JP2003157783A - 回転陽極型х線管 - Google Patents
回転陽極型х線管Info
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- JP2003157783A JP2003157783A JP2001354377A JP2001354377A JP2003157783A JP 2003157783 A JP2003157783 A JP 2003157783A JP 2001354377 A JP2001354377 A JP 2001354377A JP 2001354377 A JP2001354377 A JP 2001354377A JP 2003157783 A JP2003157783 A JP 2003157783A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空容器内への液体金属潤滑材の飛散を防止
し、長時間にわたり信頼性の高い性能を維持できる回転
陽極型Х線管を提供すること。 【解決手段】 真空容器１０内に配置した陽極ターゲッ
ト１１と、この陽極ターゲット１１と一体で回転する内
側円筒１５ｂやスラストリング１８と、この内側円筒１
５ｂやスラストリング１８との嵌合部分に液体金属潤滑
材を用いる動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂ、Ｓａ、Ｓｂが
設けられた固定体１７と、液体金属潤滑材が真空容器１
０内の空間１０ａに漏れる開口部分の外側に所定容積の
空洞２７を形成するジャケット２６とを具備した回転陽
極型Х線管において、空洞２７内にニッケルが主体の潤
滑材捕捉部材２８を配置した。
し、長時間にわたり信頼性の高い性能を維持できる回転
陽極型Х線管を提供すること。 【解決手段】 真空容器１０内に配置した陽極ターゲッ
ト１１と、この陽極ターゲット１１と一体で回転する内
側円筒１５ｂやスラストリング１８と、この内側円筒１
５ｂやスラストリング１８との嵌合部分に液体金属潤滑
材を用いる動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂ、Ｓａ、Ｓｂが
設けられた固定体１７と、液体金属潤滑材が真空容器１
０内の空間１０ａに漏れる開口部分の外側に所定容積の
空洞２７を形成するジャケット２６とを具備した回転陽
極型Х線管において、空洞２７内にニッケルが主体の潤
滑材捕捉部材２８を配置した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は回転陽極型Х線管
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転陽極型Х線管は、真空容器内に配置
した陽極ターゲットを回転支持機構によって回転可能に
支持し、高速で回転する陽極ターゲットに対して電子ビ
ームを照射し、陽極ターゲットからХ線を放出させる構
造になっている。陽極ターゲットを支持する回転支持機
構は互いに嵌合する回転体および固定体を有し、両者の
嵌合部分に軸受が設けられている。
した陽極ターゲットを回転支持機構によって回転可能に
支持し、高速で回転する陽極ターゲットに対して電子ビ
ームを照射し、陽極ターゲットからХ線を放出させる構
造になっている。陽極ターゲットを支持する回転支持機
構は互いに嵌合する回転体および固定体を有し、両者の
嵌合部分に軸受が設けられている。
【０００３】軸受には、ボールベアリングのようなころ
がり軸受、あるいは、軸受面にらせん溝を形成し、動作
中に液状となる液体金属潤滑材たとえばガリウム（Ｇ
ａ）やガリウム−インジウム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）
合金をらせん溝の部分に供給する動圧式すべり軸受が用
いられている。
がり軸受、あるいは、軸受面にらせん溝を形成し、動作
中に液状となる液体金属潤滑材たとえばガリウム（Ｇ
ａ）やガリウム−インジウム−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）
