JP4899903B2 - プリント配線板、電子装置、およびプリント配線板の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで冷却板両面に絶縁層と配線層とが積層されたプリント配線板、そのプリント配線板を備えた電子装置、およびプリント配線板の製造方法に関する。
近年、CPU等の半導体素子については、高集積化に加えて動作時の処理速度の高速化が進み、従来にも増して動作時の発熱量が増える傾向にある。このため、半導体素子が動作時に発生した熱を効率よく外部へ逃さないと、動作中に半導体素子の内部温度が動作温度の限界を超えて焼損してしまう恐れが出てくる。
現状では半導体素子の焼損を防ぐために、半導体素子上に冷却板を取り付けて冷却板にファンから送風を行なって強制空冷法によって半導体素子の冷却を行なっている。
図1は、その強制空冷法を説明する図である。
図1に示す様に、プリント配線板30上に実装された半導体素子31上に冷却板32が取り付けられ、ファン33からの送風により冷却板32が冷却されることにより半導体素子31が冷却される。
しかし、上記した様に動作時の発熱量が増え、現在ではその発熱量が50W/cmを超える状況にある。この50W/cmを超えると上記強制空冷法では効果的な冷却が行なわれなくなる。
そこで、冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで冷却板両面に絶縁層と配線層とが積層されたプリント配線板が提案されている(例えば特許文献1〜特許文献3参照)。
図2は、上記特許文献のうちの特許文献1中に記載されている冷却構造を示す図である。
図2に示す特許文献1の技術では、プリント配線板4内部に金属からなる冷却板40を設けさらにその冷却板40の中に複数の流路41を設けてそれらの流路41内に水を循環させておいて、半導体素子41が発した熱を金属柱状体42、冷却板40を通して流路41内の水にまで伝えてその水に吸熱を行なわせることでプリント配線板4に実装された半導体素子5を冷却している。
しかしながら、図2に示す構造では、冷却板40があるためにその冷却板40を間に挟む表面側の配線層4Aと裏面側の配線層4Bとの間にビアホールを設けて接続することができない。どうしてもその冷却板40を間に挟む表面側の配線層4Aと裏面側の配線層4Bを接続する必要がある場合には、冷却板40の部分を迂回する位置にまで配線パターンを延ばし延ばした先端の位置にビアホールViaを設けて接続することになってしまう。上記冷却板40を迂回する位置にまで配線パターンを延ばし延ばした先端の位置にビアホールViaを設けて接続する配線パターンの数が増えてくると、多数の配線パターンが冷却板40を迂回する部分に密集してパターニングが難しくなるとともに部品実装のレイアウト設計にも制約が加えられるという問題が出てくる。
また、冷却板40を迂回させて長い配線長を持つ配線パターンを作製することができたとしても、そのプリント配線板4が搭載された電子装置が動作してその長い配線長の配線パターンを通ってある信号が送出先に伝送されたときには、送出先側の信号波形に振幅値の低下が生じたり遅延等の影響により歪が生じたりして電子装置が誤動作してしまう恐れが出てくる。
特許第3815239号公報 特開2004−22973号公報 特開平5−291321号公報
本発明は、上記事情に鑑み、冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を最短経路で接続することができるプリント配線板、そのプリント配線板を備えた電子装置、およびそのプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明のプリント配線板は、冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板と、
上記冷却板を挟んでその冷却板両面に積層された絶縁層および配線層と、
上記冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を上記流路を貫通して接続する導体柱とを備えたことを特徴とする。
上記本発明のプリント配線板によれば、まず上記冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層とを接続する必要がある、少なくとも一つの位置に貫通孔を開けておいてそれらの孔に上記導体柱を差し込むことによって表裏面の配線層が接続される。さらに導体柱を差し込んで貫通穴を塞いだ後に上記流路に冷却液を流し込めば、その導体柱付近を効果的に冷却することができるプリント配線板が構成される。
