JP4905019B2 - パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール用基板並びにパワーモジュール - Google Patents
パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール用基板並びにパワーモジュール Download PDFInfo
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Description
さらに、ろう材の外周縁部と内方部分とで温度差が生じてしまい、ろう材の溶融状態がばらついて、均一にろう付けできなくなるおそれがあった。
さらに、複数の接点部が回路層に当接されているので、ろう材の外周縁部と内方部分とで温度差が生じにくく、ろう付けを均一に行うことができる。
この場合、セラミックス母材、回路層及び加圧板に、反り、うねり、局所的な厚さムラ、表面の凹凸等が生じていても、加圧した際にクッション材に沿って圧力が均等になり、複数の接点部を回路層に確実に当接させて通電することができ、ろう付けを均一に行うことができる。
この場合、加圧板がカーボンで構成されているので、高温でも劣化しにくく熱伝導性に優れており、ろう付けをさらに均一に行うことができる。また、雰囲気中の酸素濃度が低減され、パワーモジュール用基板の劣化を確実に防止できる。
このパワーモジュール1は、セラミックス板2の表面に回路層3がろう付けされたパワーモジュール用基板5と、回路層3の表面にはんだ層6を介してはんだ接合された半導体チップ7とを備えている。
なお、セラミックス板2は、例えばAlN、Al2O3、Si3N4若しくはSiC等で形成されている。回路層3及び金属層4はそれぞれ、例えば純Al若しくはAl合金で形成されている。冷却器8は、純Al、純Cu、Al合金、Cu合金で形成されている。また、はんだ層6は、例えばSn−Ag−Cu系若しくはZn−Al系のはんだ材とされている。さらに、セラミックス板2と回路層3及び金属層4とは、厚さが例えば10μm〜30μmのAl系のろう材箔15を用いてろう付けされている。
さらに、セラミックス板2は、セラミックス母材10を分割することにより形成されている。
まず、セラミックス母材10の表面にレーザ光を照射して、図4に示すように溝状のスクライブライン11を格子状に形成する。このセラミックス母材10をスクライブライン11に沿って分割することでセラミックス板2が形成される。ここで、セラミックス母材10には、図4に示すように、セラミックス板2を形成する製品部12と、後の工程で除去される非製品部13とを備えている。
この積層体18の両面、すなわち、回路層3の表面及び金属層4の表面に接するように、それぞれ加圧板20、20が配置される。
また、加圧板20の内部には、図2及び図3に示すように、例えばゴムなどの絶縁性被膜22Aが設けられた導線22が配線されており、その一端が加圧板20の端面に露出されている。また、加圧板20の前記接触面20Aには、前記導線22と通電可能に接続される接点部23が前記接触面20Aからわずかに突出するように設けられている。なお、本実施形態においては、複数の接点部23が設けられており、これらの接点部23には前記シート材21が配設されていない。
例えば、本実施形態では、パワーモジュール用基板として金属層を備えたものとして説明したが、この金属層を設けないものであってもよい。さらに、パワーモジュールとして冷却器を備えたものとして説明したが、この冷却器を設けないものであってもよい。
さらに、加圧板をカーボンで構成したものとして説明したが、これに限定されることはなく、絶縁性のセラミックスで構成してもよい。この場合、加圧板に電流が流れることがなくなるので、導線に絶縁性被膜を設けたり、絶縁性のシート材を配置したりする必要がなく、構成が簡単となる。
さらに、絶縁性及びクッション性を備えたシート材を配置したものとして説明したが、シート材は配置されていなくてもよい。
3 回路層
5 パワーモジュール用基板
7 半導体チップ
10 セラミックス母材
11 スクライブライン
13 非製品部
15 ろう材箔(ろう材)
18 積層体
20 加圧板
20A 接触面
21 シート材(クッション材、絶縁膜)
22 導線(導電部材)
22A 絶縁性被膜
23 接点部
Claims (5)
- 後の工程で除去される非製品部を備えたセラミックス母材の表面に回路層をろう付けするろう付け工程を有するパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記ろう付け工程においては、
前記セラミックス母材とろう材と前記回路層とが積層された積層体を、内部に導電部材が配設された加圧板により前記回路層の表面から積層方向に加圧し、
前記加圧板の前記回路層との接触面に設けられるとともに前記導電部材と通電可能とされた複数の接点部を、前記回路層の前記非製品部の表面に位置する部分に当接させ、
前記導電部材及び前記接点部を介して前記回路層に通電することにより、前記回路層自体を発熱させてろう付けすることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 請求項1に記載のパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記回路層と前記加圧板の前記接点部が形成されていない部分との間に、クッション材が配置されていることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記加圧板は、カーボンによって構成され、前記導電部材は絶縁体によって被覆された状態で前記加圧板内に配設されるとともに、前記接触面の前記接点部以外の部分には、絶縁膜が形成されていることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - セラミックス板の表面に回路層がろう付けされてなり、この回路層の表面に半導体チップがはんだ接合されるパワーモジュール用基板であって、
請求項1から請求項3のいずれかに記載のパワーモジュール用基板の製造方法により形成されたことを特徴とするパワーモジュール用基板。 - セラミックス板の表面に回路層がろう付けされたパワーモジュール用基板と、回路層の表面にはんだ接合された半導体チップとを備えたパワーモジュールであって、
前記パワーモジュール用基板は、請求項1から請求項3のいずれかに記載のパワーモジュール用基板の製造方法により形成されたことを特徴とするパワーモジュール。
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