JP4909036B2 - 光学式変位センサ - Google Patents
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Description
2 ヘッドユニット
2a 投光窓
2b 受光窓
3 伝送ケーブル
4 本体ユニット
11 投光器
12 投光レンズ
13 受光レンズ
14 受光器
15 ヘッドインジケータ
15a〜15c LED表示灯
21 表示部
22 セットキー
23 方向キー
24,25,27,28 LED表示灯
26 7セグメントLED表示部
31 変位量算出部
32 測定処理部
33 差分値生成部
34 差分値比較部
35 対象物検出処理部
36 基準点指定部
37 閾値記憶部
38 表示処理部
41 変位量更新処理部
42 変位量記憶部
43 計測値出力部
44 スポット数判別部
45 スポット幅判別部
A1 ワーク
A2 作業台
L1 投射光
L2 反射光
Claims (6)
- 検出対象物に投射光を照射する投光器と、
上記投射光の上記検出対象物による反射光を受光する受光器と、
上記受光器の出力に基づいて受光器上における受光スポットの1次元位置を判別し、この判別結果に基づいて上記検出対象物の変位量を算出する変位量算出手段と、
上記変位量算出手段により算出された変位量を一定の時間間隔でサンプリングし、前回までにサンプリングされた変位量の代表量と今回サンプリングされた変位量との差分値を求める差分値生成手段と、
上記差分値生成手段により求められた差分値を正のプラス側閾値及び負のマイナス側閾値と比較する差分値比較手段と、
上記差分値比較手段による比較結果に基づいて上記検出対象物の有無を判別し、この判別結果を示す検出信号を出力する対象物検出手段とを備え、
上記対象物検出手段は、差分値及びプラス側閾値の比較結果、及び、差分値及びマイナス側閾値の比較結果のいずれか一方の比較結果に基づいて検出信号をオンさせ、他方の比較結果に基づいて検出信号をオフさせることを特徴とする光学式変位センサ。 - 上記対象物検出手段は、差分値がプラス側閾値を正方向に越えた場合に検出信号をオンさせ、差分値がマイナス側閾値を負方向に越えた場合に検出信号をオフさせることを特徴とする請求項1に記載の光学式変位センサ。
- 上記変位量算出手段により算出された変位量を記憶する変位量記憶手段と、
上記変位量記憶手段に記憶されている変位量を表示する変位量表示手段と、
新たに変位量が得られた場合に、上記変位量記憶手段から読み出した変位量、及び、上記変位量算出手段により算出された変位量のいずれかを上記差分値比較手段による比較結果に基づいて選択し、上記変位量記憶手段を書き換える変位量更新手段とを備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式変位センサ。 - 上記受光器の出力に基づいて、受光器上における受光スポットの個数を判別するスポット数判別手段を備え、
上記変位量更新手段は、受光スポットの個数が1つである場合に変位量記憶手段の書き換えを行い、それ以外の場合には書き換えを行わないことを特徴とする請求項3に記載の光学式変位センサ。 - 上記受光器の出力に基づいて、上記受光スポットの幅を判別するスポット幅判別手段を備え、
上記変位量更新手段は、受光スポットの個数が1つである場合に上記スポット幅判別手段による判別結果に基づいて変位量記憶手段の書き換えを行うことを特徴とする請求項4に記載の光学式変位センサ。 - 上記受光器の出力に基づいて、受光器上における受光スポットの個数を判別するスポット数判別手段を備え、
上記変位量算出手段は、受光スポットの個数が1つである場合に当該受光スポットの1次元位置を判別して変位量を算出する処理を行い、それ以外の場合には変位量の算出処理を行わず、
上記差分値生成手段は、サンプリング時に新たな変位量が得られなかった場合に次のサンプリングまで差分値を求める処理を行わず、新たな変位量が得られた場合には当該新たな変位量及び前回得られた変位量から差分値を求めることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式変位センサ。
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