このため、上記冷却板を貫通する導体柱によって上記冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層とが最短距離で接続されてその導体柱上を伝送される信号の振幅値が低下したり遅延等により歪が生じたりする恐れがなくなるとともに、表裏面の配線層上に実装された半導体素子の冷却が導体柱の冷却とともに効果的に行なわれる。
また上記構成によれば、表裏面の配線層中のどの位置にでも貫通孔を設けて導体柱を差し込むことができるので、表裏面側に実装される半導体素子のレイアウト設計が容易になるとともに、表裏面の配線層を含む各配線層のパターン設計の自由度が増すという効果が得られる。
ここで、上記冷却板の両面にそれぞれ密着した密着配線層を有し、
上記導体柱が上記密着配線層に半田接続されることにより上記流路のその導体柱まわりを密閉してなることが好ましい。
そうすると、上記流路が、密着配線層に半田接続され流路が密閉されるので、導体柱まわりから冷却液が漏れる恐れがない。
また、上記密着配線層の、上記導体柱の周囲部分が、その周囲部分を除く部分とは電気的に絶縁されたランドを形成し、上記導体柱は、そのランドに半田接続されてなることが好ましく、上記密着配線層のうちの少なくとも一方は、電源層又はグランド層であっても良い。
表面側の配線層から裏面側の配線層に向けて信号を伝送するときには、表面側の配線層中にある送り側から裏面側の配線層にある送り先に向けてだけ信号を伝送したいことがある。そのときには上記構成であると、表面側の配線層から裏面側の配線層に向けて信号が伝送される。また、上記密着配線層をグランド層、電源層として用いる場合には、上記ランドを設けずに導体柱をそのままそれらの層のいずれかに半田接続すれば良い。
また上記目的を達成する上記本発明の電子装置は、冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで、その冷却板両面に絶縁層と配線層とが積層され、冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を上記流路を貫通して接続する導体柱を有するプリント配線板と、
上記プリント配線板内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路と、
上記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液を冷却液循環経路内で循環させるポンプと、
上記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液循環経路内の熱を放熱する放熱部品とを備えたことを特徴とする。
上記本発明の電子装置によれば、上記ポンプが冷却液循環経路内に冷却液を循環させることによってプリント配線板の熱が冷却液に伝えられ伝えられた冷却液の熱が放熱部品から放熱される。上記構成であると、前述の50W/cmを超える多量の熱が半導体素子から発生したとしても、循環する冷却液に熱が次々に伝えられ伝えられた熱が放熱部品から次々に放熱されるので冷却が充分に行なわれる。
また、上記目的を達成する本発明の製造方法は、冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで、冷却板両面に絶縁層と配線層を積層することにより積層体を形成する工程と、
上記積層体の表裏面および上記流路を貫通する貫通孔を形成する工程と、
半田めっきされた導体柱を上記貫通孔内に差し込み、上記冷却板を間に挟む表面側の配線層および裏面側の配線層に接続する工程とを有することを特徴とする。
上記本発明の製造方法によれば、前の工程で導体柱を差し込む位置に貫通孔を形成して後の工程でその貫通孔内に上記導体柱を差し込むことで、上記表面側の配線層と裏面側の配線層を最短の経路で接続することができる。このため、従来の様に冷却板を迂回する位置にまでパターンを延ばして配線長の長い配線パターンを設ける必要がなくなり、接続が容易になるという効果が得られる。さらに上記本発明の製造方法によれば、表裏面の配線層間を接続するときに導体柱を用いることができるので、表裏面のレイアウト設計の自由度が増し、さらには配線パターンの自由度が増すという効果が得られる。
本発明によれば、冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を最短経路で接続することができるプリント配線板、そのプリント配線板を備えた電子装置、およびそのプリント配線板の製造方法が実現する。
