JP4895050B2 - 顕微鏡 - Google Patents
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Description
ブリュースター角においてp偏光の反射率が0になることは19世紀より知られており、この現象を利用すれば単分子膜の観察が行えることが1991年にDirk HonigとDietmar Mobius及びS.HenonとJ.Meunierによって報告されて、薄膜の反射率分布をイメージングする研究が活発化している。
これまでに、液体上の気−液界面で展開されたLangmuir単分子膜の2次元構造の観察やLangmuir単分子膜の配向分布の観察、混合されたLangmuir単分子膜の相分離の観察、基板面上に作製されたLB膜の観察等、主に単分子膜の構造観察に利用されている。現在ではイメージング装置も市販されており、半導体製造工程での薄膜の評価や、DNA検出に用いられるDNAマイクロアレイの製品検査等で利用されている。
金属表面近傍の自由電子の集団的縦波振動である表面プラズモンは可視域の光を用いて励起できることがOtto及びKretchmannによって実験的に証明され、金属薄膜近傍の分子を検出するのに用いられている。
表面プラズモン共鳴は、入射光と表面プラズモンとの共鳴現象(表面プラズモン−ポラリトン(polariton))であり、入射光が持つ金属表面方向の波数ベクトルと表面プラズモンの波数ベクトルが一致した場合に入射光と表面プラズモンが同じ速度で縦波振動しながら進行することで起こる共鳴現象である。
金属表面のプラズモンの波数は媒質側の物質中を進行する光の波数よりも大きくなるので、表面プラズモン共鳴を起こさせるには金属表面上でエバネッセント場となる必要がある。そのため金属膜を付けた基板の裏面より全反射角以上の角度で光を入射し(Kretchmann配置)、金属表面上にエバネッセント場が生じる状態として入射角を微調整することで表面プラズモン共鳴を起こすことができる。表面プラズモン共鳴が起きると入射した光のエネルギーはジュール損として金属膜中で損失するので反射光の強度が激減する。そのため入射角を変化させながら反射率を測定することで表面プラズモン共鳴現象を観察することができる(表面プラズモン・スペクトロスコピー)。
さらにこの原理に基づいて金属表面の各点の反射率を計測することで金属薄膜近傍の分子の分布をイメージングする試みが、1988年にW.HickelとW.Knollによって初めてなされた(表面プラズモン顕微鏡)。その後、金属膜上に形成された脂質分子膜の高解像度観察、DNAハイブリダイゼーションの実時間観察、DNA−タンパク質間相互作用の計測等が行われている。
光源からの光を対物レンズを介して試料へ入射させ、当該対物レンズを介して前記試料を観察する顕微鏡において、
前記光源と前記対物レンズとの間の光路中であって前記対物レンズの像側焦点面あるいはその共役面の近傍に配置されており、かつ前記光源からの光を前記試料に対して略ブリュースター角度で入射させる円弧形状の微小開口部と、
前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に配置されており前記光源からの光より直線偏光を取り出す偏光素子とを有し、
前記円弧形状の微小開口部が、以下の条件式を満足することを特徴とする顕微鏡を提供する。
δr≦0.06×f
φ≦20°
但し、
δr:前記円弧形状の微小開口部の半径方向の幅
f :前記対物レンズの焦点距離
φ :前記円弧形状の微小開口部の中心角
(第1実施形態)
図1及び図2は、本発明の第1実施形態に係る倒立顕微鏡の構成を示す全体側面図及び上面図である。
図1に示すように本実施形態に係る倒立顕微鏡1は、顕微鏡ベース2と、顕微鏡ベース2上方に設けられた透過照明装置3と、接眼観察鏡筒4と、顕微鏡ベース2側方に備えられた落射照明装置5とからなる。
顕微鏡ベース2の上面には試料を載置するためのステージ6が備えられている。そして顕微鏡ベース2内部には、ステージ6側から下方へ向かって順に、高開口数の液浸対物レンズ7と、ブロック切換ユニット8と、光路切換ユニット9とが備えられている。また、図2に示すように、顕微鏡ベース2における図1と反対側の側面には、CCDカメラ10が備えられている。
また、光路切換ユニット9は、ハーフプリズム13と全反射プリズム14とを備えており、軸9aを中心に回転させることでこれらを選択的に光路内へ配置することができる。これにより、試料15からの像をCCDカメラ10及び接眼観察鏡筒4、又はCCDカメラ10のみへ選択的に導くことができる。
