JP4921949B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4921949B2 JP4921949B2 JP2006338719A JP2006338719A JP4921949B2 JP 4921949 B2 JP4921949 B2 JP 4921949B2 JP 2006338719 A JP2006338719 A JP 2006338719A JP 2006338719 A JP2006338719 A JP 2006338719A JP 4921949 B2 JP4921949 B2 JP 4921949B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dummy element
- fuse
- region
- metal
- element isolation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/525—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections
- H01L23/5256—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive
- H01L23/5258—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive the change of state resulting from the use of an external beam, e.g. laser beam or ion beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
図1は、第1の実施形態に係るメタル、例えばCuからなる4層配線を有する半導体集積回路(LSI)における最上層メタル配線からなるヒューズ領域およびその近傍の平面配置を概略的に示している。ここで、11はヒューズ領域、12はメタルヒューズ、13はヒューズ制御回路配線、14はメタルヒューズとヒューズ制御回路配線の接続部、15はヒューズ開口窓である。
図10は、第2の実施形態に係る4層のメタル配線を有するLSIにおけるメタル配線下方に配置されたトレンチ型のダミー素子分離領域のパターンの一例を概略的に示す。図3の場合と同様に、15はヒューズ開口窓、18はダミー素子分離領域、19はヒューズ領域11の周囲の領域においてダミー素子分離領域18によって囲まれるように形成された複数のダミー素子領域、20はヒューズ領域11内でダミー素子分離領域18によって囲まれるように形成された複数のダミー素子領域である。ダミー素子領域19、20はそれぞれ、ダミー素子分離領域18によって囲まれている元の基板表面が露出している領域である。
図11は、第3の実施形態に係る4層のメタル配線を有するLSIにおけるメタル配線下方に配置されたトレンチ型のダミー素子分離領域のパターンの一例を概略的に示す。図3の場合と同様に、15はヒューズ開口窓、18はダミー素子分離領域、19はヒューズ領域11の周囲の領域においてダミー素子分離領域18によって囲まれるように形成された複数のダミー素子領域、20はヒューズ領域11内でダミー素子分離領域18によって囲まれるように形成された複数のダミー素子領域である。ダミー素子領域19、20はそれぞれ、ダミー素子分離領域18によって囲まれている元の基板表面が露出している領域である。
図12は、第4の実施形態に係る4層のメタル配線を有するLSIにおけるヒューズ領域11の断面構造を概略的に示している。なお、基本的な構成は図9に第1の実施形態のものと同様であり、メタルヒューズの下方のダミー素子領域20の表面がサリサイド化されて、サリサイド領域38が形成されている点のみが異なる。
Claims (3)
- ヒューズ領域を有する半導体基板と、
前記半導体基板に形成されたトレンチ型のダミー素子分離領域と、
前記ダミー素子分離領域によって囲まれるように前記半導体基板内に形成され、前記ヒューズ領域内での占有率が所定値以上である複数のダミー素子領域と、
前記ダミー素子分離領域およびダミー素子領域を含む半導体基板上に層間絶縁膜を介して前記ヒューズ領域内に形成された、多層メタル配線からなる複数のメタルヒューズとを具備し、
前記複数のダミー素子領域は、前記複数のメタルヒューズの少なくとも一部のメタルヒューズの下方にのみ形成され、
前記複数の各ダミー素子領域は、対応する上方の各メタルヒューズと同じ平面位置で同じ平面形状を有することを特徴とする半導体装置。 - ヒューズ領域を有する半導体基板と、
前記半導体基板に形成されたトレンチ型のダミー素子分離領域と、
前記ダミー素子分離領域によって囲まれるように前記半導体基板内に形成され、前記ヒューズ領域内での占有率が所定値以上である複数のダミー素子領域と、
前記ダミー素子分離領域およびダミー素子領域を含む半導体基板上に層間絶縁膜を介して前記ヒューズ領域内に形成された、多層メタル配線からなる複数のメタルヒューズとを具備し、
前記複数のダミー素子領域は、前記複数のメタルヒューズの少なくとも一部のメタルヒューズの下方にのみ形成され、
前記複数の各ダミー素子領域は、前記複数の各メタルヒューズに連なるヒューズ制御回路配線接続部の下方まで延長して形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記複数の各ヒューズ領域の下方に形成された前記複数の各ダミー素子領域の基板表面がサリサイド化されていることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006338719A JP4921949B2 (ja) | 2006-01-20 | 2006-12-15 | 半導体装置 |
US11/624,809 US20070170544A1 (en) | 2006-01-20 | 2007-01-19 | Semiconductor device with metal fuses |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006012279 | 2006-01-20 | ||
JP2006012279 | 2006-01-20 | ||
JP2006338719A JP4921949B2 (ja) | 2006-01-20 | 2006-12-15 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007221102A JP2007221102A (ja) | 2007-08-30 |
JP4921949B2 true JP4921949B2 (ja) | 2012-04-25 |
Family
ID=38284715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006338719A Expired - Fee Related JP4921949B2 (ja) | 2006-01-20 | 2006-12-15 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070170544A1 (ja) |
JP (1) | JP4921949B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101376487B1 (ko) * | 2007-07-09 | 2014-03-20 | 삼성전자주식회사 | 인터포저 칩, 그의 제조 방법 및 인터포저 칩을 갖는멀티-칩 패키지 |
US8633707B2 (en) | 2011-03-29 | 2014-01-21 | International Business Machines Corporation | Stacked via structure for metal fuse applications |
US9070687B2 (en) | 2013-06-28 | 2015-06-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device with self-protecting fuse |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3466929B2 (ja) * | 1998-10-05 | 2003-11-17 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2002164433A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP3986940B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2007-10-03 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JP2004335735A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
-
2006
- 2006-12-15 JP JP2006338719A patent/JP4921949B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-01-19 US US11/624,809 patent/US20070170544A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007221102A (ja) | 2007-08-30 |
US20070170544A1 (en) | 2007-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3466929B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR100436407B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
KR100436674B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US20050161766A1 (en) | Semiconductor device and method for fabricating the same | |
JP2005109145A (ja) | 半導体装置 | |
US7666734B2 (en) | Semiconductor device having a fuse | |
JP2007019188A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
US20090236688A1 (en) | Semiconductor device having fuse pattern and methods of fabricating the same | |
US7449764B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US7728406B2 (en) | Semiconductor device | |
JP3584928B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4921949B2 (ja) | 半導体装置 | |
US7067897B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2000269342A (ja) | 半導体集積回路および半導体集積回路の製造方法 | |
JP3347057B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3588612B2 (ja) | 半導体装置 | |
US7667290B2 (en) | Semiconductor device including a laser light blocking layer which overlaps fuses | |
US20080093705A1 (en) | Semiconductor device preventing bridge between fuse pattern and guard ring | |
KR100838920B1 (ko) | 금속 퓨즈를 갖는 반도체 디바이스 | |
US6876015B2 (en) | Semiconductor devices | |
US20040245601A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2007299939A (ja) | 半導体装置 | |
TW529147B (en) | Structure of metal fuse of semiconductor device | |
KR20080038717A (ko) | 반도체 장치의 퓨즈 및 패드 형성 방법 | |
JP2006032719A (ja) | 半導体集積回路装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120203 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |