JP4934344B2 - 半導体光集積素子及び半導体光集積デバイス - Google Patents
半導体光集積素子及び半導体光集積デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP4934344B2 JP4934344B2 JP2006105932A JP2006105932A JP4934344B2 JP 4934344 B2 JP4934344 B2 JP 4934344B2 JP 2006105932 A JP2006105932 A JP 2006105932A JP 2006105932 A JP2006105932 A JP 2006105932A JP 4934344 B2 JP4934344 B2 JP 4934344B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- wavelength
- laser
- semiconductor
- quantum well
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 185
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 87
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 58
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 51
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 18
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 13
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 9
- 239000012792 core layer Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 42
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 33
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 27
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 20
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 19
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 13
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 13
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 10
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 5
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000005428 wave function Effects 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 3
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005701 quantum confined stark effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/026—Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
- H01S5/0265—Intensity modulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
- G02F1/017—Structures with periodic or quasi periodic potential variation, e.g. superlattices, quantum wells
- G02F1/01708—Structures with periodic or quasi periodic potential variation, e.g. superlattices, quantum wells in an optical wavequide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
- G02F1/0155—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction modulating the optical absorption
- G02F1/0157—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction modulating the optical absorption using electro-absorption effects, e.g. Franz-Keldysh [FK] effect or quantum confined stark effect [QCSE]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
(1)量子井戸構造における伝導帯側のバンド不連続量が大きく、波動関数の量子井戸外への漏れが小さい。このため、電子、正孔の波動関数の空間的な重なりが大きく消光比が向上する。
(2)量子井戸と障壁層間のエネルギー不連続量は、伝導帯側に比べ価電子帯側が小さく、量子井戸内に正孔が蓄積されにくい。このため高速変調動作に適しており、変調時のチャーピングが抑制されるので、長距離伝送に有利である。
40meV<(EEA−Esignal)<70meV
となることが望ましい。
(Esignal+120meV)<Ebarrier
と表記される。
Ebarrier<(EEA+350mev)
と表記される。
(Esignal+120meV)<Ebarrier<(EEA+350mev)
となることが望ましい。なお、信号光波長は1550nmに限らず、信号光波長が1450nmから1630nmの間のいずれかの値からなる場合でも、EA/DFBレーザのアンクールド動作に好適なEA変調素子の量子井戸構造における障壁層組成波長の設定として、同様の関係が成り立つことは容易に推測できる。
40meV<(EEA−Esignal)<70meV
(Esignal+120meV)<Ebarrier<(EEA+350mev)
が望ましいことは容易に推測できる。
本発明を適用した半導体光集積素子の実施例1の製作過程を、図5、図6を用いて説明する。ただし図は飽くまで本実施例を説明するものであって、図の大きさと本実施例記載の縮尺は必ずしも一致するものではない。
本発明を適用した半導体光集積デバイスの他の実施例による構成の斜視図を図7(a)に、中央部で切断した断面を示す斜視図を図7(b)に示す。ここでは、実施例1の図5、図6に示した工程の図は省略する。ただし図は飽くまで本実施例を説明するものであって、図の大きさと本実施例記載の縮尺は必ずしも一致するものではない。
