JP4916737B2 - 冷却器 - Google Patents
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Description
ここで、板材は、半導体チップからの熱を良好に冷却器本体部に伝導させるためのものであって、その表面が絶縁回路基板に接合されるとともに、裏面が冷却器本体部に熱伝導性グリース(例えばSiグリース)を介してねじで締結されて接続されている。このように、板材と冷却器本体部とを接合せずに、熱伝導性グリースを介在させてねじで締結するのは、冷却器本体部は、板材と比べて熱膨張係数が大きいので、板材と冷却器本体部とを接合した構成が熱サイクル下で使用される過程において、冷却器本体部の変形に伴って板材も強制的に変形させられることによって、板材と絶縁回路基板との接合部に大きな負荷が作用し亀裂が生じ易くなるのを防ぐためである。すなわち、板材と冷却器本体部とを接合しない場合、冷却器本体部を、板材の裏面上を滑らせるようにして略無拘束状態で変形させることが可能になり、板材が冷却器本体部の変形に追従させられるのを防ぐことができる。
また、板材が純度99.90%以上の純Cuにより形成されているので、絶縁回路基板から伝導した熱を、積層方向に直交する方向に広げながらその厚さ方向に伝達させることが可能になり、絶縁回路基板と冷却器との間の熱抵抗も低減させることが可能になり、冷却器によるパワーモジュールの冷却効率を一層向上させることができる。さらに、板材が形成された純度99.90%以上の純Cuは、冷却器本体部の表面側が形成された純度99.0%以上の純Alの熱膨張係数とセラミックス板の熱膨張係数との中間の熱膨張係数を有することから、応力緩衝部材として機能させることも可能になり、パワーモジュールの熱サイクル寿命を一層向上させることができる。
ここで、冷却器本体および板材に同じ温度差が付与され、これらの寸法差等に起因して冷却器本体部が板材よりも大きく変形しようとしたときに、板材と冷却器本体部とが前記のようにはんだ接合されたことによって、冷却器本体部の変形に伴い板材も強制的に変形させられようとしても、冷却器本体部において板材が接合される少なくとも表面側が純度99.0%以上の純Alにより形成されて、この表面側に沿面方向の塑性ひずみが生じ易くなっているので、板材と冷却器本体部との接合部、および絶縁回路基板と板材との接合部に大きな負荷が作用して亀裂が生じ易くなるのを防ぐことができる。
以上より、板材と冷却器本体部との間の熱抵抗を低減させてパワーモジュールのトータル熱抵抗を低くすることが可能になり、このパワーモジュールの高出力化に対応させることができるとともに、パワーモジュールが使用される過程において、板材と冷却器本体部との接合部、および絶縁回路基板と板材との接合部それぞれに亀裂が生ずるのを防ぐことが可能になり、このパワーモジュールに高い接合信頼性を具備させることができる。
なお、前記はんだ層は、例えばZn−Al系のはんだ材により形成されるのが望ましい。
本実施形態のパワーモジュール10は、セラミックス板11を有する絶縁回路基板12と、セラミックス板11の表面側に設けられた半導体チップ13と、セラミックス板11の裏面側に設けられた冷却器14とを備えている。
絶縁回路基板12は、セラミックス板11と、このセラミックス板11の表面にろう付けにより接合された回路板11aと、セラミックス板11の裏面にろう付けにより接合された金属板11bとを備えている。そして、半導体チップ13は、回路板11aの表面に第1はんだ層15を介して接合されている。
また、天板部19aの裏面には、凹部19bに向けて突出する複数のコルゲートフィン19dがろう付けされている。
また、板材17と冷却器本体部19の天板部19aとを接合する第3はんだ層18は、例えばZn−Al系のはんだ材により形成されるのが望ましい。このZn−Al系のはんだ材は、Pb系のはんだ材や無鉛系のはんだ材よりも融点が高いので、第1はんだ層15を介して半導体チップ13と回路板11aとを接合したり、第2はんだ層16を介して金属板11bと板材17とを接合したときに、第3はんだ層18は溶融することがなく、また、熱サイクル下で使用される過程において、この第3はんだ層18に亀裂が生ずるのを防ぐことができる。さらに、板材17および天板部19aの互いに対向する表面にNiメッキ層を形成しなくても、これら17、19aを良好に接合することができる。