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図3は、冷却液が流れる流路11が内部に形成された冷却板10を挟んで冷却板10両面に絶縁層と配線層とが積層されたプリント配線板1を示す図である。また図4は、図3のプリント配線板1の積層構造を説明する図である。
図3には、冷却液が流れる流路11が内部に形成された冷却板10を挟んでその冷却板10両面に絶縁層I1〜I6と配線層L1〜L8とが積層されたプリント配線板1を、プリント配線板1の表面から裏面に向かう方向に切断し切断した面を横方向から見た図が示されている。
図3に示すプリント配線板1の表面と裏面とには双方とも半導体素子12が実装されており、それらの半導体素子12から発せられる熱を冷却するためにプリント配線板1の中央に冷却板10が設けられている。
本実施形態ではプリント配線板の製造工程において、プリント配線板1の表面側の配線層L1と裏面側の配線層L8とを電気的に接続する必要がある場合には、表面の配線層L1から裏面の配線層L8にまで中央の冷却板10を貫通して開けられている貫通孔13に導体柱14が差し込まれることにより予め配線が行なわれる。この図3には、高速かつ高機能な処理が行なわれる半導体素子12Aをより効果的に冷却するために半導体素子12Aと基板1との接合部にあたるバンプ付近に多数本の導体柱14が差し込まれている例が示されている。
ここで、図4を参照して、プリント配線板1の構造を説明する。
図3に示すプリント配線板1は、図4に示す様に多層基板であって冷却板10を挟んで冷却板10両面に配線層L4、L5が積層され、さらにその配線層L4,L5の外側に絶縁層I3,I4、さらに配線層L3,L6、さらに絶縁層i2,I5、さらに配線層L2,L7、さらに絶縁層I1,I6、さらに配線層L1,L8が積層され多層基板が構成されている。
この例では、中央の冷却板10として1.5mm厚の樹脂材料、ここではガラスエポキシ系の基板FR4が2枚張り合わされている。また冷却板の内部には1mmの高さの流路が設けられていて、その流路内には、FR4と同様の樹脂材料が冷却液体として流される様になっている。
またそのFR4からなる冷却板10を挟んで、両側に、順に、両面銅張積層板(FR4基板)、絶縁層(プリプレグ)さらに両面銅張り積層板(FR4)が積層され重ねられた後、圧着されて図3に示すプリント配線板1が製造されている。
図3には、多層構造になっていて各配線層にはエッチングにより配線パターンが形成されていることが示されている。それらの配線層のうちの最も冷却板10に近い位置には、プリント配線板の双方から加圧され圧着されることによりFR4基板の一方の面の銅箔が冷却板10の両面に密着して密着配線層が形成されている。こうして銅張積層板の銅箔を利用して密着配線層L4,L5を形成しておくと、図3で説明した導体柱13をその密着配線層に半田接続して冷却板10内の流路を密閉することができる。詳細は後述する。
またこの例では、信号の種類に応じて、密着配線層L4,L5の、導体柱14の周囲部分が、その周囲部分を除く部分とは電気的に絶縁されたランドを形成し、導体柱14がそのランドに半田接続されていたり、導体柱14が冷却板の両面のうちのいずれか一方の密着配線層L4,L5に形成されているベタパターンにそのまま半田接続されたりしている。つまり、冷却板10の両面の密着配線層L4,L5のいずれもをベタパターンとしておいて一方をグランド層とし他方を電源層とすると、それらの層と表裏面の配線層とを導体柱14で接続することも、それらには接続せずに表面側の配線層と裏面側の配線層とを導体柱で接続して特定の信号を表面の配線層から裏面の配線層へと伝送することもできる。
この様に、導体柱14でプリント配線板1の表面と裏面とを接続することができると、最短の経路で表裏面の配線パターンを接続することができ、また配線層中のグランドと密着配線層で形成したグランド層とを導体柱で接続することも、また配線層中の電源ラインと密着配線層で形成した電源層とを導体柱で接続することもできる。
さらには、表裏面の配線層やグランドパターンとの接続や電源パターンとの接続が導体柱を用いて簡単に行なわれるので、プリント配線板が有する複数の配線層それぞれのパターニングがいままでよりも簡単になるという波及効果も得られる。
ここで、冷却板10内の流路の構成を説明する。
図5は、冷却板10内の流路を説明する図である。
図5には冷却板10を内蔵するプリント配線板の外形が示されており、この図5には外形寸法100mm×100mmのプリント配線板が例として掲げられている。前述した様に、冷却板の厚みは3mmであり、その冷却板の中に高さ1mmの流路11が設けられている。