合金をらせん溝の部分に供給する動圧式すべり軸受が用
いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の回転陽極型Х線
管、たとえば動圧式すべり軸受を用いた回転陽極型Х線
管は、その製造工程において、軸受部分の残存ガスを排
出する必要があり、軸受部分と真空容器内の空間は狭い
間隙を通して繋がっている。
管、たとえば動圧式すべり軸受を用いた回転陽極型Х線
管は、その製造工程において、軸受部分の残存ガスを排
出する必要があり、軸受部分と真空容器内の空間は狭い
間隙を通して繋がっている。
【０００５】したがって、管内を真空にする排気時ある
いは実使用時に、残存ガスと一緒に液体金属潤滑材が間
隙を通して真空容器内の空間に漏れ出す場合がある。液
体金属潤滑材が漏れると、真空容器内の空間に飛散し、
Х線管の耐電圧性能を低下させ、放電発生の原因にな
る。
いは実使用時に、残存ガスと一緒に液体金属潤滑材が間
隙を通して真空容器内の空間に漏れ出す場合がある。液
体金属潤滑材が漏れると、真空容器内の空間に飛散し、
Х線管の耐電圧性能を低下させ、放電発生の原因にな
る。
【０００６】そこで、従来の回転陽極型Х線管では、液
体金属潤滑材の飛散を防止するために、液体金属潤滑材
が真空容器内の空間に漏れ出す開口部分、たとえば真空
容器内の空間との境界に位置する嵌合部分の間隙開口の
近傍に所定容積の空洞を設け、その空洞内に多孔質の潤
滑剤捕捉部材を配置する方法が考えられている（特開平
５−１３０２９号公報）。すなわち、嵌合部分の開口か
ら漏れ出す液体金属潤滑材を空洞内の潤滑剤捕捉部材で
捕捉する方法である。
体金属潤滑材の飛散を防止するために、液体金属潤滑材
が真空容器内の空間に漏れ出す開口部分、たとえば真空
容器内の空間との境界に位置する嵌合部分の間隙開口の
近傍に所定容積の空洞を設け、その空洞内に多孔質の潤
滑剤捕捉部材を配置する方法が考えられている（特開平
５−１３０２９号公報）。すなわち、嵌合部分の開口か
ら漏れ出す液体金属潤滑材を空洞内の潤滑剤捕捉部材で
捕捉する方法である。
【０００７】この方法は、金めっきしたワイヤを編んだ
多孔質体を潤滑剤捕捉部材として使用している。このよ
うな材料を用いた場合、潤滑剤捕捉部材が液体金属潤滑
材を十分に捕捉することができず、液体金属潤滑材の漏
れを防止することが困難になっている。
多孔質体を潤滑剤捕捉部材として使用している。このよ
うな材料を用いた場合、潤滑剤捕捉部材が液体金属潤滑
材を十分に捕捉することができず、液体金属潤滑材の漏
れを防止することが困難になっている。
【０００８】本発明は、上記した欠点を解決し、真空容
器内への液体金属潤滑材の飛散を防止し、長時間にわた
り信頼性の高い性能を維持できる回転陽極型Х線管を提
供することを目的とする。
器内への液体金属潤滑材の飛散を防止し、長時間にわた
り信頼性の高い性能を維持できる回転陽極型Х線管を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空容器内に
配置した陽極ターゲットと、この陽極ターゲットと一体
で回転する回転体と、この回転体との嵌合部分に液体金
属潤滑材を用いる動圧式すべり軸受が設けられた固定体
と、前記液体金属潤滑材が前記真空容器内の空間に漏れ
る開口部分の外側に所定容積の空洞を形成するジャケッ
トとを具備した回転陽極型Х線管において、前記空洞内
にニッケルが主体の潤滑材捕捉部材を配置したことを特
徴とする。
配置した陽極ターゲットと、この陽極ターゲットと一体
で回転する回転体と、この回転体との嵌合部分に液体金
属潤滑材を用いる動圧式すべり軸受が設けられた固定体
と、前記液体金属潤滑材が前記真空容器内の空間に漏れ
る開口部分の外側に所定容積の空洞を形成するジャケッ
トとを具備した回転陽極型Х線管において、前記空洞内
にニッケルが主体の潤滑材捕捉部材を配置したことを特
徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１を
