JP4921327B2 - 磁気リニア測定装置 - Google Patents
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Description
また、請求項3に記載の発明は、強磁性体金属の蒸着薄膜によって磁気抵抗効果を奏する同じ抵抗パターンが形成された2つの基材が、前記抵抗パターンが被検知物体と一体移動する磁石の移動方向に沿って並ぶように基板上に実装されるとともに、前記2つの抵抗パターンが電気的に直列に接続されて構成された磁気抵抗効果素子及び前記磁気抵抗効果素子の出力を処理する処理回路が回路基板に実装されている磁気リニア測定装置であって、前記基板には、前記2つの基材を抵抗パターンの距離を変更可能に前記基板に実装するため、前記基材の端子を電気的に接続可能な複数のパッドを一直線上に配置したパッド列が少なくとも2列設けられている。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記基材には前記抵抗パターンの端部に電気的に接続された端子が2つ形成されており、前記2つの抵抗パターンを電気的に直列に接続するのに使用された残りの2つの端子の一方の端子が電源に接続され、他方の端子が接地される。この発明では、基材には磁気リニア測定装置の磁気抵抗効果素子を構成するのに必要なパターンで一つの抵抗パターンを形成すればよいため、基材の面積をより小さくすることができる。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の発明において、前記基材の材質としてガラスが使用されている。この発明では、磁気抵抗効果を奏する抵抗パターンを蒸着する基材として、石英のように高価な材質ではなく安価に入手できるガラスが使用されているため、製造コストを大幅(数分の一)に低減することができる。
以下、本発明を流体圧シリンダ用位置検出装置に具体化した第1の実施形態を図1〜図4にしたがって説明する。
(1)磁気リニア測定装置11は、磁気抵抗効果を奏する同じ抵抗パターンR1,R2が形成された2つの基材20,21が、抵抗パターンR1,R2がピストン13と一体移動する磁石Mの移動方向に沿って並ぶように基板22上に実装され、2つの抵抗パターンR1,R2が電気的に直列に接続されて構成されたMR素子16を備えている。したがって、2つの基材20,21の合計面積を、2つの抵抗パターンR1,R2を1つの基材上に形成する場合の基材の面積より小さくすることができ、MR素子部の占有面積が小さくなり、センサ部即ちMR素子16の形状を小さくすることができる。また、基材20,21の面積が小さくなることにより、基材20,21上に蒸着された強磁性薄膜抵抗体が歪ゲージとして機能すること、即ちMR素子部に加わる応力による抵抗値の変化を抑制することができ、MR素子部の基材20,21として、ガラスのように石英に比較して硬度が低い材質を使用することができる。
(3)基材20,21には抵抗パターンR1,R2の端部に電気的に接続された端子が2つ形成されており、2つの抵抗パターンR1,R2を電気的に直列に接続するのに使用された残りの2つの端子の一方の端子が電源Vccに接続され、他方の端子が接地される。したがって、基材20,21には磁気リニア測定装置11のMR素子16を構成するのに必要なパターンで一つの抵抗パターンR1,R2が形成されればよいため、基材20,21の面積をより小さくすることができる。
次に第2の実施形態を図5を参照しながら説明する。この実施形態はMR素子16を構成する基板22の構成が第1の実施形態と異なっており、その他の構成は第1の実施形態と同じであるため異なる部分について説明する。なお、第1の実施形態と同様の部分については同じ符号を付して詳しい説明を省略する。
(4)基板22には、2つの基材20,21を抵抗パターンR1,R2の距離を変更可能に基板22に実装するため、基材20,21の端子を電気的に接続可能な複数のパッド28a,29aを一直線上に配置したパッド列28,29が2列設けられている。したがって、2つの抵抗パターンR1,R2を一つの基材上に形成する従来技術と異なり、距離に合わせた版下を距離の異なるMR素子16の種類分準備する必要がなく、版下(治具)の管理が容易になる。
次に第3の実施形態を図6及び図7を参照しながら説明する。この実施形態はMR素子16を構成する抵抗パターンの形状が第1の実施形態と異なっており、その他の構成は第1の実施形態と同じであるため異なる部分について説明する。なお、第1の実施形態と同様の部分については同じ符号を付して詳しい説明を省略する。
(5)この実施形態では、抵抗パターンR11,R12は基材20,21上に向きが異なる状態で形成された2つのパターンR11a,R11b、R12a,R12bから構成されるとともに、2つのパターンR11a,R12aの中間に共通端子31,32が形成されている。両抵抗パターンR11,R12の同じ一方のパターンR11a,R12a同士が共通端子31,32を介して電気的に直列に接続され、各パターンR11a,R12aに接続された端子33,34の一方の端子33が電源Vccに接続され、他方の端子34が接地される。したがって、携帯電話、ノートパソコンなどの開閉検出用スイッチの部品として市販されており、磁気リニア測定装置11の磁気抵抗効果素子としては不要な抵抗パターンも備えた市販品の素子を利用して製造コストを低減することが可能になる。
・ 第2の実施形態のようにパッド列28,29を設けて基材20,21の配置間隔を複数段階で調整可能にする構成において、図8に示すように、パッド列28,29に加えて、パッド28a,29aの間隔と異なる間隔で配置されたパッド37a,38aからなる別の2列のパッド列37,38を基板22上に設けてもよい。この場合、基板22の面積を大きくせずに、基材20,21の配置間隔、即ち両基準位置r1,r2の距離T1をより多くの段階で調整することができる。
・ 磁石Mの幅Wは、5mmに限らず、磁石Mの強さや磁石MとMR素子16との距離によって、5mmより大きくても、小さくてもよい。
・ MR素子16は、磁気リニア測定装置11の使用状態において、磁石Mに対して縦置きではなく、基板22が環状の磁石Mの周面と接する平面と平行になるように配置されていてもよい。
Claims (5)
- 強磁性体金属の蒸着薄膜によって磁気抵抗効果を奏する同じ抵抗パターンが形成された2つの基材が、前記抵抗パターンが被検知物体と一体移動する磁石の移動方向に沿って並ぶように基板上に実装されるとともに、前記2つの抵抗パターンが電気的に直列に接続されて構成された磁気抵抗効果素子及び前記磁気抵抗効果素子の出力を処理する処理回路が回路基板に実装されている磁気リニア測定装置であって、
前記抵抗パターンは前記基材上に向きが異なる状態で形成された2つのパターンから構成されるとともに、前記2つのパターンの中間に共通端子が形成され、2つのパターンの前記共通端子と反対側の端部に端子がそれぞれ形成され、前記両抵抗パターンの同じ一方のパターン同士を、前記共通端子を介して電気的に直列に接続し、各一方のパターンに接続された端子の一方が電源に接続され、他方が接地されることを特徴とする磁気リニア測定装置。 - 前記基板には、前記2つの基材を抵抗パターンの距離を変更可能に前記基板に実装するため、前記基材の端子を電気的に接続可能な複数のパッドを一直線上に配置したパッド列が少なくとも2列設けられている請求項1に記載の磁気リニア測定装置。
- 強磁性体金属の蒸着薄膜によって磁気抵抗効果を奏する同じ抵抗パターンが形成された2つの基材が、前記抵抗パターンが被検知物体と一体移動する磁石の移動方向に沿って並ぶように基板上に実装されるとともに、前記2つの抵抗パターンが電気的に直列に接続されて構成された磁気抵抗効果素子及び前記磁気抵抗効果素子の出力を処理する処理回路が回路基板に実装されている磁気リニア測定装置であって、
前記基板には、前記2つの基材を抵抗パターンの距離を変更可能に前記基板に実装するため、前記基材の端子を電気的に接続可能な複数のパッドを一直線上に配置したパッド列が少なくとも2列設けられていることを特徴とする磁気リニア測定装置。 - 前記基材には前記抵抗パターンの端部に電気的に接続された端子が2つ形成されており、前記2つの抵抗パターンを電気的に直列に接続するのに使用された残りの2つの端子の一方の端子が電源に接続され、他方の端子が接地される請求項3に記載の磁気リニア測定装置。
- 前記基材の材質としてガラスが使用されている請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の磁気リニア測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007305940A JP4921327B2 (ja) | 2007-11-27 | 2007-11-27 | 磁気リニア測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007305940A JP4921327B2 (ja) | 2007-11-27 | 2007-11-27 | 磁気リニア測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009128301A JP2009128301A (ja) | 2009-06-11 |
JP4921327B2 true JP4921327B2 (ja) | 2012-04-25 |
Family
ID=40819361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007305940A Expired - Fee Related JP4921327B2 (ja) | 2007-11-27 | 2007-11-27 | 磁気リニア測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4921327B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4053417A4 (en) * | 2019-10-29 | 2023-12-06 | SMC Corporation | HYDRAULIC CYLINDER |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017208674A1 (ja) | 2016-06-02 | 2017-12-07 | 株式会社コガネイ | 位置検出装置およびアクチュエータ |
JP6928782B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2021-09-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 磁気式位置検出装置 |
CN112902817B (zh) * | 2021-02-08 | 2022-11-08 | 经登企业股份有限公司 | 磁性线性位置感应器 |
CN112902818B (zh) * | 2021-02-08 | 2022-11-08 | 经登企业股份有限公司 | 磁性线性位置感应器的校正方法 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009128301A (ja) | 2009-06-11 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090805 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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