JP4897280B2 - ベアリングを有する放射線放出デバイス及び製造方法 - Google Patents

ベアリングを有する放射線放出デバイス及び製造方法 Download PDF

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Description

(関連出願の相互参照)
本発明の一実施形態は、放射線放出デバイス、具体的には改良型ベアリングを有するX線管、並びにその製造方法である。本発明の一実施形態は医用イメージングに使用することができ、さらに高パワーのX線管が使用される非破壊的管理の分野で使用することができる。
放射線医学では、シャフト上で回転する陽極を備えた電子管によってこうしたX線を発生させている。陰極と陽極の間に発生させた強力な電場によって、陰極が放出した電子を陽極に衝突させてX線を発生させている。このX線放出では、陽極にはそのシャフトによって正極性が加えられており、また陰極には負極性が加えられている。このユニットは、特に誘電体片によるか、電子管の筐体によって隔絶されている。この筐体はその一部をガラスから製作することができる。
この管球に強いパワーを加えると、陽極上への電子の衝突によってこの陽極を異常に加熱させる結果が生じる。パワーが過度に大きいと、陽極のエミッタ・トラックが劣化して衝突穴ができることがある。こうした過熱を防ぐために、電子流に対して常に新たでかつ常に低温の表面が提示されるように陽極を回転させている。
したがって、管球のモータによって機械式ベアリング内で陽極のシャフトを自由に駆動させている。このシャフトは陽極チェンバ内に配置させている。この陽極チェンバ自体は陽極の支持体内に形成される。ベアリングは一方では陽極支持体によって保持されると共に、また一方では陽極のシャフトを保持している。
実際に工業的規模で製作する場合、このベアリングは典型的なボールベアリングを有しており、一方磁気ベアリングは滅多に使用されない。回転陽極によって提起される問題点は、ベアリング内でのシャフトの回転中にボールをコーティングしている金属が急速に損耗することに起因する。ここでその実用寿命は約100時間であり、約6ヶ月から1年までの管球の使用期間に相当する。この問題を克服するために、ベアリングのボールに対して鉛や銀などの金属を薄い層状にしてコーティングすることが提唱されている。金属層のこの早期の損耗を抑えるために当技術分野では、ボール・ベアリングとシャフトの各表面間、ベアリングと陽極のシャフトの間の境界面に潤滑剤薄膜を配置させている。このためには、チェンバの内部をガリウム−インジウム−すずベースの液体で満たしている。こうした液体が選択される理由は、これによれば摩擦係数が改善され、ボール同士の衝突のノイズが低下し、かつ対流と伝導のいずれかによって陽極から固定部分へのシャフトの加熱による熱の伝達が増大するためである。これ以外の潤滑剤液体は脱ガス特性が悪いために選択されない。
ガリウム−インジウム−すずベースの合金を使用していることが困難の一因となることが分かっている。実際に、この合金は、周囲温度(摂氏10度から始まる温度)では液体であり、空気と接触すると非常に急激に酸化を受ける。この酸化物は固体であり、また約1から2分という非常に短い時間内に表面薄膜の形態をとる。このことは、こうした液体の工業的状態での取り扱いが中性雰囲気中や真空下で一定の注意を伴って実施されねばならないことを意味する。その上、この薄膜は潤滑品質を有しておらず、実際にこれからほど遠い。さらに、ガリウムは腐食性が極めて高い。この混合物を取り扱おうとすると実験室内であっても、液体がこぼれる可能性や漏れやあふれを起こし操作表面上に液溜まり(puddle)や付着を生じさせる可能性がある。このため、ホワイトルーム内(特に、製造中のシステム内(管球の筐体内))においてこれらの液溜まりや付着をすべて除去することは極めて困難である。実際に、しみをぬぐい取ったとしても、綺麗にしたばかりであるが完全には綺麗にできなかった位置に数秒以内に別の茶色がかったしみの形で再度出現することになる。このため、その空間の状態は高品質製造要件に適合していない。
ここで、この困難には、実験室またはプラント内における合金の取り扱い自体に関するもの、及び管球の製造中の真空下でのベアリング内への挿入様式に関するものという2つのタイプがある。さらに、この液体はベアリングのボールに関連したベアリング潤滑に寄与しているが、その純度が時間の経過と共に劣化する可能性があり、また最終的には、ボールのコーティングの場合と同様に、その効果がなくなる可能性がある。
欧州特許出願EP0479195A号公報
目下の放射線医学や将来的な放射線医学では、診断を向上させるために電子管により要求されるパワーが増大しつつある。このパワーの増大は、陽極の重量を6〜8キログラムまで増大させつつある。ベアリング内部において生じる影響が重大となる。さらに、毎秒2回転で連続回転させるコンピュータ断層法で使用する場合、そのベアリングは約8Gの加速度を受ける。毎秒3〜4回転の回転速度が予想される。この結果、ボールと液体を伴ったベアリングの(したがって、管球の)実用寿命はその時間が限られることがある。実際に、この液体は、ベアリング内部で加熱や摩擦が発生するに連れて(また、発生した際に)その特性を失う(したがって、その品質が下がる)ことがある。
本発明の一実施形態は、その内部でX線を発生させている筐体を備えたX線管などの放射線放出デバイスである。この筐体内には、陰極と、該陰極と対面すると共にシャフト上で回転するように配置させた陽極と、陽極シャフトを保持するためのチェンバを備えた陽極シャフト支持体と、が配置されている。このチェンバは、チェンバに対する潤滑剤流体の充填や流出を可能とさせるために、チャンネルあるいは穴または開口などの充填またはポンピングのための手段を有している。このチャンネルまたは穴開口には、その穴の内部でシフトすることができる栓塞用針を備えた埋め込みバルブが設けられている。この針には、中空であると共に針を操作するための手段が設けられた取外し可能スリーブが固定されており、このスリーブにはOリング・ジョイントが設けられているかつ/またはその針に周辺ジョイントが設けられている。
本発明の一実施形態は、X線管などの放射線放出デバイスのチェンバ内に潤滑剤液体を配置するための方法である。本方法は、穴または開口の壁に対してそのジョイントを押し当ててスリーブを針内で係合させる工程を含む。スリーブを押し当てている間に、スリーブのキャビティに接続された針のキャビティ内部に真空が確立される。チャンネルあるいは穴または開口から離れるように針を移動させるためにこのスリーブが再度操作されると共に、これらスリーブ及び針の相互に連絡のある2つのキャビティを通して真空下で潤滑剤流体がチェンバ内に流入される。
本発明の一実施形態は、以下の説明及び添付の図面からより明瞭に理解できよう。これらの図面は、純粋に表示のために提供したものであり、いかなる意味でも本発明の範囲を制限するものではない。
液体の取り扱いを解決するための第1の手法では、陽極支持体のチェンバ内に閉鎖及び開放が可能な穴または開口が製作される。この開口によってチェンバを満たすことが可能となる。この開口は、支持体内に製作したチャンネルを通して筐体の外部に接続されている。この場合では、管球の組み上げ後を含め任意の時点で、液体潤滑剤を真空下でチェンバ内に導入することができる。
しかし、この解決法は充填/流出サイクルの反復を実行する際に困難を生じさせる。実際に、管球の筐体の内部の真空を維持することが望ましく、またこれを、チェンバ内の液体の充填や流出操作の前、該操作中及び該操作の後に実施しなければならない。したがって、その開口に対応させて管球の心棒を除去または作成するか、さもなければ陽極シャフトの支持体の位置においてケーシングの壁上にねじ留めされるか該壁に沿ってはんだ付けを受けるプラグなどの従来式の部分を除去することが望ましい。プラグのねじ留めやはんだ付けを外すことを含むこれらの取り扱い操作は実施可能ではあるが、これらの取り扱い操作は困難である。とりわけ、これらの操作は周囲空気とガリウム、インジウム及びすずの混合物との間に接触を生じさせ、したがって管球のチェンバを汚染させるリスクが不可避となる。この汚染は最終的に陽極の回転を停止させることになる。
したがって、重力での充填のためにボトルを使用すること、並びに真空を確立させて開口を閉じる操作のために心棒または単純なプラグを使用することのため、特に真空を得てガリウム−インジウム−すず混合物を配置させる際に、依然として不備が多くなり過ぎることが不可避である。
