印１９ａに示すような流れとなり、一方、第１の流路口１３ａからこの流路口１３ａに最も遠い個別インク溝６へのインクの流れは、矢印１９ｂに示すような流れとなる。

したがって、この突起部２０があることにより、無い場合に比べて、流路口１３ａと流路口１３ａから最も近い個別インク溝６とを結ぶ流路は、突起部２０を迂回する必要があるため、流路抵抗が大きくなる。そのため、流路口１３ａから各個別インク溝６への流路抵抗の差が小さくなり、吐出インク滴の飛翔速度や体積のばらつきを低減することができる。

また、突起部２０がノズルプレート２と接着されているため、突起部が無い場合と比較してノズルプレート２と、第１の部材３ａおよび第２の部材３ｂとの接着面積が大きい。このため、気泡やダストをノズル孔から排出するために行うインク加圧やノズル吸引において、ノズルプレート２が剥がれるという不具合を低減することができる。このことを、図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａ、図９Ｂを参照して説明する。

図８Ａと図８Ｂは、インク加圧を行っている最中のインクジェットヘッドの断面を示している。図示しない廃液タンクと第２の流路口１３ｂとの間の流路は遮断された状態で、図示しない供給タンクを加圧することで、ノズル孔８から加圧されたインクが気泡やダストとともに排出される。

図８Ａは、共通インク室１１ａ、１２ａに突起部の無い場合を示しており、インクが加圧されていることにより共通インク室１１ａ、１２ａを形成する部分のノズルプレート２が大きくたわんでいる。

一方、図８Ｂは、共通インク室１１ａ、１２ａに突起部２０のある場合を示しており、ノズルプレート２には突起部２０が接着しているので、ノズルプレート２のたわみが小さい。インク加圧によりノズルプレート２がたわみ、剥がれようとする力が発生するが、突起部２０をノズルプレート２に接着することで、たわみを小さくすることができ、ノズルプレート２を剥がれにくくすることができる。

図９Ａと図９Ｂは、ノズル吸引を行っている最中のインクジェットヘッドの断面を示している。図示しない供給タンクと第１の流路口１３ａとの間の流路は開放され、図示しない廃液タンクと第２の流路口１３ｂとの間の流路は遮断されている。キャップ部材２１には、Ｏリング２２が取り付けられており、Ｏリング２２をノズルプレート２に当接させて、ノズル孔８を密閉できるようになっている。キャップ部材２１には吸引口２３を介して図示しない吸引ポンプが接続されており、ノズル孔８を密閉した状態で吸引ポンプを動作させ吸引を行うことで、キャップ部材２１とノズルプレート２で形成される空間が負圧になり、供給タンクからノズル孔８を通じてインクを吸引することができる。この過程で、インクが気泡やダストとともに排出される。

図９Ａは、共通インク室１１ａ、１２ａに突起部の無い場合を示しており、ノズル吸引を行うことでキャップ部材２１とノズルプレート２で形成される空間になり、共通インク室１１ａ、１２ａを形成している部分のノズルプレート２が大きくたわんでいる。

一方、図９Ｂは、共通インク室１１ａ、１２ａに突起部２０のある場合を示しており、ノズルプレート２には突起部２０が接着しているので、ノズルプレート２のたわみが小さい。ノズル吸引によりノズルプレート２がたわみ、剥がれようとする力が発生するが、突起部２０をノズルプレート２に接着することで、たわみを小さくすることができ、ノズルプレート２を剥がれにくくすることができる。

また、前述のようにノズルプレート２のたわみを低減できることは、ワイプブレードによるノズルプレートのクリーニングにおいても、クリーニング効果を損なうことを低減する効果を奏する。このことを、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１１Ａ、図１１Ｂを参照して説明する。

図１０Ａ、図１０Ｂ、図１１Ａ、図１１Ｂは、いずれも、ワイプブレード２４によりノズルプレート２のクリーニングを行っている最中のインクジェットヘッドの断面を示している。ワイプブレード２４はパーフロゴムで形成されている。ワイプブレード２４をノズルプレート２に押し付けながら移動させることで、ノズルプレート２に付着した異物をかきとり、除去することができる。ノズルプレート２に対するワイプブレード２４の当接圧が小さいと異物を除去する効果が低くなるが、当接圧を大きくするとノズルプレートを傷つける不具合が生じるため、適切な当接圧を選択することが必要である。

図１０Ａと図１０Ｂは、共通インク室１１ａ、１２ａに突起部の無い場合を示しており、図１０Ａは、第１の共通インク室１１ａを形成している部分のノズルプレート２をクリーニングしているときを示し、図１０Ｂは、圧電基板１に接着された部分のノズルプレート２をクリーニングしているときを示している。

図１０Ａと図１０Ｂを比較すると、図１０Ａでは、ワイプブレード２４の当接圧により、ノズルプレート２が大きくたわんでおり、その分ワイプブレード２４の当接圧が小さくなっている。このように、共通インク室１１ａ、１２ａに突起部の無い場合には、ワイプブレード２４の位置により、当接圧が大きく変動するため、適切な当接圧を維持することが困難であり、ノズルプレート２のクリーニングを良好に行うことができない。

