JP4893786B2 - 導電性ペースト - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデンサ素体10を有する。このコンデンサ素体10の両側端部には、素体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4,4が形成してある。内部電極層3は、各側端面がコンデンサ素体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4,4は、コンデンサ素体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。
次に、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1の製造方法の一例を説明する。まず、焼成後に図1に示す誘電体層2を構成することになるセラミックグリーンシートを製造するために、誘電体ペーストを準備する。
まず、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストを作製した。BaTiO3系セラミック粉末と、有機バインダとしてのポリビニルブチラール樹脂(PVB)(重合度:800)と、溶剤としてのプロピルアルコール、キシレン、メチルエチルケトン、2−ブトキシエチルアルコール、可塑剤としてのフタル酸ジオクチルを準備した。次に、セラミック粉末100重量部に対して、6重量部のPVBと、150重量部の溶剤と、可塑剤をそれぞれ秤量し、直径2mmのジルコニアボールとともにボールミルで21時間混練し、スラリー化して誘電体ペーストを得た。なお、可塑剤は、ポリビニルブチラール100重量部に対して50重量部添加した。
そして、支持体としてのPETフィルムの離型処理された面上に、誘電体ペーストをドクターブレード等の方法により、所定厚みで塗布し、乾燥することで、グリーンシートを作製した。グリーンシートの厚みは、好ましくは0.5〜30μm、より好ましくは0.5〜10μm、さらに好ましくは0.5〜5μm程度である。
次いで、内部電極層3を形成するための導電性ペーストを作製した。導電性ペーストは、水溶性金属塩と、有機溶媒と、有機バインダと、水とを含有する。
次に、キャリアシート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に、焼成後に図1に示す内部電極層3となる所定パターンの電極層(内部電極パターン)を導電性ペーストを用いて形成する。
次に、以上のような、所定パターンの内部電極パターンが表面に形成されたグリーンシートを複数積層して、グリーンチップを作製し、脱バインダ工程、焼成工程、必要に応じて行われるアニール工程を経て形成された、焼結体で構成されるコンデンサ素体10に、外部電極用ペーストを印刷または転写して焼成し、外部電極4,4を形成して、積層セラミックコンデンサ1が製造される。グリーンチップの焼成工程は、還元性雰囲気中で、かつ、水分を含む雰囲気中で熱処理により行われる。
本実施形態では、導電性ペーストに水溶性金属塩と、有機溶媒と、有機バインダと、水とを含む。このため、導電材としてNi粒子を用いた導電性ペーストに比べ、はるかに薄い内部電極層を形成することができる。また、金属レジネートを用いる場合に比べ、容易に、安価で高機能な内部電極層を形成することができる。
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。
まず、イオン交換水100gに、酢酸ニッケル四水和物4.8gを溶かし、第1液を作製した。次に、有機溶媒としてターピニルアセテート300gに、有機バインダとしてエチルセルロース100gを溶かし、BROOKFIELD社製 VISCMETR HBDVI+を用いてスピンドル(SC4−14)/チャンバー(6R)、液温25℃、ズリ速度4S−1の条件で測定した場合に、粘度が1〜20Pa・sとなる第2液を400g作製した。
BaTiO3系セラミック粉末と、有機バインダとしてのポリビニルブチラール(PVB)と、溶媒としてのメタノールを準備した。次に、セラミック粉末に対して、10重量%の有機バインダと、150重量%の溶媒とをそれぞれ秤量し、ボールミルで混練し、スラリー化して誘電体ペーストを得た。
PETフィルム上に上記誘電体ペーストをドクターブレード法によって、所定厚みで塗布し、乾燥することで、厚みが1μmのセラミックグリーンシートを形成した。次に、セラミックグリーンシート上に、導電性ペーストの付着量が0.4mg/cm2になるように製版にて透過体積を調整し、スクリーン印刷法によって約0.2μm厚の導電性ペースト膜を形成した。
2… 誘電体層
3… 内部電極層
4… 外部電極
10…コンデンサ素体
Claims (9)
- 水溶性金属塩と、有機溶媒と、有機バインダと、水とを含み、
前記水に溶けた前記水溶性金属塩が、W/Oエマルジョンの形態で前記有機溶媒中に分散している導電性ペースト。 - 前記水溶性金属塩は、Ni塩である請求項1に記載の導電性ペースト。
- 前記有機バインダは、前記有機溶媒に可溶である請求項1または2に記載の導電性ペースト。
- 前記W/Oエマルジョンの含有割合は、導電性ペースト100重量%に対して、20重量%以下である請求項1〜3のいずれかに記載の導電性ペースト。
- 前記有機溶媒の体積は、前記水の体積よりも大きい請求項1〜4のいずれかに記載の導電性ペースト。
- (有機溶媒+有機バインダ)/(水+水溶性金属塩)の重量比は、4%以上である請求項1〜5のいずれかに記載の導電性ペースト。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の導電性ペーストを用いて、還元性雰囲気中で、かつ、水分を含む雰囲気中で加熱する工程を有する金属膜の製造方法。
- セラミックグリーンシートと、請求項1〜6のいずれかに記載の導電性ペーストを用いて所定パターンで形成される内部電極層とを、交互に複数重ねたグリーンセラミック積層体を焼成する積層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記導電性ペーストを、前記セラミックグリーンシートに塗布し、乾燥してグリーンセラミック積層体を得る請求項8に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
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