参照して説明する。符号１０は回転陽極型Х線管を構成
する真空容器で、図１ではその一部が示されている。真
空容器１０はガラスや金属で形成され、真空容器１０内
に重金属製の円盤状陽極ターゲット１１が配置されてい
る。陽極ターゲット１１はねじ１２で回転支柱１３に固
定されている。回転支柱１３は、陽極ターゲット１１を
回転可能に支持する回転支持機構１４に連結されてい
る。回転支持機構１４は回転体および固定体で構成さ
れ、回転支柱１３はその回転体の部分に連結されてい
る。
参照して説明する。符号１０は回転陽極型Х線管を構成
する真空容器で、図１ではその一部が示されている。真
空容器１０はガラスや金属で形成され、真空容器１０内
に重金属製の円盤状陽極ターゲット１１が配置されてい
る。陽極ターゲット１１はねじ１２で回転支柱１３に固
定されている。回転支柱１３は、陽極ターゲット１１を
回転可能に支持する回転支持機構１４に連結されてい
る。回転支持機構１４は回転体および固定体で構成さ
れ、回転支柱１３はその回転体の部分に連結されてい
る。
【００１１】回転体は、たとえば回転支柱１４が直接連
結した中間円筒１５ａおよび中間円筒１５ａの内側に接
合した有底円筒状の内側円筒１５ｂ、中間円筒１５ａの
外側に接合した銅製の外側円筒１５ｃから構成され、３
層構造になっている。内側円筒１５ｂの図示下端の開口
は、回転体の一部を構成するスラストリング１６によっ
て実質的に封止されている。また、内側円筒１５ｂおよ
びスラストリング１６で囲まれた内部空間に、回転支持
機構１４を構成する円柱状の固定体１７が嵌合されてい
る。
結した中間円筒１５ａおよび中間円筒１５ａの内側に接
合した有底円筒状の内側円筒１５ｂ、中間円筒１５ａの
外側に接合した銅製の外側円筒１５ｃから構成され、３
層構造になっている。内側円筒１５ｂの図示下端の開口
は、回転体の一部を構成するスラストリング１６によっ
て実質的に封止されている。また、内側円筒１５ｂおよ
びスラストリング１６で囲まれた内部空間に、回転支持
機構１４を構成する円柱状の固定体１７が嵌合されてい
る。
【００１２】固定体１７は、たとえば径大部１７ａおよ
びこの径大部１７ａよりも外径が小さい径小部１７ｂか
ら構成され、径大部１７ａと径小部１７ｂの境界に段差
面１７ｃが設けられている。径小部１７ｂの下端１７１
はスラストリング１６を貫通し、環状の封止部材１８に
気密接合され、さらに真空容器１０の外側まで伸びてい
る。
びこの径大部１７ａよりも外径が小さい径小部１７ｂか
ら構成され、径大部１７ａと径小部１７ｂの境界に段差
面１７ｃが設けられている。径小部１７ｂの下端１７１
はスラストリング１６を貫通し、環状の封止部材１８に
気密接合され、さらに真空容器１０の外側まで伸びてい
る。
【００１３】また、内側円筒１５ｂあるいはスラストリ
ング１６と固定体１７との嵌合部分に動圧式すべり軸受
が形成されている。たとえば固定体１７の外周面に設け
られた環状凹部１９の上方および下方の２箇所にらせん
溝（図示せず）を設け、このらせん溝の部分に液体金属
潤滑材を供給して、ラジアル方向の動圧すべり軸受Ｒ
ａ、Ｒｂを形成している。また、有底円筒状の内側円筒
１５ｂの底部と対向する固定体１７の図示上端面および
固定体１７の段差面１７ｃと対向するスラストリング１
６の図示上面に、らせん溝（図示せず）を設け、このら
せん溝の部分に液体金属潤滑材を供給して、スラスト方
向の動圧すべり軸受部Ｓａ、Ｓｂを形成している。
ング１６と固定体１７との嵌合部分に動圧式すべり軸受
が形成されている。たとえば固定体１７の外周面に設け
られた環状凹部１９の上方および下方の２箇所にらせん
溝（図示せず）を設け、このらせん溝の部分に液体金属
潤滑材を供給して、ラジアル方向の動圧すべり軸受Ｒ
ａ、Ｒｂを形成している。また、有底円筒状の内側円筒
１５ｂの底部と対向する固定体１７の図示上端面および
固定体１７の段差面１７ｃと対向するスラストリング１
６の図示上面に、らせん溝（図示せず）を設け、このら
せん溝の部分に液体金属潤滑材を供給して、スラスト方
向の動圧すべり軸受部Ｓａ、Ｓｂを形成している。
