JP4916461B2 - アクティブマトリクス基板およびそれを備えた表示装置 - Google Patents
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Description
図1および図2に、本実施形態における液晶表示装置100を示す。図1は、液晶表示装置100の1つの画素領域を模式的に示す上面図であり、図2は、図1中の2A−2A’線に沿った断面図である。
図6および図7(a)〜(c)を参照しながら、本実施形態における液晶表示装置200を説明する。以下では、実施形態1における液晶表示装置100と異なる点を中心に説明する。
図13および図14(a)〜(d)に、本実施形態における液晶表示装置300を模式的に示す。
2 非表示領域(額縁領域)
10 基板(透明絶縁性基板)
11 信号配線
12 第1の層間絶縁膜
12a 基材(マトリクス)
12b シリカフィラー
12’ コンタクトホール
13 走査配線
13a 第1の導電部材
14 薄膜トランジスタ(TFT)
14G ゲート電極
14S ソース電極
14D ドレイン電極
15 画素電極
15a 第2の導電部材
16 ゲート絶縁膜
16’ コンタクトホール
17 半導体層(真性半導体層)
18 不純物添加半導体層
19 層間絶縁膜
19’ コンタクトホール
20 補助容量配線
21 補助容量電極
23 シールド電極
30 ゲートドライバ
40 ソースドライバ
60 液晶層
100、200、300 液晶表示装置
100a、200a、300a アクティブマトリクス基板(TFT基板)
Claims (14)
- 基板と、
前記基板上に形成された複数の信号配線と、
前記複数の信号配線に交差する複数の走査配線と、
前記基板上に形成され、対応する前記走査配線に印加される信号に応答して動作する複数の薄膜トランジスタと、
前記複数の薄膜トランジスタを介して、対応する前記信号配線に電気的に接続され得る複数の画素電極と、を備え、
マトリクス状に配列された複数の画素領域と、
前記複数の画素領域によって規定される表示領域と、
前記表示領域の周辺に配置され、前記複数の画素領域を駆動するための信号が入力される複数の端子が設けられる非表示領域と、を有するアクティブマトリクス基板であって、
前記複数の薄膜トランジスタのそれぞれは、対応する前記走査配線に電気的に接続されたゲート電極と、前記ゲート電極を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート電極の上方に形成された半導体層と、前記半導体層上に形成されたソース電極およびドレイン電極とを有するボトムゲート型の薄膜トランジスタであり、
前記信号配線は、第1の層間絶縁膜を介して前記走査配線の下層に形成されており、前記第1の層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して対応する前記薄膜トランジスタの前記ソース電極に電気的に接続されており、
前記第1の層間絶縁膜は、前記ゲート絶縁膜よりも厚く、且つ、前記ゲート絶縁膜よりも比誘電率が低く、
前記複数の画素領域のそれぞれに前記複数の画素電極のそれぞれが設けられており、
前記第1の層間絶縁膜は、前記非表示領域には実質的に形成されていない、アクティブマトリクス基板。 - 前記第1の層間絶縁膜の厚さは、1.0μm以上4.0μm以下である請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記第1の層間絶縁膜の比誘電率は、4.0以下である請求項1または2に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記第1の層間絶縁膜は、有機成分を含む絶縁材料から形成されている請求項1から3のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記第1の層間絶縁膜は、Si−O−C結合を骨格とするスピンオンガラス(SOG)材料から形成されている請求項4に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記第1の層間絶縁膜は、Si−C結合を骨格とするスピンオンガラス(SOG)材料から形成されている請求項4に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記第1の層間絶縁膜は、シリカから形成されたフィラーを含むスピンオンガラス(SOG)材料から形成されている請求項4から6のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記半導体層は、アモルファスシリコンから形成されている請求項1から7のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記信号配線に略平行に延びるように形成されたシールド電極を有する請求項1から8のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記シールド電極は、前記走査配線に電気的に接続されている請求項9に記載のアクティブマトリクス基板。
- 前記基板上に形成された複数の補助容量配線をさらに備え、
前記シールド電極は、前記補助容量配線に電気的に接続されている請求項9に記載のアクティブマトリクス基板。 - 前記シールド電極は、前記画素電極のエッジに重なるように配置されている請求項9から11のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板。
- 請求項1から12のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板と、前記アクティブマトリクス基板上に配置された表示媒体層とを備えた表示装置。
- 前記アクティブマトリクス基板に前記表示媒体層を介して対向する対向基板をさらに備え、前記表示媒体層は液晶層である、請求項13に記載の表示装置。
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