その流路11は、多くの仕切りにより仕切られることにより形成されており、冷却液を流し込む冷却液入口11Aと熱を含んだ冷却液を外部へと流し出す冷却液出口11Bとを結ぶ様にして設けられている。
この構成であると、例えばポンプによって冷却液入口11Aにまで冷却液を導かせ導かせた冷却液を冷却液入口11Aから流路11内に流入させ、さらには循環させることにより半導体素子12が発した熱をその冷却液に吸熱させ、さらに吸熱させた熱を冷却液出口から冷却板10の外部へ運んで放熱させるができるので、半導体素子12から多量の熱が発生されたとしてもその熱が効率よく放熱され半導体素子が充分に冷却される。
なお上記構成では、流路11を貫通する導体柱14を冷却することによってプリント配線板1の表裏面に実装されている半導体素子12の冷却を行なうことになるので、流路の構造によって冷却能力が変化するが、上述した様に3mm厚の冷却板10を構成してその冷却板10内に高さ1mmの流路を設けて流路11内に冷却液を流しただけでも高速かつ高機能化が達成された半導体素子12が充分に冷却される。
ここで、流路11を貫通する貫通孔13に導体柱14を差し込んだ後、どのようにして流路11が密閉されるかを説明しておく。もしも流路11が密閉されないと、冷却液が漏れて冷却性能が落ちてしまう。
図6は、どのようにして流路11が密閉されるかを説明する図である。
なお、図6には、密着配線層L5の、導体柱14の周囲部分が、周囲部分を除く部分とは電気的に絶縁されたランドLANDが形成され、導体柱14が、そのランドLANDに半田接続された例が示されている。なお図6には両側から加熱圧着により多層基板が製作されたときに図6の下方に示す様に基板上の銅箔がエッチングされた部分に絶縁層が流れ込んで絶縁層が形成された後の状態が示されている。このため図6のランドLANDの周囲には絶縁層INSが形成されその絶縁層INSの外側の銅箔は残されたままになっている。
図6に示す密着配線層L5は上述した様に銅張積層板の表面の銅箔により形成されているので、導体柱14も同じ材質の銅で構成されている。その導体柱14のまわりには半田めっき14Sが施されさらに半田めっき14Sの表面には密着配線層L5とのぬれ性を上げるためのフラックスが塗布されている。このため、導体柱14が差し込まれた後、導体柱14に加熱処理が施されると、導体柱14まわりの半田めっき14Sが溶融して密着配線層L5を形成する銅箔上にフラックスと共に流れ込んでランドLANDの銅箔になじみ、半田が冷えると同時に導体柱14がランドLANDに半田接続される。
こうして、密着配線層L5中のランドLANDと導体柱14とが半田接続されると流路11が密閉され、冷却液を流しても冷却液が流路から漏れることがないので、冷却液によっての冷却がより効果的に行なわれる。
図7は、本実施形態のプリント配線板1の製造方法を説明する図である。
図7には、製造方法が3つの工程で示されている。
まず第1ステップの工程において冷却液が流れる流路11が内部に形成された電気絶縁材料からなる冷却板11を挟んで、冷却板11両面に絶縁層I1〜I6と配線層L1〜L8を積層することにより積層体を形成する。このときには両面に銅が張られたFR4基板を複数枚用いて加圧処理などを施すことで積層体が容易に形成される。
次の第2ステップの工程へ進んで積層体の表裏面L1,L8および流路11を貫通する貫通孔13を形成する。
次の第3ステップの工程で、半田めっきされた導体柱14を第2ステップで形成された貫通孔13内に差し込み、加熱により、冷却板10を間に挟む表面側の配線層L1および裏面側の配線層L8に半田接続すると、最下方に示すように導体柱14が密着配線層に半田接続される。
以上説明した製造方法でこのプリント配線板を製作すると、導体柱でプリント配線板の表面と裏面とを最短経路で接続することができる。また、プリント配線板の表面側と裏面側の配線層の中のどの位置であろうとも貫通孔を設けることができるので、パターン設計の自由度が増すという効果が得られる。
最後にこのプリント配線板1が適用された電子装置を説明する。
図8は、プリント配線板1の両面には表面実装型の半導体素子が実装されることを説明する図である。図9は、本発明のプリント配線板1の両面に半導体素子が実装され半導体素子が実装されたプリント配線板1が電子装置内に搭載されるときに、電子装置内部にある冷却液循環経路を構成する配管とプリント配線板内の流路とが接続され冷却装置が構成されたときの状態を示す図である。
図8に示す様にプリント配線板1の両面に例えばリフロー法により表面実装型の半導体素子12が実装されたら、そのプリント配線板が図9に示す様に電子装置の内部に組み込まれる。
