JP4929603B2 - 鋼板形状に優れたセラミクス被膜付き方向性電磁鋼板ストリップの製造方法 - Google Patents
鋼板形状に優れたセラミクス被膜付き方向性電磁鋼板ストリップの製造方法 Download PDFInfo
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Description
方向性電磁鋼板の鉄損を低減するためには、
(1) 二次再結晶により鉄の磁化容易軸である<001>軸を一方向(圧延方向)に高度に揃えることにより、ヒステリシス損を低減する、
(2) 鋼板に含まれる不純物を低減したり、表面を平滑化することにより、ヒステリシス損を低減する、
(3) 鋼板に高比抵抗元素(主としてSi)を含有させて渦電流損を低減する、
(4) 鋼板の厚みを薄くして渦電流損を低減する、
(5) 粒径を制御したり、鋼板の表面に溝を刻むことにより、磁区を細分化することで渦電流損を低減する
などの方法が知られている。
しかしながら、これら従来法による鉄損の低減は、もはや限界に達しており、新たな方法を開発することが必要な時期に来ている。
例えば、特許文献1、特許文献2、特許文献3、特許文献4、特許文献5および特許文献6には、PVD(物理蒸着)法やCVD(化学蒸着)法によって窒化物や炭化物などのセラミクス被膜を成膜することにより鉄損を低減する技術が開示されている。
このため、発明者らは、特許文献7や特許文献8において、ノズルでのガス吹きつけによる技術を提案している。
さらに、発明者らは、特許文献9において、ガス混合後の成膜までの時間を規定することにより成膜速度を確保する方法についても提案している。
このような鋼板の反りという問題は、研究室レベルの小規模な成膜装置により小試片に対して成膜を行っていた場合には顕在化しなかった現象である。
すなわち、原料である金属塩化物は多くの場合、室温で液体となっている。これを鋼板上での成膜反応に供する場合、研究室程度の小規模での成膜装置では、図1に示すガス供給装置のように、液体である金属塩化物を適度な温度に保持し、その中にH2やAr等のキャリアガスあるいはN2等のキャリアガスを兼ねた反応ガスをバブリングして通過させていた。これにより、キャリアガスや反応ガス中には金属塩化物が保持された温度に相当する蒸気圧分だけ気化した金属塩化物が含まれることになる。この方法は、温度を調整するだけで、確実に飽和蒸気圧分の金属塩化物ガスをキャリアガスや反応ガス中に含有させることができるため、ガス組成の制御が容易であるという利点がある。
その結果、膜厚分布はほば均一に成膜されたものの、鋼板ストリップは500 mm幅で最大50mmもの反りを生じ、成膜後の各製造ラインへの通板や、特性評価を行う試片の採取に支障をきたすレベルの反り状態となった。
すなわち、工業生産において使用される金属塩化物およびキャリアガス中には、不可避的に微量の不純物が含まれている。このうち、おそらくキャリアガス中に含有される水分が最も大きく影響しているものと思われるのであるが、バブリング方式によりガスを調製する場合には、気化器内において金属塩化物と水分との反応が生じ、金属酸化物ないしは酸素を含む化合物が生成され、これが間歇的に反応系内に排出される。その結果、被膜張力が幅方向または長手方向に変動し、結果として面内剛性の異なる方向性電磁鋼板ストリップにおいては、顕著な反り形状として現出するものと考えられる。
本発明は、上記の知見に立脚するものである。
本発明に従う張力被膜は、Goss方位の結晶粒からなる方向性電磁鋼板に対して被覆することにより効果を発揮するものであるから、素材である方向性電磁鋼板としては従来公知のものいずれもが適合する。従って、その製造方法についても特に制限はないが、一般的には以下のような方法で製造される。
ついで、冷間圧延を行うが、この際必要に応じて、中間焼鈍を挟んで冷間圧延を複数回に分けてもよい。また、パス間で100〜300℃程度の保熱を行ったり、100〜300℃程度の温度での温間圧延とすることも、磁気特性を発現させる上で有効である。
その後、一次再結晶焼鈍を行う。なお、鋼板中に炭素が残存する際には脱炭焼鈍を兼ねてもよい。
さらに、焼鈍分離剤を塗布または塗布しないで2次再結晶焼鈍(仕上げ焼鈍)を行う。この2次再結晶焼鈍後にフォルステライト被膜を有する場合には、これを酸洗など公知の手法により除去する。
また、反応ガスとしては、被覆するセラミクス被膜が窒化物ならばN2,NH3,(CH3)3N, (CH3)2NHなどが、炭化物ならばCH4,CO,C2H4,C3H6,C3H8,C2H6,i- C5H12などが有利に適合する。なお、窒化物、炭化物を形成する場合には、鋼中に含まれるC,Nを利用することもできる。