図3Aに示すように、本実施形態における落射照明装置5は、光源からの光を上述のブロック切換ユニット8へ導き、対物レンズ7を介して試料15へ照射するための照明装置であって、光源として配置された水銀ランプ16から順に、コレクタレンズ17と、レンズ18,19と、対物レンズ7の後側焦点面あるいはその後側焦点面と共役な面に配置された開口絞りユニット20と、レンズ21と、ミラー22と、レンズ23と、試料面に対して共役な視野絞り24と、ポラライザーユニット25と、レンズ26とを有する。
なお、対物レンズの像側焦点面の光軸方向位置は対物レンズの種類によって若干異なるため、複数種類の対物レンズを切り替えて観察する場合等には、開口絞り27及びスリット29が各対物レンズの像側焦点面と共役関係を保つような調整機構が必要となる。調整方法としては開口絞りユニット20を光軸方向に移動させても良いが、本実施形態ではレンズ26を光軸方向に移動させる方法によって調整を行う。その場合開口絞り27及びスリット29はレンズ26の調整巾の範囲で対物レンズの像側焦点面と共役な面の近傍に配置されていればよい。対物レンズの種類に応じてレンズ26を光軸方向に移動させることにより、開口絞り27及びスリット29は調整誤差の範囲内で常に対物レンズの像側焦点面との共役関係を保つことができる。
また、ピンホール28及びスリット29は、光軸AXを回転中心として回転可能に設けられている。これにより、観察される試料15の像に対してコントラストをつける方向を変更することができる。
さらに、ピンホール28及びスリット29は、一定の速度で連続して回転させることも可能に設けられている。これにより、コントラストの方向性がない試料15の像を観察することができる。特に、本実施形態では回転周期がビデオレート以下に設定されており、CCDカメラ10においてリアルタイムでコントラストの方向性がない試料画像を得ることができる。
ピンホール28及びスリット29は、光軸を中心とする円周上に複数個備える構成、特に図3Cに示すようにそれぞれ2つのピンホール28及びスリット29が光軸AXを中心に対向して備えられる構成とすることもできる。これにより、ブリュースター角での照明や全反射照明等を行う際に、光軸AXを挟んで試料15を両側から照明することとなるため、照明方向の偏りを解消することができる。
図9に示すように、ピンホール28と小判形の開口28aとが光軸AXを挟むようにそれぞれ形成された2枚のプレートが、互いのピンホール28と開口28aとが対向するように重ねられている。そしてこの2枚のプレートを、互いのピンホール28と開口28aとを対向させたままで、かつそれぞれのピンホール28と光軸AXとの距離が等しくなるように相対的にスライドさせることで、光軸AXに対して垂直な平面内においてピンホール28と光軸AXとの距離を微調整することができる。また、この2枚のプレートには光軸AXを中心に回転可能なシャッタ板28bがさらに備えられており、これによりピンホール28の個数(1つ又は2つ)を任意に選択できるようになっている。また、この2枚のプレートは、光軸AXを中心に一体的に回転可能に設けられており、これによりピンホール28の位置を光軸AXを中心に回転させることができる。なお、図10Cに示すスリット29及び微調整機構は、図9に示す開口28a及びシャッタ板28bに対応する開口29a及びシャッタ板29bが備えられており、図9の構成と同様であるため説明を省略する。
本倒立顕微鏡1によってブリュースター観察を行う場合、顕微鏡ベース2において、ブロック切換ユニット8中のビームスプリッタ11を光路内へ配置し、光路切換ユニット9中の全反射プリズム14を光路内へ配置する(なお、同時に接眼観察を行う場合にはプリズム13を選択すればよい。)。また、落射照明装置5において、開口絞りユニット20中のピンホール28を光路内へ配置し(なお、観察像の明るさを重視する場合にはスリット29を選択すればよい。)、ポラライザーユニット25中のポラライザー30を光路内へ配置する。
図4は、本発明の第1実施形態に係る倒立顕微鏡によって、照明光をブリュースター角で照射して試料を観察する様子を示す図1A−A拡大断面図である。本ブリュースター観察の試料15には、例えば細胞が用いられ、図4に示すように細胞35を載せたカバーグラス36上に、底部に開口を備えたペトリディッシュ38を配置して培養液39で満たしたものを用いることで、温度や二酸化炭素濃度等の環境条件を還流装置で適切に保持しながら、数時間から数日間にわたって生きたままの細胞を観察することが可能となる。また、上述のように対物レンズ7は高開口数の液浸対物レンズであって、カバーグラス36の下側に近接して配置され、該カバーグラス36とレンズ先端との間はオイル40で満たされている。
