JP2003012918A - 研磨布用ポリウレタン組成物および研磨布 - Google Patents
研磨布用ポリウレタン組成物および研磨布Info
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- JP2003012918A JP2003012918A JP2001201502A JP2001201502A JP2003012918A JP 2003012918 A JP2003012918 A JP 2003012918A JP 2001201502 A JP2001201502 A JP 2001201502A JP 2001201502 A JP2001201502 A JP 2001201502A JP 2003012918 A JP2003012918 A JP 2003012918A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 孔寸法が適当に分散し、かつ平均孔寸法を有
する研磨布用ポリウレタン発泡体を製造する。 【解決手段】 研磨布用ポリウレタン組成物は、１）ウ
レタンプレポリマー、硬化剤および比表面積が１〜４０
ｍ2／ｇである充填剤、または２）ポリオールまたはポ
リアミン、ジイソシアネート化合物、および比表面積が
１〜４０ｍ2／ｇである充填剤を含有する。必要に応じ
て、本発明の組成物はシリコーン整泡剤および水または
有機発泡剤および触媒を含む。本発明のポリウレタン組
成物の製造方法は、上記各々の組成物を発泡硬化させて
得られる。
する研磨布用ポリウレタン発泡体を製造する。 【解決手段】 研磨布用ポリウレタン組成物は、１）ウ
レタンプレポリマー、硬化剤および比表面積が１〜４０
ｍ2／ｇである充填剤、または２）ポリオールまたはポ
リアミン、ジイソシアネート化合物、および比表面積が
１〜４０ｍ2／ｇである充填剤を含有する。必要に応じ
て、本発明の組成物はシリコーン整泡剤および水または
有機発泡剤および触媒を含む。本発明のポリウレタン組
成物の製造方法は、上記各々の組成物を発泡硬化させて
得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は研磨布用のポリウレ
タン組成物およびそのポリウレタン組成物を発泡硬化さ
せて得られる研磨布に関し、さらに詳細にはレンズ、眼
鏡、プリズムなどのガラス製品、あるいはシリコンウェ
ハなどを研磨するときに使用する研磨布を形成するポリ
ウレタン組成物およびその組成物からなる研磨布に関す
る。
タン組成物およびそのポリウレタン組成物を発泡硬化さ
せて得られる研磨布に関し、さらに詳細にはレンズ、眼
鏡、プリズムなどのガラス製品、あるいはシリコンウェ
ハなどを研磨するときに使用する研磨布を形成するポリ
ウレタン組成物およびその組成物からなる研磨布に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ポリウレタン組成物を発泡硬化させて得
られる研磨布は、該研磨布に形成される無数の孔に微細
な研磨材を担持させ、この担持された研磨材によってガ
ラス製品あるいはシリコンウェハなどの被研磨物表面を
研磨するシート状の発泡体である。このような研磨布
は、研磨材を担持するための孔と、研磨で生じた研磨屑
を捕捉し排出するための孔が必要である。ここで、研磨
材を固定するためには、比較的小径寸法の孔が適し、一
方研磨屑の捕捉排出のためには、比較的大径寸法の孔が
適している。このため、比較的小径寸法の孔から比較的
大径寸法の孔まで、前記発泡体の孔は分布していること
が望ましい。
られる研磨布は、該研磨布に形成される無数の孔に微細
な研磨材を担持させ、この担持された研磨材によってガ
ラス製品あるいはシリコンウェハなどの被研磨物表面を
研磨するシート状の発泡体である。このような研磨布
は、研磨材を担持するための孔と、研磨で生じた研磨屑
を捕捉し排出するための孔が必要である。ここで、研磨
材を固定するためには、比較的小径寸法の孔が適し、一
方研磨屑の捕捉排出のためには、比較的大径寸法の孔が
適している。このため、比較的小径寸法の孔から比較的
大径寸法の孔まで、前記発泡体の孔は分布していること
が望ましい。
【０００３】このような発泡体を得る従来の方法は、基
本的にイソシアネート成分と、鎖延長剤としてポリオー
ルないしポリアミン、さらには架橋剤、発泡剤、触媒な
どを一様に撹拌混合し、重合反応させるものである。
本的にイソシアネート成分と、鎖延長剤としてポリオー
ルないしポリアミン、さらには架橋剤、発泡剤、触媒な
どを一様に撹拌混合し、重合反応させるものである。
【０００４】上記の一般的な発泡体の製造方法によれ
ば、発泡体の内部ないし表層に形成される孔の寸法が分
散しており、上記のような研磨布用ポリウレタン発泡体
として適しているように見えるが、孔径の寸法の分布が
非常に広く、また平均の孔径寸法も比較的大きすぎて、
上記のような研磨布用ポリウレタン発泡体として適当で
はなかった。
ば、発泡体の内部ないし表層に形成される孔の寸法が分
散しており、上記のような研磨布用ポリウレタン発泡体