【００１４】固定体１７の内部には、液体金属潤滑材収
納用のリザーバ２０が管軸ｍに沿って形成されている。
また、リザーバ２０と環状凹部１９の間にダクト２１が
形成され、リザーバ２０の下端に通気路２２が設けられ
ている。ダクト２１はたとえば９０度間隔の軸対称に放
射方向に４箇所に形成されている。通気路２２はたとえ
ばその一端がリザーバ２０の図示下端部に連結し、他端
は固定体１７の外周面に開口し、管軸ｍに傾斜する向き
に形成されている。通気路２２の一部にたとえばガス抜
きピン２３が配置されている。
納用のリザーバ２０が管軸ｍに沿って形成されている。
また、リザーバ２０と環状凹部１９の間にダクト２１が
形成され、リザーバ２０の下端に通気路２２が設けられ
ている。ダクト２１はたとえば９０度間隔の軸対称に放
射方向に４箇所に形成されている。通気路２２はたとえ
ばその一端がリザーバ２０の図示下端部に連結し、他端
は固定体１７の外周面に開口し、管軸ｍに傾斜する向き
に形成されている。通気路２２の一部にたとえばガス抜
きピン２３が配置されている。
【００１５】上記の回転体たとえば内側円筒１５ｂと固
定体１７との嵌合部分およびリザーバ２０やダクト２１
などの各部分には、たとえばこれらの空間を埋める量の
液体金属潤滑材が供給されている。
定体１７との嵌合部分およびリザーバ２０やダクト２１
などの各部分には、たとえばこれらの空間を埋める量の
液体金属潤滑材が供給されている。
【００１６】また、固定体１７の径小部１７ｂの外側
で、たとえばスラストリング１６および封止部材１８で
挟まれた領域に、径小部１７ｂを囲んで液体金属潤滑材
の漏れを防止する漏洩防止リング２４が設けられてい
る。漏洩防止リング２４は、スラストリング１７と径小
部１７ｂとの隙間開口部分から漏れる液体金属潤滑材を
捕捉し、真空容器１０内の空間１０ａへの漏洩を防止し
ている。
で、たとえばスラストリング１６および封止部材１８で
挟まれた領域に、径小部１７ｂを囲んで液体金属潤滑材
の漏れを防止する漏洩防止リング２４が設けられてい
る。漏洩防止リング２４は、スラストリング１７と径小
部１７ｂとの隙間開口部分から漏れる液体金属潤滑材を
捕捉し、真空容器１０内の空間１０ａへの漏洩を防止し
ている。
【００１７】漏洩防止リング２４の断面形状は、たとえ
ば陽極ターゲット１１側に凹のＵ字状部２４ａおよび外
側に突出する鍔部２４ｂなどから構成され、鍔部２４ｂ
の部分がボルト２５による共締めでスラストリング１６
に固着されている。Ｕ字状部２４ａの固定体１７側に位
置する内筒部ａ１は径小部１７ｂの外周面とわずかな隙
間をもって嵌合し、その上下両端の内面は傾斜し、その
隙間はいずれも端部の方が広くなっている。
ば陽極ターゲット１１側に凹のＵ字状部２４ａおよび外
側に突出する鍔部２４ｂなどから構成され、鍔部２４ｂ
の部分がボルト２５による共締めでスラストリング１６
に固着されている。Ｕ字状部２４ａの固定体１７側に位
置する内筒部ａ１は径小部１７ｂの外周面とわずかな隙
間をもって嵌合し、その上下両端の内面は傾斜し、その
隙間はいずれも端部の方が広くなっている。
【００１８】また、漏洩防止リング２４の下方にリング
状ジャケット２６が設けられ、このジャケット２６によ
り、液体金属潤滑材を捕捉する空洞２７が径小部１７ｂ
を囲んで環状に形成されている。ジャケット２６の断面
形状は、たとえば陽極ターゲット１１側に凸のＵ字状部
２６ａおよび管軸ｍに向い内側に伸びる突出部２６ｂで
形成され、Ｕ字状部２６ａの外側に位置する外筒部ａ２
の下端が封止部材１８の外縁部に溶接などで固定されて
いる。この場合、ジャケット２６および封止部材１８に
よって所定容積の空洞２７が形成されている。
状ジャケット２６が設けられ、このジャケット２６によ
り、液体金属潤滑材を捕捉する空洞２７が径小部１７ｂ
を囲んで環状に形成されている。ジャケット２６の断面
形状は、たとえば陽極ターゲット１１側に凸のＵ字状部
２６ａおよび管軸ｍに向い内側に伸びる突出部２６ｂで
形成され、Ｕ字状部２６ａの外側に位置する外筒部ａ２
の下端が封止部材１８の外縁部に溶接などで固定されて