本発明の一実施形態は、2つの部分を有するデバイスを提唱する。第1の部分は、チャンネルの流入口の位置に挿入される充填バルブである。このチャンネルは、管球の壁の外部から陽極シャフトの支持体チェンバまで進んでいる。このバルブは、特にスプリングによって外装内をシフトさせることができる針を有している。この針はバルブを塞ぐ役割を果たす。その第2の部分として、本デバイスはさらに、針に対して固定された取外し可能なスリーブを有している。このスリーブは、バルブの内部で針を操作する役割をする。したがってこのスリーブを通じて、この針がバルブの内部におけるその位置に応じて穴または開口を開放または閉鎖しており、またこれによって潤滑用流体のチェンバ内への進入を許可または不許可としている。
このスリーブは、中空であるという追加的な特性を有する。したがって、潤滑剤流体がスリーブの内部を通過することができる。充填ボトルを真空下でスリーブに接続することによって、流量及び真空気密に関する最適条件で潤滑剤流体が流入されると同時に、完全に通過状態となるという結果が得られる。バルブ、スリーブ、及び針によって形成したアセンブリによって、チェンバ内への潤滑剤液体のポンピングまたは充填の操作時に実現が特に簡単な一体型システムが創成される。このスリーブはさらに、ガリウム−インジウム−すず混合物と接触させた第1の利用後に、同様でかつ全く未使用の別のスリーブと容易に交換することが可能である。したがってこの充填は、完全に工業的レベルの操作となる。
図1は、本発明の一実施形態によるX線管1を表している。管球1は筐体2を有している。例えば、筐体2は管球1の壁3によって境界画定された筐体である。管球1はさらに回転陽極4を有している。この回転陽極4は陰極5と対面するように配置されている。管球1の筐体2の内部には、陽極4を回転駆動するためのモータ6が存在する。陽極4は陽極シャフト7を有している。陰極5は陽極トラック8と対面するように配置されている。陽極4に高電圧をパワー供給すると、電子が陰極5から解放されると共に、これらは強力な電場の影響下で陽極トラック8に衝突する。この入射の影響下で、X線放出性材料によって形成された陽極トラック8はX線9を放出する。X線9は壁3内に製作されたウィンドウ10を通過して管球1から出てくる。ウィンドウ10は例えば、ガラスやX線に対して透明な材料から製作されている。このウィンドウは気密性である。こうして形成した筐体2は従来方式で(詳細には後で心棒によって塞がれる吸引穴(図示せず)を通じて)真空状態にする。
陽極4の回転状態を維持するために、管球1には陽極支持体11が設られている。この支持体11は中空であると共に、チェンバ12を有している。このチェンバ12内において、ベアリングまたは滑材13が支持体11によって陽極4を維持している。潤滑及び陽極4の回転による熱の伝達の問題を解決するために、チェンバ12をガリウム−インジウム−すず液体合金で満たすことがある。先ずチェンバ12内に導かれ次に管球1から出るようなチャンネルや開口または穴15などの手段を追加することによって、チェンバ12に対する充填及び/またはポンピング及び/または流出が可能となる。この充填は、管球1を組み上げた後でも可能であり、かつ充填操作の成功率を高めている。しかしこの場合であっても、チェンバ12の重力での充填のためにボトルを使用しており、かつ真空の確立及びチャンネル15の閉鎖を含む操作のために心棒または単純なプラグまたはストッパを使用しているため、依然として不備が多くなり過ぎること、並びにガリウム−インジウム−すずの混合物の酸化物により管球1が汚染するリスクが不可避である。
本発明の一実施形態は、チェンバ12のチャンネル15の外部端部にバルブ16を設けることによってこの問題を克服している。このバルブ16(図2に詳細を示す)は、バルブ16の内部を移動することができる針17を有している。一例として、この目的のために針17はバルブ16の外装18内へのねじ込みによって並進するようにガイドされている。この外装18は、バルブ16の壁19内にある対応するボア内にねじ込むか、あるいは強制はめ込みすることが好ましい。具体的な一例では、その外装18はチタン、ジルコニウム及びモリブデンに基づいた耐性が極めて高い材料から製作されている。針17はタンタル、ニオブ及びチタンに基づいた材料から製作されている。