として適しているように見えるが、孔径の寸法の分布が
非常に広く、また平均の孔径寸法も比較的大きすぎて、
上記のような研磨布用ポリウレタン発泡体として適当で
はなかった。
【０００５】このため、上記のような組成物に、シリコ
ーン系などの整泡剤を添加してポリウレタン発泡体を製
造する方法が提案されている。このようなシリコーン系
整泡剤を添加した場合においては、研磨の使用目的に適
した孔径寸法のポリウレタン発泡体を得ることが可能で
ある。しかしながら、このようなシリコーン系整泡剤を
使用した場合、反対に孔径寸法が分散せず、つまり、ほ
ぼ一様な大きさの孔が形成されるために、逆に研磨効率
が悪くなるという欠点があった。
ーン系などの整泡剤を添加してポリウレタン発泡体を製
造する方法が提案されている。このようなシリコーン系
整泡剤を添加した場合においては、研磨の使用目的に適
した孔径寸法のポリウレタン発泡体を得ることが可能で
ある。しかしながら、このようなシリコーン系整泡剤を
使用した場合、反対に孔径寸法が分散せず、つまり、ほ
ぼ一様な大きさの孔が形成されるために、逆に研磨効率
が悪くなるという欠点があった。
【０００６】また、研磨材として使用される酸化セリウ
ム、酸化ジルコニウム、酸化第二鉄、酸化クロムなどを
添加し、これらの物質に発泡剤を兼ねさせ、適当なばら
つきがあり、かつ所定の孔径を有する発泡体を得る方法
が知られている（特公昭５２−２２６８９号公報）。し
かしながら、この方法によれば、多量の上記研磨材を添
加することは発泡体の特性を損なうなどの欠点があり、
用途が限定されてくるという欠点があった。
ム、酸化ジルコニウム、酸化第二鉄、酸化クロムなどを
添加し、これらの物質に発泡剤を兼ねさせ、適当なばら
つきがあり、かつ所定の孔径を有する発泡体を得る方法
が知られている（特公昭５２−２２６８９号公報）。し
かしながら、この方法によれば、多量の上記研磨材を添
加することは発泡体の特性を損なうなどの欠点があり、
用途が限定されてくるという欠点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記欠点を解
消するためになされたものであって、その目的とすると
ころは、孔径寸法が適当に分布し、かつ適当な平均孔径
寸法を有する研磨布用ポリウレタン発泡体を製造するた
めの組成物および研磨布を提供することにある。
消するためになされたものであって、その目的とすると
ころは、孔径寸法が適当に分布し、かつ適当な平均孔径
寸法を有する研磨布用ポリウレタン発泡体を製造するた
めの組成物および研磨布を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨布用ポリウ
レタン組成物は、ウレタンプレポリマー、硬化剤の他
に、比表面積が１〜４０ｍ2／ｇである充填剤を含有
し、そのことにより上記目的が達成される。
レタン組成物は、ウレタンプレポリマー、硬化剤の他
に、比表面積が１〜４０ｍ2／ｇである充填剤を含有
し、そのことにより上記目的が達成される。
【０００９】一つの実施態様では、前記ウレタンプレポ
リマーとして、構成成分であるポリブチレンアジペート
またはポリエチレンアジペートを用いて得られるポリエ
ステル系ポリウレタンプレポリマー、構成成分であるポ
リテトラメチレンエーテルまたはポリプロピレンエーテ
ルを用いて得られるポリエーテル系ポリウレタンプレポ
リマー、ポリカーボネート系ポリウレタンプレポリマ
ー、およびポリカプロラクトン系ポリウレタンプレポリ
マーのいずれも使用することができる。前記硬化剤とし
て、４，４’−メチレン−ビス（２−クロロアニリ
ン）、または１，４−ブタンジオールが挙げられる。
リマーとして、構成成分であるポリブチレンアジペート
またはポリエチレンアジペートを用いて得られるポリエ
ステル系ポリウレタンプレポリマー、構成成分であるポ
リテトラメチレンエーテルまたはポリプロピレンエーテ
ルを用いて得られるポリエーテル系ポリウレタンプレポ
リマー、ポリカーボネート系ポリウレタンプレポリマ
ー、およびポリカプロラクトン系ポリウレタンプレポリ
マーのいずれも使用することができる。前記硬化剤とし
て、４，４’−メチレン−ビス（２−クロロアニリ
ン）、または１，４−ブタンジオールが挙げられる。
【００１０】別の一つの実施態様では、前記ポリオール
として、ポリエステル系ポリオール、ポリエーテル系ポ
リオール、ポリカーボネート系ポリオール、ポリカプロ
ラクトン系ポリオールのいずれも使用され得、前記ジイ
ソシアネート化合物として、２，４−トリレンジイソシ
アネート、２，６−トリレンジイソシアネートおよびメ
チレンジフェニルジイソシアネートからなる群から選択
される少なくとも１種を含有し得る。
として、ポリエステル系ポリオール、ポリエーテル系ポ
リオール、ポリカーボネート系ポリオール、ポリカプロ
ラクトン系ポリオールのいずれも使用され得、前記ジイ
ソシアネート化合物として、２，４−トリレンジイソシ
アネート、２，６−トリレンジイソシアネートおよびメ
チレンジフェニルジイソシアネートからなる群から選択
される少なくとも１種を含有し得る。
【００１１】これらのポリウレタン組成物は、必要に応
