JP4912293B2 - コンタクトホールの製造システムおよび方法 - Google Patents
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Description
一実施形態では、所望のコンタクトホールパターンは、第1方向(例えば、x方向)に沿って、最小ピッチを持つ一連のコンタクトホール(例えば、ソース/ドレインコンタクトホール)と、第2方向(例えば、y方向)に沿って、第2ピッチを持つ複数の半離間コンタクトホール24(例えば、Vssコンタクトホール)とを有する。本文中で使用されている、「高密度に実装された」コンタクトホールという用語は、ピッチの点では、約130ナノメータ(nm)から約270nmの密度を含み、一方で、「半離間」という用語は、ピッチの点では、約270nmから約500nmの密度を含む。前述のピッチ範囲はいくつかのテクノロジーノードにかかることは明らかであろう。例えば、130nmのテクノロジーノードは、ピッチが約380nmから約400nmの、高密度に実装されたコンタクトホールを有し得るが、一方で、90nmのテクノロジーノードではピッチが約240nmの、高密度に実装されたコンタクトホールを有し得る。65nmのテクノロジーノードは、ピッチが約150nmから約160nmの、高密度に実装されたコンタクトホールを有し得る。更に、高密度に実装されたピッチ範囲のローエンド(low end)は、193nmの光源において、120nm以下にまで達する。波長のより短い光源(例えば、極紫外線あるいは157nm)は本文に説明する方法およびデバイスから恩恵を得て、ピッチをさらに縮めることができることは明らかであろう。
以下で詳しく説明するように、そのようなコンタクトホールパターンは、所望のコンタクトホールパターンを有する1つのマスクを露光する、カスタマイズされた直交するダイポールアパーチャペアを含む、ダブルダイポール照射源を生成し採用することで形成することができる。
一実施形態では、マスク48は、石英基板にエッチングされたクロムパターンを有する透過性のバイナリマスクを含み得る。しかし、本発明の範囲から逸脱することなく、反射マスク、位相シフトマスク、減衰マスクなどのその他のマスクを用いることができることは明らかであろう。マスク48を通過する光の、少なくとも第0次と第1次の回折コンポーネントは、レンズシステム50により、フォトレジスト58などの感光性膜で覆われたコンタクト層56を含む基板あるいはウェハ54などのターゲット52へ集束され得る。
概して、ダイポールペアは以下のパラメータを用いて特徴づけられ得る。そのようなパラメータとしては、ポールの方向(例えば、水平、垂直、あるいは、それに対するある角度)、内径、σin、外径、σout、およびポールの角度(くさび角度とも呼ばれる)が挙げられる。これらのパラメータを図5に例示する。
多くの場合、ICデバイスの製造において、ICデバイスの周辺領域にもフィーチャが作られる。通常、ICデバイスのコンタクト層の周辺領域の所望のコンタクトホールパターンは、ランダム配列のコンタクトホールを含み、その密度は、最小ピッチの一定間隔毎の一連のコンタクトホールから、完全に離間したコンタクトホールにまで及び得る。
Claims (7)
- 集積回路デバイス(10)のコンタクト層(56)において、第1方向に沿った第1ピッチを有する複数の規則的間隔が設けられたコンタクトホール(20)と、前記第1方向とは直交関係にある第2方向に沿った第2ピッチを有する複数の半離間コンタクトホール(24)とを含む複数のコンタクトホール(20、24)を形成する方法であって、
前記コンタクト層の上方にフォトレジスト層(58)を提供するステップと、
所望のコンタクトホールパターンに対応するパターンを備えたマスク(48)を通じて光エネルギーを透過させるダブルダイポール照射源(42、44)へフォトレジスト層(58)を露光させ、前記露光の結果、前記フォトレジスト層(58)に転写される所望のコンタクトホールパターンが形成されるステップと、
前記パターニングされたフォトレジスト層(58)を用いて前記コンタクト層(56)をエッチングするステップと、を含み、
前記ダブルダイポール照射源(42、44)はペアの第1ダイポールアパーチャ(60)を含み、前記ペアの第1ダイポールアパーチャ(60)は、規則的間隔が設けられたコンタクトホール(20)をパターニングするために方向付けられるとともに最適化され、かつ、ペアの第2ダイポールアパーチャ(62)を含み、前記ペアの第2ダイポールアパーチャ(62)は、前記複数の半離間コンタクトホール(24)をパターニングするために前記ペアの第1ダイポールアパーチャ(60)に実質的に直交に方向付けられるとともに最適化され、かつ、前記ペアの第1ダイポールアパーチャ(60)および前記ペアの第2ダイポールアパーチャ(62)は、(i)異なるサイズ、および/または、(ii)異なる間隔を有し、かつ、環状セクタアパーチャである、方法。 - 前記ペアの第1ダイポールアパーチャ(60)は実質的に垂直に方向付けられており、かつ、前記ペアの第2ダイポールアパーチャ(62)は実質的に水平に方向づけられている、請求項1記載の方法。
- 前記規則的間隔が設けられたコンタクトホール(20)のピッチは約120nmから約270nmであり、前記半離間コンタクトホール(24)のピッチは約270nmから約500nmである、請求項1〜3いずれか1項に記載の方法。
- 前記露光ステップは、前記ペアの第1および第2ダイポールアパーチャ(60、62)を通じて同時に照射するステップを含む、請求項1〜4いずれか1項に記載の方法。
- 前記複数のコンタクトホール(20、24)は、周辺領域(16)において、複数の不規則的に間隔が設けられた複数のコンタクトホールを含み、
前記周辺領域(16)において、前記フォトレジスト層(58)を、第2の所望のコンタクトホールパターンに対応するパターンを備えた第2マスクを通じて透過する光エネルギーを提供するローシグマの照射源へ露光させるステップを更に含む、請求項1〜5いずれか1項に記載の方法。 - 第1方向に沿って第1ピッチを有する、複数の規則的間隔が設けられたコンタクトホール(20)および、前記第1方向とは直交関係にある第2方向に沿って第2ピッチを有する、複数の半離間コンタクトホール(24)を含む、様々なピッチおよび密度の複数のコンタクトホール(20、24)をパターニングするために、照射源(42)とともに使用するアパーチャプレート(44)であって、
(i)前記複数の規則的間隔が設けられたコンタクトホールの開口部(20)をパターニングするためにカスタマイズされた第1ダイポールのペアの開口部(60)、および、
(ii)前記複数の半絶縁コンタクトホールの開口部(24)をパターニングするためにカスタマイズされた第2ダイポールのペアの開口部(62)を形成する基板を含み、
前記第1ダイポールのペアの開口部(60)は前記複数の規則的間隔が設けられたコンタクトホールの開口部(20)をパターニングするために方向付けられるとともに最適化され、前記第2ダイポールのペアの開口部(62)は前記複数の半離間コンタクトホール(24)をパターニングするために前記第1ダイポールのペアの開口部(60)に実質的に直交に方向付けられるとともに最適化され、かつ、前記第1ダイポールのペアの開口部(60)および前記第2ダイポールのペアの開口部(62)は異なるサイズおよび/または異なる間隔を有し、かつ、環状セクタ形状を有する、アパーチャプレート(44)。
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