一方、図１１Ａと図１１Ｂは、共通インク室１１ａ、１２ａに突起部２０が配設されており、突起部２０の頂上部（先端部）がノズルプレート２と接着されている場合を示している。図１１Ａは、第１の共通インク室１１ａを形成している部分のノズルプレート２をクリーニングしているとき、図１１Ｂは、圧電基板１に接着された部分のノズルプレート２をクリーニングしているときを示している。

図１１Ａと図１１Ｂを比較すると、図１１Ａでは、ワイプブレード２４の当接圧により、ノズルプレート２がたわんでいるものの、突起部２０がノズルプレート２と接着されているため、たわみの程度が小さい。このため、ワイプブレード２４の位置により当接圧が変動することを低減することができ、適切な当接圧を維持しながら良好なノズルプレート２のクリーニングを行うことができる。

また、ノズルプレート２にレーザーを用いてノズル孔８を加工する際、ノズルプレート２が薄いほど、加工に要する時間が短くなり、また加工後の真円度などの形状精度も良くなる。ノズル孔８の形状精度が良いほど、複数のノズル孔８間での吐出インク滴の飛翔方向や体積のばらつきが小さくなる。

前述のように共通インク室１１ａ、１２ａに突起部２０を配設し、ノズルプレート２と接着することで、インク加圧やノズル吸引、ノズルプレート２のクリーニングなどでのノズルプレート２のたわみを低減できるため、ノズルプレート２を厚くして剛性を高めることでたわみを低減する必要がなくなり、薄いノズルプレート２を使用することが出来るようになる。薄いノズルプレート２を使用できるようになれば、インクジェットヘッドの作製に要する時間を低減でき、またノズル孔８の形状精度を向上させることができる。

なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、突起部１８は、第１の共通インク溝１１および第２の共通インク溝１２のうちの少なくともインクが供給される共通インク溝に設けられていればよい。突起部の形状や数量は、設計変更自由である。上記第１の実施形態の特徴点と、上記第２の実施形態の特徴点とを、さまざまに組み合わせてもよい。

１ 圧電基板
２ ノズルプレート
３ 本体部
３ａ 第１の部材
３ｂ 第２の部材
４ フレキシブルケーブル
５ａ 第１の流路部
５ｂ 第２の流路部
６ 個別インク溝
６ａ 個別インク室
７ 電極
８ ノズル孔
９ 電極引き出し部
１０ 分離溝
１１ 第１の共通インク溝
１１ａ 第１の共通インク室
１２ 第２の共通インク溝
１２ａ 第２の共通インク室
１３ａ 第１の流路口
１３ｂ 第２の流路口
１４ フィルター
１６ 個別インク溝の開口部
１７ａ、１７ｂ インク流路を示す矢印
１８、１８Ａ〜１８Ｉ 突起部
１９ａ、１９ｂ インク流路を示す矢印
２０ 突起部
２１ キャップ部材
２２ Ｏリング
２３ 吸引口
２４ ワイプブレード
２５ａ、２５ｂ インク流路を示す矢印

Claims (5)

1. Ｘ方向に延在しＸ方向の両端が開口すると共にＸ方向に交差するＹ方向に互いに間隔をあけて配列された複数の個別インク溝を有する圧電基板と、
   上記圧電基板の複数の個別インク溝を覆うように配置されると共に、上記個別インク溝に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
   上記圧電基板が取り付けられ、上記複数の個別インク溝のＸ方向一端側の開口部に連通する第１の共通インク溝、および、上記複数の個別インク溝のＸ方向他端側の開口部に連通する第２の共通インク溝を有する本体部と
   を備え、
   上記本体部は、上記第１の共通インク溝に設けられた第１の流路口、および、上記第２の共通インク溝に設けられた第２の流路口を有し、
   上記第１の共通インク溝および上記第２の共通インク溝のうちの少なくともインクが供給される共通インク溝において、この共通インク溝に設けられた流路口と、この流路口に最も近い位置にある個別インク溝の開口部との間に、インク流れを邪魔する突起部が設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   上記突起部は、上記流路口と複数の上記個別インク溝との間を結ぶ流路に交差するように配設され、
   上記突起部は、上記流路口と上記個別インク溝との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する部分におけるＸ方向およびＹ方向に直交するＺ方向の高さが高くなるように、形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
3. 請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   上記突起部は、Ｙ方向に沿って、互いに間隔をあけて複数存在し、
   この複数の突起部は、上記流路口と上記個別インク溝との間を結ぶ流路の距離が短いほど、この流路に交差する上記突起部におけるＸ方向およびＹ方向に直交するＺ方向の高さが高くなるように、形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
4. 請求項１から３の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
   上記突起部は、上記第１の共通インク溝および上記第２の共通インク溝の両方に、設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。
5. 請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
   上記突起部の少なくとも一部は、上記ノズルプレートに取り付けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。

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