前述のようにして照明された細胞35からの反射光41は、対物レンズ7中を進行し、ビームスプリッタ11及び全反射プリズム14を介してCCDカメラ10へ導かれる。このようにしてCCDカメラ10において観察画像が得られ、細胞35をブリュースター観察することができる。なお、このブリュースター観察では、細胞を構成する物質或いは固液界面に存在する偏光依存性のある物質、例えば高分子化合物やタンパク質の界面近傍の形態を観察することができる。
ここで、細胞35が蛍光染色されたものである場合には、顕微鏡ベース2におけるビームスプリッタ11を蛍光フィルタブロック12に切り換えることで、細胞35から発せられた蛍光をCCDカメラ10へ導くことができ、細胞35を蛍光観察することができるようになる。即ち、ビームスプリッタ11と蛍光フィルタブロック12の切り換えによって、ブリュースター観察と、斜光照明による細胞35の蛍光観察とを切り換えて同時に行うことができる。なお、この斜光照明による蛍光観察には、細胞における厚み方向へ深い箇所の観察を行うことができるという利点がある。
また、顕微鏡ベース2及び落射照明装置5は、上述のブリュースター観察と同様に設定する。そして、落射照明装置5におけるピンホール28の位置を調整し、細胞35に対する照明光の入射角度θを、細胞35と金薄膜43との境界面において表面プラズモン共鳴が起こる角度(本実施形態においては全反射の起こる角度)に設定する。
ここで、細胞35が蛍光染色されたものである場合には、顕微鏡ベース2におけるビームスプリッタ11を蛍光フィルタブロック12に切り換えることで、細胞35から発せられた蛍光をCCDカメラ10へ導くことができ、細胞35を蛍光観察することができるようになる。即ち、ビームスプリッタ11と蛍光フィルタブロック12の切り換えによって、表面プラズモン観察と、斜光照明(ここでは全反射照明)による細胞35の蛍光観察とを切り換えて同時に行うことができる。
以上の構成の下で照明された試料15から発せられた蛍光は、上述のブリュースター観察と同様に、対物レンズ7、蛍光フィルタブロック12、及び全反射ミラー14を介してCCDカメラ10へ導かれる。このようにしてCCDカメラ10において観察画像が得られ、試料15の全反射照明による蛍光観察を行うことができる。
以上の設定の落射照明装置5において、水銀ランプ16から発せられた光は、落射照明装置5における上記各部材を介して顕微鏡ベース2の蛍光フィルタブロック12へ導かれる。そしてこの光は蛍光フィルタブロック12によって対物レンズ7へ導かれ、対物レンズ7を介して試料15へ入射する。
このようにして照明された試料15から発せられた蛍光は、再び対物レンズ7、蛍光フィルタブロック12、及び全反射ミラー14を介してCCDカメラ10へ導かれる。このようにしてCCDカメラ10において観察画像が得られ、試料15の通常の落射蛍光観察を行うことができる。
さらに、本倒立顕微鏡1は、上述のように透過照明装置3及び接眼観察鏡筒4を備えているため、試料15を透過照明して観察することも、蛍光観察以外の上記各観察において肉眼観察を行うこともできる。
本倒立顕微鏡1は、上述のように対物レンズ7を試料15の真下に近接して配置する構成であるため、高開口数の対物レンズを採用することができ、装置の高解像化を実現できる。また、試料15に対して垂直なこの対物レンズ7を介して試料の像を結ぶ構成であるため、上記従来技術において必要とされていた、CCDカメラで結像面の傾きを補正するための光学系も不要となる。
また本倒立顕微鏡1は、対物レンズ7を含む光学系や落射照明装置5等をステージ6よりも下方に配置することでステージ6上に自由な空間が確保されているため、ステージ6への試料15の設置を容易に行うことができ、特に細胞を生きたままで観察したい場合等に効果的である。
以下、本発明の第2実施形態に係る倒立顕微鏡について、上記第1実施形態に係る倒立顕微鏡と同様の構成である部分には同じ符号を付して説明を省略し、特徴的な部分について詳細に説明する。
図6は、本発明の第2実施形態に係る倒立顕微鏡の構成を示す全体側面図である。また、図7及び図8は、本発明の第2実施形態における落射照明装置の構成を示す図及び部分拡大図である。
図6に示すように、本実施形態に係る倒立顕微鏡50の顕微鏡ベース2には、ビームスプリッタ11と光路切換ユニット9との間に、光軸を中心に回転調整可能でかつ光路内へ挿脱可能な検光子51が備えられている。
また、図6及び図7に示すように、本実施形態における落射照明装置52には、ポラライザーユニット25とレンズ26との間に、光軸を中心に回転調整可能でかつ光路内へ挿脱可能な1/4波長板53が備えられている。さらに本実施形態における偏光素子30は、光軸を中心に回転調整可能であって、光源16からの光のうち試料への当該光源16からの光の入射面に対して振動方向が45度の直線偏光のみを通過させるように設定することができるようになっている。