いる。この場合、ジャケット２６および封止部材１８に
よって所定容積の空洞２７が形成されている。
【００１９】ジャケット２６の突出部２６先端と漏洩防
止リング２４の間には小さな隙間Ｒ（図２）が設けら
れ、通気路２２の開口は隙間Ｒを通して真空容器１０内
の空間１０ａに連結している。また、突出部２６ｂと封
止部材１８で挟まれた通路の延長上に、たとえば通気路
２２の開口が位置し、同時に、その通路の延長部分は漏
洩防止リング２４の内筒部ａ１下端の隙間開口および隙
間Ｒに面している。そして、空洞２７内に、液体金属潤
滑材を捕捉する潤滑材捕捉部材２８が配置されている。
止リング２４の間には小さな隙間Ｒ（図２）が設けら
れ、通気路２２の開口は隙間Ｒを通して真空容器１０内
の空間１０ａに連結している。また、突出部２６ｂと封
止部材１８で挟まれた通路の延長上に、たとえば通気路
２２の開口が位置し、同時に、その通路の延長部分は漏
洩防止リング２４の内筒部ａ１下端の隙間開口および隙
間Ｒに面している。そして、空洞２７内に、液体金属潤
滑材を捕捉する潤滑材捕捉部材２８が配置されている。
【００２０】潤滑材捕捉部材２８には、たとえば液体金
属潤滑材との親和性が高い９９％以上の高純度のニッケ
ルを主体にした金属繊維、たとえば直径が２〜３０μｍ
の糸状のものを丸めてある厚さの塊にしたもの、あるい
は、糸状のものを縦糸、横糸にして織物のように編んだ
もの、または、気孔率が９０％以上の高気孔率に加工で
きるニッケル製の発泡体などが用いられる。なお、空洞
２７内に潤滑材捕捉部材２８を配置する場合は、たとえ
ば約５０％程度の充填率になるように加工して収納す
る。
属潤滑材との親和性が高い９９％以上の高純度のニッケ
ルを主体にした金属繊維、たとえば直径が２〜３０μｍ
の糸状のものを丸めてある厚さの塊にしたもの、あるい
は、糸状のものを縦糸、横糸にして織物のように編んだ
もの、または、気孔率が９０％以上の高気孔率に加工で
きるニッケル製の発泡体などが用いられる。なお、空洞
２７内に潤滑材捕捉部材２８を配置する場合は、たとえ
ば約５０％程度の充填率になるように加工して収納す
る。
【００２１】また、潤滑材捕捉部材２８を空洞２７内に
配置する場合、ガリウム（Ｇａ）やガリウム合金などの
液体金属潤滑剤との親和性すなわち濡れ性を高めるため
に、前処理として水素還元処理を行って酸化物を除去
し、さらに、潤滑材捕捉部材２８が内包するガスを取り
去るために、たとえば６００℃以上の温度で真空ガス出
し処理が行われる。
配置する場合、ガリウム（Ｇａ）やガリウム合金などの
液体金属潤滑剤との親和性すなわち濡れ性を高めるため
に、前処理として水素還元処理を行って酸化物を除去
し、さらに、潤滑材捕捉部材２８が内包するガスを取り
去るために、たとえば６００℃以上の温度で真空ガス出
し処理が行われる。
【００２２】ここで、空洞２７の近傍部分を抜き出し、
管軸ｍの左半分を拡大した構造を図２に示す。図２では
真空容器１０の部分が省略されている。また図１に対応
する部分には同じ符号を付し重複する説明は省略する。
管軸ｍの左半分を拡大した構造を図２に示す。図２では
真空容器１０の部分が省略されている。また図１に対応
する部分には同じ符号を付し重複する説明は省略する。
【００２３】上記した構成によれば、液体金属潤滑材が
真空容器１０内の空間１０ａに漏れる開口部分、たとえ
ば漏洩防止リング２４の内筒部ａ１下端の隙間開口部分
および通気路２２の開口部分の外側に所定容積の空洞２
７が設けられ、また、空洞２７内に、純度９９％以上の
ニッケル金属を素材にしたニッケル繊維あるいは高気孔
率に加工できるニッケル製発泡体の潤滑材捕捉部材２８
が配置されている。
真空容器１０内の空間１０ａに漏れる開口部分、たとえ
ば漏洩防止リング２４の内筒部ａ１下端の隙間開口部分
および通気路２２の開口部分の外側に所定容積の空洞２
７が設けられ、また、空洞２７内に、純度９９％以上の
ニッケル金属を素材にしたニッケル繊維あるいは高気孔
率に加工できるニッケル製発泡体の潤滑材捕捉部材２８
が配置されている。
【００２４】したがって、動作時、たとえば漏洩防止リ