図9に示す電子装置内には、プリント配線板1内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路が配管により構成されており、その配管により構成されている冷却液循環経路の途中に、冷却液を冷却液循環経路内に循環させるポンプPumpが配備されている。さらに、その冷却液循環経路を構成する配管の途中には、その冷却循液循環経路内の熱を放熱する放熱部品Radiatorも備えられている。この放熱部品Radiatorには、冷却効果を高めるためにファンFAN1,FAN2が2つ備えられている。
図9の構成によれば、プリント配線板1に実装された半導体素子12から発熱があっても、ポンプPumpで配管内を循環させている冷却液によって導体柱14(図4参照)が冷却され、さらに導体柱の冷却により半導体素子12が冷却され、半導体素子12の動作中の温度上昇が抑制される。
以下に本発明の各種形態を付記する。
(付記1)
冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで該冷却板両面に絶縁層と配線層とが積層されたプリント配線板であって、
前記冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を前記流路を貫通して接続する導体柱を備えたことを特徴とするプリント配線板。
(付記2)
前記冷却板が、樹脂材料又はセラミック材料からなることを特徴とする付記1記載のプリント配線板。
(付記3)
前記冷却板の両面にそれぞれ密着した密着配線層を有し、
前記導体柱が前記密着配線層に半田接続されることにより前記流路の該導体柱まわりを密閉してなることを特徴とする付記1又は2に記載のプリント配線板。
(付記4)
前記密着配線層の、前記導体柱の周囲部分が、該周囲部分を除く部分とは電気的に絶縁されたランドを形成し、前記導体柱は、該ランドに半田接続されてなることを特徴とする付記3記載のプリント配線板。
(付記5)
前記密着配線層のうちの少なくとも一方が電源層又はグランド層であることを特徴とする付記3又は4に記載のプリント配線板。
(付記6)
前記密着配線層が銅の層であり、前記導体柱は銅の柱に半田めっきされたものであることを特徴とする付記3〜5のいずれか1項に記載のプリント配線板。
(付記7)
冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで、該冷却板両面に絶縁層と配線層とが積層され、該冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を前記流路を貫通して接続する導体柱を有するプリント配線板と、
前記プリント配線板内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路と、
前記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液を該冷却液循環経路内で循環させるポンプと、
前記冷却液循環経路の途中に配備された、該冷却循液循環経路内の熱を放熱する放熱部品とを備えたことを特徴とする電子装置。
(付記8)
冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで、該冷却板両面に絶縁層と配線層を積層することにより積層体を形成する工程と、
前記積層体の表裏面および前記流路を貫通する貫通孔を形成する工程と、
導体柱を前記貫通孔内に差し込み、前記冷却板を間に挟む表面側の配線層および裏面側の配線層とを接続する工程とを有することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
基板上に実装された半導体素子を冷却するときによく用いられる強制空冷法を説明する図である。 従来の特許文献1中に記載されている冷却構造を示す図である。 冷却液が流れる流路11が内部に形成された、電気絶縁性材料からなる冷却板10を挟んで冷却板10両面に絶縁層と配線層とが積層されたプリント配線板1を示す図である。 図3のプリント配線板1の積層構造を説明する図である。 冷却板10内の流路を説明する図である。 冷却板10内部の流路がどのようにして密閉されるかを説明する図である。 本実施形態のプリント配線板1の製造方法を説明する図である。 プリント配線板1の両面には表面実装型の部品が実装されるということを説明する図である。 本発明のプリント配線板1が電子装置内に搭載されたときに、プリント配線板内の冷却板内の流路に冷却液を流し込んで循環させるときの構成を説明する図である。
符号の説明
1 プリント配線板
10 冷却板
11 流路
11A 冷却液入口
11B 冷却液出口
L1〜L8 配線層
I1〜I6 絶縁層
12 半導体素子