このバルブ16はさらにスリーブ20を有している。このスリーブ20はかなり直線状のツールに対応するが、例えば湾曲した形状などに一致させることも可能である。スリーブ20は中空であり、このためにキャビティ21を有する。一変形形態では、そのスリーブ20は概して円形で円筒状の形状を有しており、そのキャビティ21はこの円形の円筒の中心軸に沿った両側に製作されている。スリーブは、針17上に固定するために、その端部のうちの一方の位置にスレッド22(この場合では、雄型スレッド)を有することが好ましい。このスレッド22は、針17の内部に製作された補完的(雌型)スレッド23と係合するように設計されている。針をスリーブに固定するために別の任意のシステムを企図する(例えば一変形形態では、弾性の係合機構を用いる)ことも可能である。
針17は中空であると共に、キャビティ24を有している。このキャビティ24は円筒状であると共に、ここでスレッド23と整列させている。キャビティ24は、針17のうちスリーブ20を受け容れている側で開いている。針17のもう一方の側では、キャビティ24は円錐形または球形のヘッド25によって閉鎖されている。中実としたヘッド25は、外装18のチャンネル15の座部26(すなわち、狭くなった構造)上に置かれており、このためこの座部26に当たるように平坦に配置させたときにこの穴を閉鎖している。スリーブ20のキャビティ21は、針17のキャビティ24と連絡している。針17の円錐形ヘッド25に使用される材料は、外装18のこの座部26と整合すると同時にガリウム−インジウム−すず液体による腐食に対する耐性が極めて高くなるように軟性(soft)なものとする。
針17を除去しても真空が確実に維持されるように、スリーブ20は、概ね高さの中間位置に、余分な厚みによって形成した肩部27を有している。この肩部27はバルブ16の上側リムに押し当ててOリング・ジョイント28を配置する役割を果たす。針17をそのヘッド25によって座部26に当てて配置させると、針のヘッドによって穴が閉鎖される。スリーブ20を針17内にねじ込むと、Oリング・ジョイント28は穴のリムに対して押し当てられる。この支持に到達しない限りチェンバ12内で真空が維持し続けられる。したがって、スリーブを操作し続けても(この場合では、スレッド23内へのねじ込みを続けても)、穴の上側リム上の支持された肩部構造27及びOリング・ジョイント28によって、スリーブ20がチェンバ12の方向に進むことが防止される。この結果、針17は座部26上でのその支持位置から後退する。次いで、チェンバ12のボリュームは、針17と外装18の間に存在するボリューム29に対して開いた状態となる。針の基部の位置では、スレッド23が存在する側と反対の側に、参照番号30などの穴が製作されている。穴30によって空間29は、針のキャビティ24と連絡した状態、またしたがってスリーブのキャビティ21と連絡した状態で配置される。真空下でチェンバ12をガリウム−インジウム−すずからなる液体金属合金で満たすことが求められるときは、Oリング・ジョイント28をバルブ16上に配置し終った後で針17を除去する前にキャビティ21、24及び29内を真空にする。ジョイント28を存在させることによってこの真空が維持される。
バルブ16のスリーブ20が存在しないときに真空を維持させるには、その外装18にバルブ16の開口部の近傍にリング31が設けられる(例えば、外装の上側リム内にねじ込まれる)。このリング31は、外装18のボア内部に突き出ているが、スリーブ20の体部を通過させることができる。リング31は外装18のボア内でエッジ32を形成している。コイルスプリング33は、先ずこのエッジ32の下面で支持され、次に針17の上面で支持される。リング31を外装18内にねじ込む(または、接着する)と、スプリング33によって針17が座部26を押すように戻されると共に、密着接合が提供される。さもなければ針17は、ねじ込み、接着、その他など別の任意の手段によって座部に押し当てて保持することができる。スリーブ20を存在させないときは、スプリング33または別の機構によって外装18の底部位置でチェンバ12の流入口チャンネル15に当たるように針17を保持することが可能である。このスプリング33は、鋼鉄をベースとしたチタンベースの耐食性付着物でコーティングすることや、さもなければこのスプリング33をタングステンから製作することもできる。単に例示として、バルブ16の高さを約15mmとし、外装18の内径を約10mmとし、かつ針17の直径を約7〜8mmとしている。