本発明を適用して波長可変LDとした半導体光集積デバイスの実施例による構成の斜視図を図8(a)に、中央部で切断した断面を示す斜視図を図8(b)に示す。ここでも、実施例1の図5、図6に示した工程の図は省略する。ただし図は飽くまで本実施例を説明するものであって、図の大きさと本実施例記載の縮尺は必ずしも一致するものではない。
実施例1及び実施例2で説明した半導体光集積素子を用いた送受信モジュールの実施例を、図9を用いて構造の概要を、図10を用いて制御系の概要を説明する。ただし図はあくまで本実施例を説明するものであって、図の大きさと本実施例記載の縮尺は必ずしも一致するものではない。
図11は、図9、図10で説明した本発明の光送信モジュールと、別に作成した光受信モジュールとを搭載した光送受信器パッケージにより光通信システムの端末を構成する模式図である。図において、37は光送受信器パッケージ、35は光送信モジュール、38は光送信モジュール駆動回路、36は光受信モジュール、39は光受信モジュール駆動回路、40,41は、それぞれ光ファイバであり、光送信モジュール35、光受信モジュール36に対応して設けられる。
Claims (7)
- 信号光波長λsignalが25℃において1450nm以上1630nm以下の半導体レーザと、該レーザの出力光を加えられる、井戸層がInGaAlAsあるいはInGaAsPあるいはInGaAsのいずれかであり、障壁層がInGaAlAs、あるいはInAlAsのいずれかである量子井戸構造からなる利得ピーク波長λEAの電界吸収効果型光変調器とを有する半導体光集積素子において、前記レーザの25℃における信号光波長λsignalに相当するエネルギーEsignalと、前記電界吸収効果型光変調器の25℃における利得ピーク波長λEAに相当するエネルギーEEAとの差(EEA−Esignal)が、40meV以上70meV以下であり、
前記電界吸収効果型光変調器が量子井戸構造を有し、該量子井戸構造の25℃における障壁層の組成波長λbarrierに相当するエネルギーEbarrierが、前記電界吸収効果型光変調器の25℃における利得ピーク波長λEAに相当するエネルギーEEAと、前記半導体レーザの25℃における信号光波長λsignalに相当するエネルギーEsignalとを用いて、(Esignal+120meV)<Ebarrier<(EEA+350meV)に設定されたものである半導体光集積素子。 - 半導体レーザと、該半導体レーザの発生する光を通過させる光導波路と、該光導波路を通過した光を与えられる電圧信号により変調する電界吸収効果型光変調器とから構成され、半導体基板上にカスケードに配置された半導体光集積素子であって、前記半導体レーザは25℃における発光波長が1450nm以上1630nm以下である量子井戸構造、前記光導波路層はInGaAsP、あるいはInGaAlAsから構成される光導波路層、前記電界吸収効果型光変調器は25℃における発光波長が1470nmである量子井戸構造、をそれぞれ備えて、互いに隣接して配置されるとともに、前記半導体発光装置の多重量子井戸活性層、前記導波路コアおよび前記変調器の光変調器コア層が、それぞれ、実質的に同一の面に位置するように形成され、且つ、各要素はそれぞれの最上層の上にリッジを形成され、
前記レーザの25℃における信号光波長λsignalに相当するエネルギーEsignalと、前記電界吸収効果型光変調器の25℃における利得ピーク波長λEAに相当するエネルギーEEAとの差(EEA−Esignal)が、40meV以上70meV以下であり、
前記電界吸収効果型光変調器が量子井戸構造を有し、該量子井戸構造の25℃における障壁層の組成波長λbarrierに相当するエネルギーEbarrierが、前記電界吸収効果型光変調器の25℃における利得ピーク波長λEAに相当するエネルギーEEAと、前記半導体レーザの25℃における信号光波長λsignalに相当するエネルギーEsignalとを用いて、
(Esignal+120meV)<Ebarrier<(EEA+350meV)
に設定されたものである半導体光集積素子。 - 前記レーザが分布帰還型半導体レーザである請求項2に記載の半導体光集積素子。
- 前記レーザが分布反射型半導体レーザである請求項2に記載の半導体光集積素子。
- 前記レーザが波長可変機能を有する波長可変型半導体レーザである請求項2に記載の半導体光集積素子。
- 前記電界吸収効果型光変調器の光出射端面側に、窓構造を備えている請求項2に記載の半導体光集積素子。
- 信号光波長λsignalが25℃において1450nm以上1630nm以下の半導体レーザと、該レーザの出力光を加えられる、井戸層がInGaAlAsあるいはInGaAsPあるいはInGaAsのいずれかであり、障壁層がInGaAlAs,あるいはInAlAsのいずれかである量子井戸構造からなる利得ピーク波長λEAの電界吸収効果型光変調器とを有する半導体光集積素子において、前記レーザの25℃における信号光波長λsignalに相当するエネルギーEsignalと、前記電界吸収効果型光変調器の25℃における利得ピーク波長λEAに相当するエネルギーEEAとの差(EEA−Esignal)が、40meV以上70meV以下とされた半導体光集積素子であるとともに、該半導体光集積素子の配置された周辺の温度を検出するための感温素子および前記半導体レーザの背面における後方光出力を検出するモニタ用受光素子を備え、前記感温素子の出力信号に応じてλsignal-λEAが設定されている最高動作温度における特性となるように前記電界吸収効果型光変調器に加える電圧を制御し、前記モニタ用受光素子の出力信号に応じて前記半導体レーザが設定されている25℃における特性となるように前記半導体レーザに加える電圧を制御し、
前記電界吸収効果型光変調器が量子井戸構造を有し、該量子井戸構造の25℃における障壁層の組成波長λbarrierに相当するエネルギーEbarrierが、前記電界吸収効果型光変調器の25℃における利得ピーク波長λEAに相当するエネルギーEEAと、前記半導体レーザの25℃における信号光波長λsignalに相当するエネルギーEsignalとを用いて、
(Esignal+120meV)<Ebarrier<(EEA+350meV)に設定されたものである半導体光集積デバイス。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006105932A JP4934344B2 (ja) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 半導体光集積素子及び半導体光集積デバイス |
US11/481,918 US7809038B2 (en) | 2006-04-07 | 2006-07-07 | Electro-absorption optical modulator integrated with a laser to produce high speed, uncooled, long distance, low power, 1550 nm optical communication device with optimized parameters |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006105932A JP4934344B2 (ja) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 半導体光集積素子及び半導体光集積デバイス |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007279406A JP2007279406A (ja) | 2007-10-25 |