これにより、45度方向に合わせた偏光素子30を通過させた光をさらに適切な方向に回転させた1/4波長板53を通過させた後に対物レンズ7に入射して試料15に照射し、その反射光を適切な方向に回転させた検光子51を通過させて結像して観察画像を得ることができる。
そして、消光して観察されるときの1/4波長板53の回転角、検光子51の回転角から、それぞれs偏光とp偏光の位相差及び振幅反射率の比が求められ、これらを元にその部位の複素屈折率及び異方性を調べることができる。なお、解析手法としては楕円偏光解析で用いられる手法や、文献(S.Henon and Meunier, “Microscopy at the Brewster angke: Direct observation of first-order phase translation in monolayers,” Rev. Sci. Instru. Vol.62, pp.936-939(1991). )で用いられる手法が挙げられる。
したがって本実施形態に係る倒立顕微鏡50は、上記第1実施形態に係る倒立顕微鏡で実施可能な各観察に加えて、試料の複素屈折率や異方性等を調べるための偏光解析に用いることもできる。
本実施形態に係る倒立顕微鏡1の開口絞りユニット20に備えられているスリット29は、以下の設計条件に基づいて設計されている。
はじめに、スリット29を用いてブリュースター観察を行う場合を想定する。
図10Aに示されているスリット29において、円弧の半径をR、半径方向の幅をδr、円弧の中心角をφとすれば、円弧の半径Rは、試料15に照射される照明光束の入射角度θが次式(A)で決まるブリュースター角θBとなるような値に設定することが望ましい。
(A) θB=atan(ns/ncg)
但し、
ns :試料媒質の屈折率
ncg:カバーグラス36の屈折率
(B) R=sin(θB)×n-oil×f
但し、
n-oil:対物レンズ7の浸液(オイル40)の屈折率(いわゆる乾燥系対物レンズの場合はn-oil=1)
f :対物レンズ7の焦点距離
このとき、ns=1.33、ncg=1.51とすれば、ブリュースター角θBは、上記式(A)よりθB=41.3°となる。このとき、円弧の半径Rは、n-oil=1.51とすれば、上記式(B)よりR/f=0.997となる。
また、式(B)を変形し、R/f=n-oil×sin(θB)とすれば、R/fはまた対物レンズのNAを表す。したがって式(B)から、本発明の照明が実現できる対物レンズのNAを導き出すことができ、上記数値例の場合、NA≧1の液浸対物レンズを用いればよいことがわかる。
ここで、微小細胞構造(35)の屈折率をnce11=1.35とすれば、背景光即ち試料媒質からの反射光と、信号光即ち微小細胞構造(35)からの反射光とは、それぞれフレネルの反射係数の式及び単層薄膜の反射係数の式を用いて求めることができる。
この図11より、ブリュースター角θB=41.3°近傍において背景光の強度は約10−8〜10−7、信号光の強度は10−5〜10−4であることから、S/B比が約103程度の良好なコントラスト像が得られることがわかる。
しかしながら、スリット29の半径方向の幅δrをさらに大きくしていけば、照明光束には、入射角度θで試料15に入射する照明光に、入射角度がθからずれた光が含まれることとなり、その結果、観察像のコントラストが低下してしまうという問題がある。このため、半径方向の幅δrを過度に大きく設定することはできず、上限値が存在することとなる。
なお、前述の「入射角度がθからずれた光」の角度のずれを、本明細書では「角度ばらつき」という。
この図12より、角度ばらつきの最大値δθは、δr/fに略比例して増大することがわかり、δr/f=0.03のとき角度ばらつきの最大値δθは約0.75°、δr/f=0.06のとき角度ばらつきの最大値δθは約1.5°となる。
このように、スリット29の半径方向の幅δrがある有限の値であれば、背景光及び信号光は、図12で求めた角度ばらつきの最大値δθの範囲で図11のグラフを積分した値となる。
図13A及び図13Bより、スリット29の半径方向の幅δrが大きくなると、図11においてブリュースター角近傍で見られた背景光及び信号光の落ち込みカーブが次第に緩くなり、これらの強度の差も小さくなることがわかる。そして、半径方向の幅δrがさらに大きくなれば、背景光の強度と信号光の強度とが逆転するような半径方向の幅δrの上限値が存在することが予想される。したがって、信号光の強度よりも背景光の強度が大きくなると信号(観察像)が背景に埋もれて検出することができなくなってしまうため、これらの強度が逆転する半径方向の幅δrの値が上限値となる。
この図14より、背景光と信号光の強度は、δr/f=0.06近傍で逆転していることがわかる。したがってこの値が好ましいスリット29の半径方向の幅δrの上限値となり、次の条件式(1)が導かれる。
(1) 0<δr≦0.06×f
但し、
δr:スリット29の半径方向の幅
f :対物レンズ7の焦点距離
(1’) 0<δr≦0.03×f
但し、
δr:スリット29の半径方向の幅δr
f :対物レンズ7の焦点距離
しかしながら、このとき観察像のコントラストは高くなりS/B比は図11で述べた約103に近づくものの、この一方では照明光のコヒーレンスが高くなり、試料15における構造や屈折率が大きく変化する部位で干渉縞が発生してしまい、これによってS/N比が低下してしまうという問題が生じてしまう。
したがって、観察像におけるコントラストと干渉縞ノイズとはトレードオフの関係にあるため、スリット29の半径方向の幅δrの値は、顕微鏡の構成やその用途に応じて、条件式(1)から条件式(1’)を満足する範囲内で最適な値を選択することが最も好ましい。
図15は、スリット29の半径方向の幅δrを無限小と仮定し、中心角φのみを大きくした際に照明光に含まれるp偏光とs偏光の強度比を示すグラフである。
また、図16は、上記図11と同じ条件の試料15に対して入射角度θを変化させながら照明光を入射させた際のp偏光及びs偏光の強度反射率を示すグラフである。なお、p偏光については、上述のように半径方向の幅δrを有限の値に設定すればブリュースター角近傍において落ち込みカーブが大幅に緩くなることがわかっているため、δr/f=0.03、及びδr/f=0.06の場合も計算している。
したがって図15より、p偏光とs偏光の強度比が100となるスリット29の中心角(円弧の角度)φは約20°であることから、次の条件式(2)に示すようにこの値が中心角φの上限値となる。
(2) 0<φ≦20°
但し、
φ:スリット29の中心角
(2’) 0<φ≦10°
但し、
φ:スリット29の中心角
以上、本実施形態に係る倒立顕微鏡1の開口絞りユニット20に備えられているスリット29は、上述の設計条件(条件式(1)及び条件式(2))を満足するように設計されている。これにより本実施形態に係る倒立顕微鏡1は、ブリュースター観察、表面プラズモン観察、及び全反射蛍光観察に際して、干渉縞の発生を抑えコントラストの高い良好な観察像を得ることができる。なお、条件式(1’)及び条件式(2’)を満足するようにスリット29を設計すれば、上記各観察に際して干渉縞の発生をより良好に抑えコントラストがより高い観察像を得ることができる。
本実施形態に係る倒立顕微鏡1の開口絞りユニット20に備えられているスリット29は、図10Bに示すように上記条件式(1)及び条件式(2)を満足する複数の円弧形状のスリットを光軸AXから等距離に配置し、さらに各スリットのそれぞれに偏光板(ポラライザー)を配置し、その偏光方向が各スリットの略中心部分と光軸AXを結ぶ直線に対して平行(p偏光)な構成とすることもできる。このとき偏光板の配置はスリットの直前もしくは直後のいずれでも良いが、各スリットを通過する光をそれぞれ正しい偏光方向に変換するためには、偏光板をスリットのごく近傍に配置することが望ましい。
またさらに、前述のように複数のスリットを1つのモジュールとして一方向へ移動する構成とした場合には各スリットの中心角φの合計に制約が生じるため、複数のスリットをそれぞれ別のモジュールとして各スリットを半径方向へ移動する構成とすることもできる。特に、操作性の観点から、複数のスリットは連動して移動可能であることが好ましい。
またこの他には、円弧の半径Rが異なるスリットを備えたスリット板を予め複数枚用意しておき、観察条件にあわせてこのスリット板をターレットやスライド等によって切り替える構成とすることもできる。この場合、スリットの中心角φの合計が360°となるようにスリットを設置することもできる。
より具体的には、半径方向の幅δrが条件式(1)又は条件式(1’)を満足する1つ又は複数のスリットをモータ等の回転機構で高速回転させることで、試料側から見れば開口が円周全体にわたって設けられていることと同等の状態で観察を行うことができる。なおこのとき、スリットと偏光素子の回転速度は同じである必要があるため、スリットと偏光素子を同期して回転させる構成、又はスリットと偏光素子を1つのモジュールとして回転させる構成とすることが好ましい。
また、本実施形態に係る倒立顕微鏡1において、照明光がs偏光となるようにポラライザー30の向きを90°回転する、又はポラライザー30自体を切り替えることによって、本倒立顕微鏡1をs偏光による多重干渉顕微鏡として使用することもできる。或いは、ポラライザー30の向きを45°回転して偏光方向をp偏光とs偏光の中間に設定することによって、ブリュースター観察による観察像や表面プラズモン観察による観察像と、多重干渉観察による観察像とを重ね合わせて観察する構成とすることもできる。スリット29が図10Bに示すように複数の円弧形状のスリットからなる場合には、各スリットのそれぞれに配置する偏光板を、その偏光方向が対応するスリットの略中心部分と光軸AXを結ぶ直線に対して垂直(s偏光)あるいは45°となるように配置する。偏光板を1つのユニットとして挿脱切り替え可能な構成とすることにより、スリット29が複数の円弧形状スリットで構成される場合においてもp偏光、s偏光及び中間の設定による観察像を切り替えて観察することが可能となる。
さらには、本実施形態に係る倒立顕微鏡1において、水銀ランプ16からの照明光を光路長の異なる光ファイバを束ねたマルチバンドルファイバを経由させる構成とすることによって、前述の回転拡散板と同様の効果を実現することもできる。
Claims (10)
- 光源からの光を対物レンズを介して試料へ入射させ、当該対物レンズを介して前記試料を観察する顕微鏡において、
前記光源と前記対物レンズとの間の光路中であって前記対物レンズの像側焦点面あるいはその共役面の近傍に配置されており、かつ前記光源からの光を前記試料に対して略ブリュースター角度で入射させる円弧形状の微小開口部と、
前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に配置されており前記光源からの光より直線偏光を取り出す偏光素子とを有し、
前記円弧形状の微小開口部が、以下の条件式を満足することを特徴とする顕微鏡。
δr≦0.06×f
φ≦20°
但し、
δr:前記円弧形状の微小開口部の半径方向の幅
f :前記対物レンズの焦点距離
φ :前記円弧形状の微小開口部の中心角 - 前記微小開口部を介して前記光源からの光を前記試料に対して前記ブリュースター角度又は全反射角度で入射させるように前記微小開口部の位置を調整する位置調整手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。
- 前記円弧形状の微小開口部よりも開口の大きな落射照明用の開口絞りと、
前記円弧形状の微小開口部と前記開口絞りとを光路内へ切り換えて前記開口絞りを光軸上に配置する切換手段とを有することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。 - 光軸を中心とする略同一円周上に複数の前記円弧形状の微小開口部を有し、
複数の前記円弧形状の微小開口部のそれぞれに偏光板を備え、前記偏光板はそれぞれ対応する微小開口部の略中心と光軸とを結ぶ直線に対して、平行又は垂直又は45°であることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。 - 複数の前記円弧形状の微小開口部は、それぞれ独立に半径方向へ移動可能に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の顕微鏡。
- 前記円弧形状の微小開口部は、光軸を中心として高速回転可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。
- 複数の前記円弧形状の微小開口部と前記偏光板は、光軸を中心として高速回転可能に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の顕微鏡。
- 前記光源と前記対物レンズとの間の光路中に、回転拡散板を備えていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。
- 前記位置調整手段は、前記光源からの光を、ブリュースター角度を含む所定角度範囲内で入射させるべく前記微小開口部を光軸に対して垂直な方向へ位置調整することを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡。
- 前記位置調整手段は、前記光源からの光を、ブリュースター角度を含む所定角度範囲内で入射させるべく前記微小開口部を光軸に対して回転方向に位置調整することを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡。
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