管球を構築しその内部に真空を確立した後で、操作用スリーブ20が設けられたバルブ16を通じて潤滑用液体合金を配置することが可能である。
図3〜6は、本方法の一実施形態による様々な充填工程を表している。図3では、2つのスレッド22及び23が接触状態になるまで操作用スリーブ20がバルブ16内に徐々に導入される。次いで、Oリング・ジョイント28が外装18上に支持されるまで針17内へねじ込むことによってスリーブ20が回される。この状態で、バルブは一体になるように位置決めされると共に、チェンバ12内には依然として真空が維持される。次いで、スリーブ20のもう一方の側に潤滑剤液体のボトルが配置される。ボトルの充填剤注入口は密接合式でスリーブ20につなげている。ボトルの注入口を開く前に、キャビティ21の空間内に真空を確立させる。この真空は、例えばT字接続によってスリーブに接続させた真空ポンプによって得ることがある。このT字接続の先端のうちの一方はスリーブ20に接続されている。このT字接続の残りの2つの先端はそれぞれ、タップによって交互に開放及び閉鎖される引き込み要素を有している。これら残り2つの先端のうちの一方は真空ポンプに接続されており、またもう一方は潤滑剤液体のボトルに接続されている。
この真空が得られた後、針17及びそのヘッド25をチャンネル15の座部26から持ち上げるように、バルブ内へのスリーブ20のねじ込みが継続される。この操作は、スリーブのストップ34が針17の壁のストップ35に当たるように位置するまでスプリング33が圧縮される際に生じる。このねじ込み操作の間に、針が自身を軸にして回転するのを防止するために、外装18のボア内に溝が製作されることがある。針17の周辺部の余分な厚みによって形成させたスタッド(stud)がこの溝内に係合されている。必要であれば、スプリング33がその2つの端部を介してこの回転防止の役割を果たすことができる。針を再度持ち上げると、キャビティ21、24及び29内に存在する真空が、チェンバ12内に存在する真空とリンクされる。
このデバイスは、チェンバ12内に補完的な真空を確立するためにも使用される可能性がある。図4を参照すると、針17のこの持ち上げが得られた後かつ真空を存在させた後、チェンバ12内に飽和するまで潤滑剤液体が導入される。例えば、この導入は重力によって実施される。液体はチェンバ12内に拡がると共に、機械的ベアリング13をコーティングする。注入すべき液体の量が限定されることがあり、また事前にボトル内に入れるように計画されていることがある。一変形形態として、潤滑剤をチェンバ12内に限定しこれが筐体2内に拡がるのを防ぐために、支持体11(図1)は漏れを防止するために毛細管作用によって働くジョイント37を有することがある。
充填が終わった後、スリーブ20が逆方向にねじを回して戻される。これにより、針のヘッド25が再度座部26に当たるように配置される。この位置では、そのボリュームが互いに分離されており、またボトル内には依然として真空が存在している。
次いで操作はボリューム29、24及び21内に存在する液体の重力による排出のための工程に進む(図5)。この排出は、ユニットをひっくり返すことによって実施される。この排出は針の開口30を通して可能となる。バルブ16の内部にはガリウムが少しも残らないようにすることが好ましい。次いで、ボトルに栓をしその内部に包含された液体を空気から遮断する。次いでバルブ16からスリーブ20が除去される。本方法のこの工程では、スプリング33の作用に対する補完として、空気の圧力も外装18の座部に当たるように針のヘッドを保持することに寄与する。