JP2007279406A5 JP2007279406A5 (ja) | 2009-03-12 |
JP4934344B2 true JP4934344B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=38574255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006105932A Active JP4934344B2 (ja) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | 半導体光集積素子及び半導体光集積デバイス |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7809038B2 (ja) |
JP (1) | JP4934344B2 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2008315124B2 (en) | 2007-10-26 | 2012-06-21 | Asahi Kasei Chemicals Corporation | Method for purifying protein |
JP4842983B2 (ja) * | 2008-02-14 | 2011-12-21 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光集積素子及びその作製方法 |
JP4971235B2 (ja) * | 2008-04-08 | 2012-07-11 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光集積素子 |
JP5043880B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2012-10-10 | 日本オクラロ株式会社 | 半導体素子及びその製造方法 |
JP2010283104A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光半導体装置 |
JP5597029B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2014-10-01 | 住友電気工業株式会社 | 波長可変半導体レーザ |
JP2012002929A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Opnext Japan Inc | 半導体光素子の製造方法、レーザモジュール、光伝送装置 |
JP5545847B2 (ja) * | 2010-06-16 | 2014-07-09 | 日本電信電話株式会社 | 光半導体装置 |
EP2420882A1 (en) * | 2010-08-16 | 2012-02-22 | Alcatel Lucent | Active photonic device with flattened photo-generated carrier distribution |
JP2012141335A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Mitsubishi Electric Corp | 非冷却光半導体装置 |
JP5622239B2 (ja) * | 2011-02-21 | 2014-11-12 | 日本電信電話株式会社 | 光送信器及び光送信器の駆動条件設定装置 |
JP2012209286A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Hitachi Ltd | 光モジュール |
JP2012256770A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | レーザモジュール |
JP2012209583A (ja) * | 2012-07-12 | 2012-10-25 | Japan Oclaro Inc | レーザ素子及び光送信モジュール |
JP6180213B2 (ja) * | 2012-09-19 | 2017-08-16 | 日本オクラロ株式会社 | 光モジュール及び光モジュールの制御方法 |
JP2013165288A (ja) * | 2013-04-19 | 2013-08-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光半導体装置 |
JP6213103B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2017-10-18 | 三菱電機株式会社 | 半導体光素子および光モジュール |
US9762025B2 (en) * | 2016-02-17 | 2017-09-12 | TeraMod LLC | Temperature insensitive integrated electro-absorption modulator and laser |
JP6866976B2 (ja) * | 2016-10-27 | 2021-04-28 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体レーザ装置の動作条件決定方法 |
WO2018091094A1 (en) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method for fabricating an electro-absorption modulated laser and electro-absorption modulated laser |
JP6920851B2 (ja) * | 2017-03-29 | 2021-08-18 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体光素子、光送信モジュール、光モジュール、及び光伝送装置、並びにそれらの製造方法 |
CN111418120B (zh) * | 2017-12-04 | 2022-10-21 | 三菱电机株式会社 | 电场吸收型调制器、光半导体装置及光模块 |
WO2023153518A1 (ja) * | 2022-02-14 | 2023-08-17 | 日本電信電話株式会社 | 光送信器 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5771256A (en) * | 1996-06-03 | 1998-06-23 | Bell Communications Research, Inc. | InP-based lasers with reduced blue shifts |
JP2001013472A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Nec Corp | 光半導体素子および光通信装置 |
JP2001127377A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Hitachi Ltd | 光送信装置および光伝送装置 |