そして、これらの原料ガスおよび反応ガスを、それぞれ上記の方法で反応炉内に導き、これらのガスが混合した雰囲気中にて鋼板を加熱することにより、鋼板表面に所望組成のセラミクス被膜を被成することができるのである。
C:0.05mass%,Si:3.5mass%,Mn:0.06mass%,S:0.03mass%,Se:0.02mass%,Al:0.03mass%,N:0.008mass%,Bi:0.02mass%およびSn:0.1mass%を含有し、残部はFeおよび不可避的不純物の組成になり、最終板厚:0.19mmに圧延された幅:800mm の冷延コイルに、磁区細分化のために7mm間隔で圧延方向から80°の方向に伸びる複数の平行溝をエッチングにより形成し、ついで脱炭を兼ねた1次再結晶焼鈍を施した後、MgOを主成分とし塩化ナトリウムを2mass%含有する焼鈍分離剤を塗布し、最終仕上げ焼鈍を施した。その後、得られた鋼板を酸洗して表面を洗浄したのち、還元性雰囲気中で平坦化焼鈍を施してフォルステライト被膜を有さない方向性電磁鋼板ストリップを得た。
かくして得られた張力被膜付き方向性電磁鋼板ストリップの長手方向および幅方向における反りの発生状況について調査したところ、長手方向および幅方向とも反りの発生は検知されなかった。
実施例1と同様にして作製した、フォルステライト被膜を有さない方向性電磁鋼板ストリップを、1040℃に加熱した反応炉内に通板しつつ、CVDガスとして TiCl4,N2およびH2の混合ガスを反応炉内に導入し、30秒で片面当たり0.6μm 厚のTiN被膜を被成した。
但し、その際、原料であるTiCl4は110℃に液体の状態で恒温保持し、この中を反応ガスであるN2ガスをバブリングして通過させることでTiCl4とN2の混合ガスとし、さらにH2ガスと混合して、反応炉内に供給した。
かくして得られた張力被膜付き方向性電磁鋼板ストリップの長手方向および幅方向における反りの発生状況について調査したところ、鋼板の長手方向に周期的に、幅方向に反りが発生し、出側コイルとしての巻き取りが不可能であった。
C:0.10mass%,Si:3.4mass%,Mm:0.05mass%,S:0.01mass%,Se:0.002mass%,Al:0.005mass%, N:0.005mass%,Bi:0.02mass%,Sn:0.1mass%およびMo:0.25mass%を含有し、残部はFeおよび不可避的不純物の組成になり、最終板厚:0.50mmに圧延された幅:600mm の冷延コイルに、脱炭を行わずに1次再結晶焼鈍を施した後、Al2O3を主成分とし塩化ナトリウムを2mass%含有する焼鈍分離剤を塗布し、最終仕上げ焼鈍を施した。なお、仕上げ焼鈍後の鋼板には約0.05%の炭素が残留している。
かくして得られた張力被膜付き方向性電磁鋼板ストリップの長手方向および幅方向における反りの発生状況について調査したところ、長手方向および幅方向とも反りの発生は検知されなかった。
実施例1と同様にして作製した、フォルステライト被膜を有さない方向性電磁鋼板ストリップを、1040℃に加熱した反応炉内に通板しつつ、CVDガスとしてSiCl4とH2の混合ガスを反応炉内に導入し、30秒で片面当たり0.1μm厚のSiC被膜を被成した。
但し、その際、原料であるSiCl4は大気圧下48℃に液体の状態で恒温保持し、この液体中をキャリアガスであるH2ガスを通過させることで(SiCl4+H2)混合ガスに調整した。反応炉の出側では約 800℃で平坦化焼鈍を実施した。その後、さらに、同一ライン内でコロイダルシリカを含有するリン酸マグネシウムを主成分とする絶縁被膜を2μm厚塗布したのち、800℃で焼付けた。その際のコイル形状は、正常な巻き取りが可能であったが、ついで磁区細分化のために10mm間隔で圧延方向から80°の方向に伸びる複数の歪付与部を熱歪法により平行に形成するためにライン入側で低張力で巻き戻したところ、幅方向の反りが顕著となり、製造ラインでの鋼板ストリップの通板が不能となった。
Claims (1)
- 金属塩化物を原料とするCVD法により、長尺の方向性電磁鋼板ストリップを連続的に成膜装置に通板させながら、該ストリップの表面にセラミクス被膜を被成するに際し、該金属塩化物をその沸点または昇華点を超える温度に加熱して実質的に単体ガスの状態としたのち、反応ガスと混合して、または反応ガスとは別個に、反応炉内に導入することを特徴とする、鋼板形状に優れたセラミクス被膜付き方向性電磁鋼板ストリップの製造方法。
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