図6では、プラグまたはストッパ38を針17の心部まで導入し、スリーブ20の除去によって解放された空間のすべてを占有させる。次いで、プラグ38は外装18に沿ってはんだ付けすることができる。プラグ38の組成として使用する材料によって、チェンバ12及び支持体11から出た熱の熱伝導による筐体2からの放出を向上させることが好ましい。プラグ38はさらに、バルブ内に存在する潤滑剤の残留物による任意の外部汚染を防止するために使用される。プラグ38は針17が占有するキャビティを満たしている。
チェンバ12内で潤滑剤液体がその特性の一部を失ったときは、本明細書の上で記載した工程を逆転させることによってこれが交換される。換言すると、プラグ38が除去され、さらに前に使用していたスリーブ20あるいは以前のものがすでに汚損している場合は新たなスリーブがこのバルブ16内に導入される。チェンバ12内に存在する液体は重力によって除去される。次いで、好ましくはバルブを再度塞いだ後に、スリーブ20が排出される(または、スリーブが再度交換される)。次いで、必要であれば新たなスリーブ20を用いて新たな充填操作を実施することができる。
さらに、本発明の一実施形態に関して例示的な実施形態を参照しながら記載してきたが、本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく機能及び/または方法及び/または結果について様々な変更が可能であると共に、その要素の等価物による置換が可能であることは当業者であれば理解するであろう。さらに、多くの修正形態により、本発明の本質的範囲を逸脱することなく具体的な状況や材料を本発明の教示に適応させることができる。したがって、本発明を実施するように企図したベストモードとして開示した特定の実施形態に本発明を限定しようという意図ではなく、本発明は添付の特許請求の範囲の域内に入るすべての実施形態を包含するように意図している。さらに、「第1」、「第2」などの用語の使用は、何らかの順序や重要度を意味しておらず、「第1」、「第2」などの用語はむしろ、ある要素や特徴を別の要素や特徴と区別するために使用したものである。さらに、「a」、「an」などの用語の使用は、数量の限定を意味したものではなく、むしろ言及された要素や特徴が少なくとも1つ存在することを意味している。また、図面の符号に対応する特許請求の範囲中の符号は、単に本願発明の理解をより容易にするために用いられているものであり、本願発明の範囲を狭める意図で用いられたものではない。そして、本願の特許請求の範囲に記載した事項は、明細書に組み込まれ、明細書の記載事項の一部となる。
本発明の一実施形態によるX線管の模式的断面図である。 本発明の一実施形態によるバルブ及びそのスリーブの詳細図である。 チェンバを充填する方法の一実施形態を表した図である。 チェンバを充填する方法の一実施形態を表した図である。 チェンバを充填する方法の一実施形態を表した図である。 チェンバを充填する方法の一実施形態を表した図である。
符号の説明
1 X線管
2 筐体
3 壁
4 回転陽極
5 陰極
6 モータ
7 陽極シャフト
8 陽極トラック
9 X線
10 ウィンドウ
11 陽極支持体
12 チェンバ
13 ベアリング
15 チャンネル、開口、穴
16 バルブ
17 針
18 外装
19 バルブの壁
20 スリーブ
21 キャビティ
22 雄型スレッド
23 雌型スレッド
24 キャビティ
25 ヘッド
26 座部
27 肩部
28 Oリング・ジョイント
29 キャビティ
30 穴
31 リング
32 エッジ
33 コイルスプリング
38 プラグ、ストッパ

Claims (10)

  1. その内部で放射線(9)を発生させている筐体(2)と、
    前記筐体内にある、陰極(5)、該陰極と対面してシャフト(7)上で回転するように配置させた陽極(4)、及び陽極シャフト支持体(11)と、を備える放射線放出デバイス(1)であって、
    前記支持体は前記陽極シャフトを保持するためのチェンバ(12)を備えていること、
    前記チェンバは潤滑剤流体を用いた該チェンバの充填またはポンピングのための手段(15)を有すること、
    前記充填またはポンピングのための手段には、
    該充填またはポンピングのための手段内でシフトすることができる栓塞用針(17)と、
    該針に固定された取外し可能スリーブ(20)と、
    を備える埋め込みバルブ(16)が設けられていること、