13 貫通孔
14 導体柱

Claims (7)

  1. 冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板と、
    前記冷却板を挟んで該冷却板両面に積層された絶縁層および配線層と、
    前記冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を前記流路を貫通して接続する導体柱とを備えたことを特徴とするプリント配線板。
  2. 前記冷却板の両面にそれぞれ密着した密着配線層を有し、
    前記導体柱が前記密着配線層に半田接続されることにより前記流路の該導体柱まわりを密閉してなることを特徴とする請求項1記載のプリント配線板。
  3. 前記密着配線層の、前記導体柱の周囲部分が、該周囲部分を除く部分とは電気的に絶縁されたランドを形成し、前記導体柱は、該ランドに半田接続されてなることを特徴とする請求項2記載のプリント配線板。
  4. 前記密着配線層のうちの少なくとも一方が電源層又はグランド層であることを特徴とする請求項3に記載のプリント配線板。
  5. 前記密着配線層が銅の層であり、前記導体柱は銅の柱に半田めっきされたものであることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載のプリント配線板。
  6. 冷却液が流れる流路が内部に形成された電気絶縁性材料からなる冷却板を挟んで、該冷却板両面に絶縁層と配線層とが積層され、該冷却板を間に挟む表面側の配線層と裏面側の配線層を前記流路を貫通して接続する導体柱を有するプリント配線板と、
    前記プリント配線板内の流路と接続され冷却液を循環させる冷却液循環経路と、
    前記冷却液循環経路の途中に配備された、冷却液を該冷却液循環経路内で循環させるポンプと、
    前記冷却液循環経路の途中に配備された、該冷却液循環経路内の熱を放熱する放熱部品とを備えたことを特徴とする電子装置。
  7. 冷却液が流れる流路が内部に形成された冷却板を挟んで、該冷却板両面に絶縁層と配線層を積層することにより積層体を形成する工程と、
    前記積層体の表裏面および前記流路を貫通する貫通孔を形成する工程と、
    導体柱を前記貫通孔内に差し込み、前記冷却板を間に挟む表面側の配線層および裏面側の配線層とを接続する工程とを有することを特徴とするプリント配線板の製造方法。





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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11101193B2 (en) 2018-11-13 2021-08-24 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Power electronics modules including integrated jet cooling

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115964983B (zh) * 2023-03-16 2023-05-16 深圳鸿芯微纳技术有限公司 Mtcmos自动链式连接方法、装置及电子设备

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0724294B2 (ja) * 1987-09-29 1995-03-15 株式会社日立製作所 半導体実装冷却構造体
JP3815239B2 (ja) * 2001-03-13 2006-08-30 日本電気株式会社 半導体素子の実装構造及びプリント配線基板
JP4350607B2 (ja) * 2004-07-23 2009-10-21 シャープ株式会社 プリント配線板の製造方法
JP4710460B2 (ja) * 2005-07-20 2011-06-29 株式会社村田製作所 セラミック多層基板、その製造方法、およびパワー半導体モジュール

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11101193B2 (en) 2018-11-13 2021-08-24 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Power electronics modules including integrated jet cooling

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