また、冷却器本体部19の天板部19aの厚さは0.5mm以上5.0mm以下とされている。0.5mmより小さいと、前記凹部19bを通過する冷媒の流体圧によってこの天板部19aが変形するおそれがある。なお、天板部19aのパワーモジュール10の積層方向に直交する方向に延びる表裏面の面積は、板材17よりも大きくなっており、板材17は、天板部19aの表面にその外周縁よりも内側に配置されている。
以上より、板材17と天板部19aとの間の熱抵抗を低減させてパワーモジュール10のトータル熱抵抗を低くすることが可能になり、このパワーモジュール10の高出力化に対応させることができるとともに、パワーモジュール10が使用される過程において、板材17と天板部19aとの接合部(第3はんだ層18)、および絶縁回路基板12と板材17との接合部(第2はんだ層16)それぞれに亀裂が生ずるのを防ぐことが可能になり、このパワーモジュール10に高い接合信頼性を具備させることができる。
実施例および比較例として、AlNを主成分とする材質により形成されたセラミックス板11の縦、横および厚さがそれぞれ30mm、30mmおよび0.635mmとされ、純度99.5%の純Alにより形成された回路板11aおよび金属板11bの縦、横および厚さがそれぞれ28mm、28mmおよび0.6mmとされ、純Al若しくはAl合金により形成された前記天板部の縦、横および厚さがそれぞれ100mm、100mおよび1.5mmとされ、コルゲートフィン19dの肉厚および高さ(図1の紙面の上下方向の大きさ)がそれぞれ0.3mmおよび3mmとされ、無酸素銅により形成された板材17の縦、横および厚さがそれぞれ30mm、30mmおよび1.5mmとされ、金属板11bと板材17を接合する第2はんだ層16がSn−Ag−Cu系のはんだ材とされ、板材17と前記天板部を接合する第3はんだ層18がZn−Al系のはんだ材とされたパワーモジュール用部材を採用した。
さらに、従来例として、前記実施例および比較例と全く同じヒーターチップ、セラミックス板11、回路板11a、金属板11b、板材17およびコルゲートフィン19dを採用するとともに、前記と同様の寸法の純度98.5%のAl合金により形成された天板部を採用し、板材17と天板部とははんだ接合せず、これらの間に熱伝導性グリースを介在させたパワーモジュール用部材を採用した。
以上の構成において、表1に示すように、前記天板部の材質や板材17の有無を異ならせた10種類のパワーモジュールサンプル、および前記従来例のパワーモジュール用部材を有するパワーモジュールサンプルを準備した。
ここで、比較例1から3では、天板部が、純度99.0%以上の純Alにより形成されても、絶縁回路基板と冷却器本体部との間に板材が設けられていなければ、熱サイクル寿命が2500サイクル以下であり、また、比較例4および5では、前記板材が設けられていても、天板部が純度99.0%より小さいAl系材料により形成されると、熱サイクル寿命が3500サイクル以下であり、いずれの場合も十分な熱サイクル寿命を確保することができないことが確認された。
また、前記従来例の初期熱抵抗値は0.72(℃/W)であるのに対し、実施例の初期熱抵抗値は0.28(℃/W)〜0.30(℃/W)であり、従来例と比べて半分より小さくできることが確認された。さらに、上述したように、実施例では前記熱サイクル寿命が4000サイクル以上であり、従来例と同等に維持できることが確認された。
11 セラミックス板
12 絶縁回路基板
13 半導体チップ
14 冷却器
17 板材
18 第3はんだ層
19 冷却器本体部
19a 天板部
19b 凹部
19c 底板部
Claims (1)
- 表面側に半導体チップが設けられた絶縁回路基板の裏面側に設けられるパワーモジュール用の冷却器であって、
前記絶縁回路基板は、セラミックス板と、このセラミックス板の表面に接合された回路板と、前記セラミックス板の裏面に接合された金属板とを備えており、
純度99.90%以上の純Cuにより形成された板材と、少なくともこの板材が設けられる表面側が純度99.0%以上の純Alにより形成された冷却器本体部とを備え、
前記板材は、その表面が前記絶縁回路基板の裏面側に接合され、裏面が前記冷却器本体部の表面にはんだ接合されており、
前記板材の表面には第2はんだ層が形成され、前記板材と前記冷却器本体部との間には第3はんだ層が形成されており、
前記第2はんだ層は、Sn85wt%以上、Ag0.5wt%以上、Cu0.1wt%以上である3元以上の多元系合金からなるはんだ材で形成され、前記第3はんだ層は、Zn−Al系はんだ材で形成されていることを特徴とする冷却器。
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