ング２４の内筒部ａ１下端の隙間や通気路２２の開口か
ら真空容器１０内の空間１０ａに漏れる液体金属潤滑剤
は空洞２７に取り込まれ、潤滑材捕捉部材２８によって
捕捉される。この場合、ニッケルを主体とする金属繊維
体または気孔のある発泡金属体材料で形成された潤滑材
捕捉部材２８は液体金属潤滑剤との親和性が大きく、ま
た大きな接触面積が得られるため、多くの液体金属潤滑
剤が確実に捕捉される。
ング２４の内筒部ａ１下端の隙間や通気路２２の開口か
ら真空容器１０内の空間１０ａに漏れる液体金属潤滑剤
は空洞２７に取り込まれ、潤滑材捕捉部材２８によって
捕捉される。この場合、ニッケルを主体とする金属繊維
体または気孔のある発泡金属体材料で形成された潤滑材
捕捉部材２８は液体金属潤滑剤との親和性が大きく、ま
た大きな接触面積が得られるため、多くの液体金属潤滑
剤が確実に捕捉される。
【００２５】このような構造の潤滑材捕捉部材２８には
毛細管現象効果もあり、捕捉された液体金属潤滑剤は互
いに引き合いひとつに集まる。そのため、使用時にХ線
管の姿勢が変化しても、液体金属潤滑剤を保持すること
ができ、真空容器１０内の空間１０ａへの放出が防止さ
れ、長期に渡り確実で安定な強い捕捉効果が持続する。
また、耐電圧性能が劣化せず、長期間にわたり高信頼性
の動圧式すべり軸受を用いた回転陽極型Χ線管が得られ
る。
毛細管現象効果もあり、捕捉された液体金属潤滑剤は互
いに引き合いひとつに集まる。そのため、使用時にХ線
管の姿勢が変化しても、液体金属潤滑剤を保持すること
ができ、真空容器１０内の空間１０ａへの放出が防止さ
れ、長期に渡り確実で安定な強い捕捉効果が持続する。
また、耐電圧性能が劣化せず、長期間にわたり高信頼性
の動圧式すべり軸受を用いた回転陽極型Χ線管が得られ
る。
【００２６】また、空洞２７が通気路２２開口の横方向
たとえば通気路２２開口から管軸ｍに対し垂直方向に位
置するため、遠心力などで液体金属潤滑剤が外側に飛び
散っても、空洞２７内の潤滑材捕捉部材２８によって確
実に捕捉される。
たとえば通気路２２開口から管軸ｍに対し垂直方向に位
置するため、遠心力などで液体金属潤滑剤が外側に飛び
散っても、空洞２７内の潤滑材捕捉部材２８によって確
実に捕捉される。
【００２７】なお、Х線管を製造する排気工程では、軸
受内の残留ガスはたとえば通気路２２および隙間Ｒなど
を経て真空容器１０内の空間１０ａ側に排気される。ま
た実使用時はゲッターで吸収される。
受内の残留ガスはたとえば通気路２２および隙間Ｒなど
を経て真空容器１０内の空間１０ａ側に排気される。ま
た実使用時はゲッターで吸収される。
【００２８】上記の実施形態では、ジャケットと封止部
材とで空洞を形成している。しかし、ジャケット単独で
空洞を形成することもできる。また、封止部材などをジ
ャケットとして利用し、封止部材によって空洞を形成す
ることもできる。
材とで空洞を形成している。しかし、ジャケット単独で
空洞を形成することもできる。また、封止部材などをジ
ャケットとして利用し、封止部材によって空洞を形成す
ることもできる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、真空容器内の空間への
液体金属潤滑材の飛散を防止し、長時間にわたり高い信
頼性を維持できる回転陽極型Х線管を実現できる。
液体金属潤滑材の飛散を防止し、長時間にわたり高い信
頼性を維持できる回転陽極型Х線管を実現できる。
【図１】本発明の実施形態を説明するための縦断面図で
ある。
ある。
【図２】図１の要部を拡大した拡大図である。
１０…真空容器
１１…陽極ターゲット
１２…ねじ
１３…回転支柱
１４…回転支持機構
１５ａ…中間円筒
１５ｂ…内側円筒
１５ｃ…外側円筒
１６…スラストリング
１７…固定体
１８…封止部材
１９…固定体の凹部
２０…リザーバ
２１…ダクト
２２…通気孔
２３…ガス抜きピン
２４…漏洩防止リング
２５…ねじ
２６…ジャケット
２７…空洞
２８…潤滑材捕捉部材
ｍ…管軸
Ｒ…隙間
Ｒａ、Ｒｂ…ラジアル方向の動圧式すべり軸受