    前記スリーブは中空であると共に、前記針を操作するための手段(22、23)が設けられており、前記筐体(2)により支持されるまで前記充填またはポンピングのための手段(15)を開き次いで閉じること、並びに
    前記スリーブにジョイント(28)が設けられていることかつ/または前記針に周辺ジョイント(28)が設けられていること、
    を特徴とする放射線放出デバイス。
  2. 前記針のキャビティの充填及び前記針のヘッド(25)の閉鎖の際に前記バルブ内にプラグ(38)が配置されること、
    を特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  3. 前記針は前記スリーブのスレッド(22)に対応するスレッド(23)を有していること、並びに
    前記スレッドは、これらを互いにねじ込んだ後に、前記針を操作することが可能であること、
    を特徴とする請求項1乃至2のいずれか一項に記載のデバイス。
  4. 前記バルブ(16)は前記針を受け容れるための座部(26)を備えた外装(18)を有すること、並びに
    前記充填またはポンピングのための手段を閉鎖するためにスプリング(33)が前記外装に対する反作用により針を押していること、
    を特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のデバイス。
  5. 前記針は中空であると共に、キャビティ(24)、円錐形または丸みのある中実なヘッド(25)及び前記外装に沿ってシフトする前記針と一体となったガイド部分を有すること、
    前記針はその壁(35)内に1つまたは複数の開口(30)を有すること、
    前記1つまたは複数の開口は、前記キャビティと、前記針の壁と前記外装の間にある前記バルブの空間(29)と、の間の連絡を可能にしていること、並びに
    前記スリーブ(20)は中空であると共に、前記針のキャビティ(24)と連絡するキャビティ(21)を有すること、
    を特徴とする請求項4に記載のデバイス。
  6. 請求項1乃至5のいずれかに記載の放射線放出デバイスのチェンバ内に潤滑剤液体を配置させるための方法であって、
    前記針(17)内で前記スリーブ(20)を係合させる工程を含むこと、
    前記スリーブ(20)のジョイント(28)が前記バルブ(16)の壁に押し当てられること、
    前記ジョイント(28)を押し当てている間に、前記スリーブのキャビティ(21)に接続された前記針のキャビティ(24)内に真空が提供されること、
    前記スリーブを再度操作して前記針を前記充填またはポンピングのための手段(25)から離れるように移動させること、並びに
    前記スリーブ及び前記針の相互に連絡のある2つのキャビティ(21及び24)と通じて、潤滑剤流体を真空下で前記チェンバ(12)内に流入させること、
    を特徴とする方法。
  7. 前記スリーブ(20)を再度操作し、前記針(17)を前記充填またはポンピングのための手段に当てること、
    前記針及び前記スリーブの中空部分から残留液体が流出されること、並びに
    前記スリーブ及びそのジョイント(28)が前記針及び前記バルブの前記壁との接触状態を解除されること、
    を特徴とする請求項6に記載の方法。
  8. 前記針のキャビティの充填及び前記針のヘッド(25)の閉鎖の際に前記バルブ内にプラグ(38)が配置されること、
    を特徴とする請求項6乃至7のいずれか一項に記載の方法。
  9. 前記バルブ(16)内に熱伝達性材料によって形成したプラグ(38)が配置されること、
    を特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項に記載の方法。
  10. ポンピング用に1つと充填用に1つの2つの異なるスリーブ(20)を使用してポンピング/充填サイクルが実行されること、
    を特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載の方法。

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