JP4929607B2 - インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド - Google Patents
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Description
2 撥インク膜
3 フォトレジスト層
30 凸部
6 インクジェットヘッド
61 ノズルプレート
N ノズル孔
Claims (5)
- インクを噴射する複数のノズル孔が形成してあるノズルプレートを備えるインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートとなすべき基板におけるインクを噴射する側の面に、撥インク性を有する撥インク膜を形成し、
前記撥インク膜の表面にフォトレジスト層を形成し、
前記基板の他面の側から、前記基板を貫通する前記ノズル孔を形成するための孔開け加工を行ない、
該孔開け加工によって、前記フォトレジスト層が残存するように前記ノズル孔が開口すべき位置を覆う前記撥インク膜のみを除去し、
前記孔開け加工によって形成されたノズル孔及び該ノズル孔の周辺と対向する前記フォトレジスト層のみをインクを噴射する側から除去し、残存したフォトレジスト層によって、前記ノズル孔から離隔して対向する凸部を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - インクを噴射する複数のノズル孔が形成してあるノズルプレートを備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートのインクが噴射されるインク噴射面に開口する前記ノズル孔から離隔して対向し、フォトレジスト材を用いてなる凸部が前記インク噴射面に形成してあり、
少なくとも、前記インク噴射面の前記ノズル孔の開口縁及び周辺に、撥インク性を有する撥インク膜が形成してあることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記撥インク膜は、前記凸部の間の面に形成されていることを特徴とする請求項3に記載のインクジェットヘッド。
- 前記凸部の厚みは5μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項2又は3に記載のインクジェットヘッド。
- 前記複数のノズル孔は列状に並設してあり、
前記凸部は前記ノズル孔の列の両側に対設してあり、
互いに対向する凸部の離隔距離は50μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項2乃至4の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
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