Ｓａ、Ｓｂ…スラスト方向の動圧式すべり軸受
Claims (4)
- 【請求項１】 真空容器内に配置した陽極ターゲット
と、この陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、こ
の回転体との嵌合部分に液体金属潤滑材を用いる動圧式
すべり軸受が設けられた固定体と、前記液体金属潤滑材
が前記真空容器内の空間に漏れる開口部分の外側に所定
容積の空洞を形成するジャケットとを具備した回転陽極
型Х線管において、前記空洞内にニッケルが主体の潤滑
材捕捉部材を配置したことを特徴とする回転陽極型Х線
管。 - 【請求項２】 真空容器内に配置した陽極ターゲット
と、この陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、こ
の回転体との嵌合部分に液体金属潤滑材を用いる動圧式
すべり軸受が設けられ、かつ、前記液体金属潤滑材を収
納するリザーバを設けた固定体とを具備した回転陽極型
Х線管において、一端が前記リザーバに連結し他端が前
記固定体の外周面に開口する通気路と、この通気路が開
口する部分の外側に位置する所定容積の空洞とを設け、
前記空洞内にニッケルが主体の潤滑材捕捉部材を配置し
たことを特徴とする回転陽極型Х線管。 - 【請求項３】 潤滑材捕捉部材はニッケルが主体の金属
繊維体またはニッケルが主体の気孔をもつ発泡金属体で
形成されている請求項１または請求項２記載の回転陽極
型Х線管。 - 【請求項４】 潤滑材捕捉部材は水素還元処理および真
空ガス出し処理が施されている請求項１または請求項２
記載の回転陽極型Х線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001354377A JP2003157783A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 回転陽極型х線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001354377A JP2003157783A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 回転陽極型х線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003157783A true JP2003157783A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19166248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001354377A Pending JP2003157783A (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | 回転陽極型х線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003157783A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018501630A (ja) * | 2014-11-10 | 2018-01-18 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 溶接されたスパイラル溝軸受アセンブリ |
-
2001
- 2001-11-20 JP JP2001354377A patent/JP2003157783A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018501630A (ja) * | 2014-11-10 | 2018-01-18 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 溶接されたスパイラル溝軸受アセンブリ |
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