JP2002134842A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-10 | Hitachi Ltd | 半導体レーザ装置 |
US7120183B2 (en) | 2001-07-11 | 2006-10-10 | Optium Corporation | Electro-absorption modulated laser with high operating temperature tolerance |
JP4108400B2 (ja) * | 2002-07-24 | 2008-06-25 | 富士通株式会社 | 電界吸収型光変調器を備えた半導体レーザモジュールの駆動回路および駆動方法 |
JP2004273993A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Hitachi Ltd | 波長可変分布反射型半導体レーザ装置 |
US20040258119A1 (en) * | 2003-06-10 | 2004-12-23 | Photonami Inc. | Method and apparatus for suppression of spatial-hole burning in second of higher order DFB lasers |
WO2005053124A1 (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-09 | Nec Corporation | 分布帰還型半導体レーザ、分布帰還型半導体レーザアレイ及び光モジュール |
JPWO2005081050A1 (ja) * | 2004-02-20 | 2008-01-10 | 日本電気株式会社 | 変調器集積化光源およびその製造方法 |
US7636522B2 (en) * | 2004-04-15 | 2009-12-22 | Infinera Corporation | Coolerless photonic integrated circuits (PICs) for WDM transmission networks and PICs operable with a floating signal channel grid changing with temperature but with fixed channel spacing in the floating grid |
JP4934271B2 (ja) | 2004-06-11 | 2012-05-16 | 日本オプネクスト株式会社 | 単一電源駆動光集積装置 |
JP4421951B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2010-02-24 | 日本オプネクスト株式会社 | 光送信モジュール |
-
2006
- 2006-04-07 JP JP2006105932A patent/JP4934344B2/ja active Active
- 2006-07-07 US US11/481,918 patent/US7809038B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7809038B2 (en) | 2010-10-05 |
US20070235715A1 (en) | 2007-10-11 |
JP2007279406A (ja) | 2007-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4934344B2 (ja) | 半導体光集積素子及び半導体光集積デバイス | |
JP4928988B2 (ja) | 半導体光装置およびその製造方法 | |
US8457169B2 (en) | Integrated semiconductor laser element, semiconductor laser module, and optical transmission system | |
US8787420B2 (en) | Integrated semiconductor laser element | |
US20100142885A1 (en) | Optical module | |
US9762025B2 (en) | Temperature insensitive integrated electro-absorption modulator and laser | |
US6678479B1 (en) | Semiconductor electro-absorption optical modulator integrated light emission element light emission element module and optical transmission system | |
JP2019083351A (ja) | 半導体光増幅器、半導体レーザモジュール、および波長可変レーザアセンブリ | |
JP5243901B2 (ja) | 同軸型半導体光モジュール | |
WO2011048869A1 (ja) | 波長可変レーザ装置、光モジュールおよび波長可変レーザの制御方法 | |
JP2010113084A (ja) | 光信号処理装置 | |
JP4547765B2 (ja) | 光変調器及び光変調器付半導体レーザ装置、並びに光通信装置 | |
JP2019008179A (ja) | 半導体光素子 | |
JP6939411B2 (ja) | 半導体光素子 | |
JPH0732279B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
EP1130708B1 (en) | Semiconductor electro-absorption optical modulator integrated light emitting element and module, and optical transmission system | |
JP4411938B2 (ja) | 変調器集積半導体レーザ、光変調システムおよび光変調方法 | |
JP4550371B2 (ja) | 電界吸収型光変調器、電界吸収型光変調器付き半導体集積素子、それらを用いたモジュール及び電界吸収型光変調器付き半導体集積素子の製造方法 | |
KR20130128651A (ko) | 전계흡수형 변조기 레이저 | |
JP2012002929A (ja) | 半導体光素子の製造方法、レーザモジュール、光伝送装置 | |
JP3505509B2 (ja) | 半導体発光素子と半導体発光装置及び半導体発光素子の変調方法 | |
JP2001013472A (ja) | 光半導体素子および光通信装置 | |
JP2004311556A (ja) | 半導体レーザ並びにそれを用いた光モジュール及び機能集積型レーザ | |
JP2001290114A (ja) | 光送信モジュール | |
JP4340596B2 (ja) | 半導体光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090121 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110913 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4934344 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |