JP4892992B2 - 相互侵入高分子網目構造体および研磨パッドならびに相互侵入高分子網目構造体および研磨パッドの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、連鎖移動剤からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、ラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含する相互侵入高分子網目構造体の製造方法により得られることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体。
試験室温度:23℃
試験室湿度:50%
試験片形状:1号形小形試験片
試験片厚み:1〜2mm
チャック間距離:58mm
試験速度:50mm/分
[研磨評価]クッション層として“Suba400”(ロデール・ニッタ(株)製)を使用し、両面接着テープで評価すべき研磨パッドと貼り合わせ、積層研磨パッドを作製した。積層研磨パッドを研磨装置の定盤上に貼り付け、ダイアモンドコンディショナーを押しつけ圧力0.05MPa、研磨定盤回転数32rpm、コンディショナー回転数30rpmで研磨定盤と同方向に回転させた。精製水を100mL/分の割合で研磨パッド上に供給しながら5分間、研磨パッドのコンディショニングを行った。
研磨レート:研磨前後のウエハー厚みを、光干渉式膜圧測定装置“ラムダエース”VM−8000J(大日本スクリーン製造(株)製)で測定することにより、単位時間当たりの研磨量(研磨レート)を算出した。6インチシリコンウエハー上に熱酸化膜を約1.2μm形成した評価用テストウエハーを使用した。
面内均一性(%)=(MAX−MIN)×100/2×AV
[平坦化特性]評価用ウエハーを40枚研磨処理した後、パターン高さ0.60μm、ライン&スペースがライン300μm、スペース30μmの繰り返しパターンを有するパターン付き酸化膜ウエハーを用い、段差が0.10μm以下に平坦化される時間を測定した。測定は、研磨時間30、60、90、120、150、180秒間で行った。
RIM成形機の第1原料タンク、第2原料タンクにそれぞれ以下の原料組成物を仕込み、第1原料タンクに窒素ガスをローディング後、金型に注入、硬化させて、850mm×850mm、厚み12mmのポリウレタン成形体を得た。ポリウレタンの見かけ密度は0.82g/cm3であり、平均気泡径が28μmの独立気泡が観察された。
<第1原料タンク>
ポリプロピレングリコール 85重量部
ジエチレングリコール 15重量部
トリエチルアミン 1重量部
オクチル酸スズ 0.5重量部
シリコーン系整泡剤 3重量部
精製水 0.3重量部
<第2原料タンク>
ジフェニルメタンジイソシアネート 120重量部
次に、ポリウレタン成形体とラジカル重合組成物の重量比が100/150の割合で、以下のラジカル重合性組成物を調合し、上記ポリウレタン成形体を20℃で7日間浸漬したところラジカル重合性組成物は全量がポリウレタン成形体に含浸されていた。
メチルメタクリレート 300重量部
アゾビスイソブチロニトリル 0.9重量部
含浸により膨潤したポリウレタン成形体を塩化ビニル製ガスケットを介して2枚のガラス板間に挟み、周囲を固定して密閉した後、70℃で5時間加熱し、続いて100℃オーブン中で3時間加熱することにより硬化させた。ポリウレタン成形体の含浸硬化物をガラス板から離型後、重量を測定した。50℃で12時間、続いて100℃で12時間乾燥、さらに常温で12時間乾燥し、直後に重量を測定したところ、重量減少はなかった。
比較例1のポリウレタン成形体の含浸硬化物について、含浸硬化物の厚み方向に1/5および4/5の部分をスライス・表面研削して厚み2mmのシートを得た。これらシートの中央部から1号形小形試験片を打ち抜き、引張強度および引張伸度を測定したところ、それぞれ引張強度9.3MPaおよび引張伸度180%、および引張強度8.9MPaおよび引張伸度190%であった。
ラジカル重合性組成物として以下の組成物を使用したこと以外は比較例1と全く同様にして研磨パッドを作製した。
メチルメタクリレート 300重量部
アゾビスイソブチロニトリル 0.9重量部
n−オクチルメルカプタン 0.9重量部
ポリウレタン成形体のラジカル重合性組成物含浸硬化物の見かけ密度は0.88g/cm3、独立気泡の平均気泡径は34μmであった。表面には、390個/mm2の気泡に由来する開口部が観察された。引張強度および引張伸度は、それぞれ16.0MPaおよび310%であった。
ラジカル重合性組成物として以下の組成物を使用したこと以外は比較例1と全く同様にして研磨パッドを作製した。
メチルメタクリレート 300重量部
アゾビスイソブチロニトリル 0.9重量部
α−メチルスチレンダイマー 1.2重量部
ハイドロキノンモノメチルエーテル0.06重量部
ポリウレタン成形体のラジカル重合性組成物含浸硬化物の見かけ密度は0.86g/cm3、独立気泡の平均気泡径は34μmであった。表面には、391個/mm2の気泡に由来する開口部が観察された。引張強度および引張伸度は、それぞれ15.5MPaおよび320%であった。
実施例2のポリウレタン成形体の含浸硬化物について、含浸硬化物の厚み方向に1/5および4/5の部分をスライス・表面研削して厚み2mmのシートを得た。これらシートの中央部から1号形小形試験片を打ち抜き、引張強度および引張伸度を測定したところ、それぞれ引張強度15.6MPa、引張伸度312%、および引張強度15.5MPa、引張伸度316%であった。
比較例1のポリウレタン原料組成物を使用して、見かけ密度0.51g/cm3、平均気泡径77μmの独立気泡を有するポリウレタン成形体を得た。
メチルメタクリレート 300重量部
アゾビス(2−メチルブチロニトリル)1.5重量部
n−ドデシルメルカプタン 0.7重量部
含浸により膨潤したポリウレタン成形体を塩化ビニル製ガスケットを介して2枚のガラス板間に挟み、周囲を固定して密閉した後、70℃で5時間加熱し、続いて100℃オーブン中で3時間加熱することにより硬化させた。
比較例1のポリウレタン原料組成物を使用して、見かけ密度0.30g/cm3、平均気泡径83μmの独立気泡を有するポリウレタン成形体を得た。
メチルメタクリレート 300重量部
アゾビス(2−メチルブチロニトリル)2.0重量部
n−ブチルメルカプタン 2.0重量部
含浸により膨潤したポリウレタン成形体を塩化ビニル製ガスケットを介して2枚のガラス板間に挟み、周囲を固定して密閉した後、70℃で3時間加熱し、続いて100℃オーブン中で2時間加熱することにより硬化させた。
(血小板付着試験)
エッペンドルフチューブに試験片およびリン酸緩衝生理食塩水を加え、4℃で保管した。ヘパリン採血したラット血液を20℃において2500rpmで10分間遠心後、上層3.0mLを採取し、Ca含有リン酸緩衝生理食塩水(リン酸緩衝生理食塩水6mLに0.1M−CaCl2を90μL添加)を添加・混合後、直ちに試験片の入ったリン酸緩衝生理食塩水中に注入した。続いて、ローテーターを用いて、37℃で60分間攪拌した。1mLのリン酸緩衝生理食塩水で2回洗浄した後、10%ホルマリン溶液1mLを添加し、室温で1時間攪拌した後、4℃で保存した。
実施例5において、ラジカル重合性組成物にn−ブチルメルカプタン添加しなかったこと以外は実施例5と全く同様にして3mm角の試験片を作製し、血小板付着試験を行った。SEM写真の5画面の内、3画面において、わずかではあるが血小板の付着を認めた(4個/画面)。一方、他の2画面では血小板の付着は、認めなかった(0個/画面)。連鎖移動剤を用いない場合には、試験片に血小板の付着が観察される箇所とされない箇所が見られ、ポリウレタン成形体の含浸硬化物は均質性に劣るものであった。
Claims (13)
- エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、連鎖移動剤からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、ラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含する相互侵入高分子網目構造体の製造方法により得られ、前記連鎖移動剤が芳香族メルカプタン、α−メチルスチレンダイマー、トルエンまたはエチルベンゼンから選ばれることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体。
- 請求項1に記載の相互侵入高分子網目構造体からなる研磨パッド。
- エチレン性不飽和化合物から重合される重合体を含有し、引張破断強度が13MPa以上である請求項2記載の研磨パッド。
- 前記高分子成形体がポリウレタンを含有する請求項2または3に記載の研磨パッド。
- 引張破断伸度が200%以上である請求項2〜4のいずれかに記載の研磨パッド。
- 研磨パッドが、平均気泡径が10〜120μmの独立気泡を有する請求項2〜5のいずれかに記載の研磨パッド。
- 研磨パッドの密度が0.2〜1.1g/cm3である請求項2〜6のいずれかに記載の研磨パッド。
- 研磨パッドが半導体基板の研磨および/または光学部材の研磨に使用される請求項2〜7のいずれかに記載の研磨パッド。
- エチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始剤、連鎖移動剤からなるラジカル重合性組成物に高分子成形体を浸漬させる工程、ラジカル重合性組成物を含浸させた高分子成形体の膨潤状態下においてエチレン性不飽和化合物を重合させる工程、を包含し、前記連鎖移動剤が芳香族メルカプタン、α−メチルスチレンダイマー、トルエンまたはエチルベンゼンから選ばれることを特徴とする相互侵入高分子網目構造体の製造方法。
- ラジカル重合性組成物中、エチレン性不飽和化合物に対して有機溶媒が1重量%未満である請求項9記載の相互侵入高分子網目構造体の製造方法。
- 請求項9または10に記載の相互侵入高分子網目構造体の製造方法を含む研磨パッドの製造方法。
- 高分子成形体と含浸されたエチレン性不飽和化合物から重合された重合体の重量比が、100/5〜100/300である請求項11に記載の研磨パッドの製造方法。
- 高分子成形体がポリウレタンを主成分とする請求項11または12に記載の研磨パッドの製造方法。
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