じて、シリコーン整泡剤および水または有機発泡剤およ
び触媒を含む。
じて、シリコーン整泡剤および水または有機発泡剤およ
び触媒を含む。
【００１２】また、本発明による研磨布用ポリウレタン
組成物の製造方法は、上記各々の組成物を発泡硬化させ
て得ることを特徴としている。
組成物の製造方法は、上記各々の組成物を発泡硬化させ
て得ることを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明を更に詳しく説明する。
【００１４】本発明の研磨布はポリウレタン組成物から
製造され、いわゆるプレポリマー法やワンショット法で
製造することができる。
製造され、いわゆるプレポリマー法やワンショット法で
製造することができる。
【００１５】プレポリマー法とは、ポリオール成分とイ
ソシアネート成分との反応物であるウレタンプレポリマ
ーを用い、ジアミン類またはジオール類、発泡剤、触媒
を添加混合して得られるウレタン組成物を硬化させる方
法である。本発明のウレタンプレポリマーとして、ポリ
エステル系ポリウレタンプレポリマー、ポリエーテル系
ポリウレタンプレポリマー、ポリカーボネート系ポリウ
レタンプレポリマー、およびポリカプロラクトン系ポリ
ウレタンプレポリマーのいずれも使用することができ
る。このプレポリマー法を用いることにより、毒性を少
なくすることができ、発泡を容易にかつ安定して実施で
きるので、フォーム製造の際、不良品の発生を少なくす
るための方法として、特にモールド製品、硬質フォーム
の現場発泡などでは有効な方法である。
ソシアネート成分との反応物であるウレタンプレポリマ
ーを用い、ジアミン類またはジオール類、発泡剤、触媒
を添加混合して得られるウレタン組成物を硬化させる方
法である。本発明のウレタンプレポリマーとして、ポリ
エステル系ポリウレタンプレポリマー、ポリエーテル系
ポリウレタンプレポリマー、ポリカーボネート系ポリウ
レタンプレポリマー、およびポリカプロラクトン系ポリ
ウレタンプレポリマーのいずれも使用することができ
る。このプレポリマー法を用いることにより、毒性を少
なくすることができ、発泡を容易にかつ安定して実施で
きるので、フォーム製造の際、不良品の発生を少なくす
るための方法として、特にモールド製品、硬質フォーム
の現場発泡などでは有効な方法である。
【００１６】ワンショット法とは、ポリオール類、イソ
シアネート類、ジアミン類またはジオール類、そして発
泡剤、触媒等を混合して得られるウレタン組成物を硬化
させる方法である。ワンショット法で製造される研磨布
のためのポリウレタン組成物は、イソシアネート化合物
として、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−
トリレンジイソシアネートおよびジフェニルメタンジイ
ソシアネートより選択された一種以上を使用し得る。
シアネート類、ジアミン類またはジオール類、そして発
泡剤、触媒等を混合して得られるウレタン組成物を硬化
させる方法である。ワンショット法で製造される研磨布
のためのポリウレタン組成物は、イソシアネート化合物
として、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−
トリレンジイソシアネートおよびジフェニルメタンジイ
ソシアネートより選択された一種以上を使用し得る。
【００１７】このようなイソシアネート化合物を使用す
るのは、耐摩耗性に優れ、かつ引き裂き強度も良好で、
研磨布用ポリウレタン発泡体として長年使用できる利点
があるからである。
るのは、耐摩耗性に優れ、かつ引き裂き強度も良好で、
研磨布用ポリウレタン発泡体として長年使用できる利点
があるからである。
【００１８】このようなイソシアネート化合物と組み合
わされる重合剤（鎖延長剤）としては、本発明において
ポリオール系、ポリエステル系、ポリアミン系のいずれ
もが使用可能であり、基本的に限定されるものではな
い。このようなポリウレタン組成物に添加されるシリコ
ーン系整泡剤は、前記ポリウレタン発泡体の孔寸法を制
御するために添加される。このようなシリコーン系整泡
剤は、本発明において基本的に限定されるものではな
く、従来この種の発泡体を製造する時に使用するシリコ
ーン系整泡剤を使用することができる。たとえば、軟質
ウレタンフォーム用、半硬質ウレタンフォーム用、硬質
ウレタンフォーム用、ポリエステルウレタンフォーム用
などの一種以上であることができる。
わされる重合剤（鎖延長剤）としては、本発明において
ポリオール系、ポリエステル系、ポリアミン系のいずれ
もが使用可能であり、基本的に限定されるものではな
い。このようなポリウレタン組成物に添加されるシリコ
ーン系整泡剤は、前記ポリウレタン発泡体の孔寸法を制
御するために添加される。このようなシリコーン系整泡
剤は、本発明において基本的に限定されるものではな
く、従来この種の発泡体を製造する時に使用するシリコ
ーン系整泡剤を使用することができる。たとえば、軟質
ウレタンフォーム用、半硬質ウレタンフォーム用、硬質
ウレタンフォーム用、ポリエステルウレタンフォーム用
などの一種以上であることができる。
【００１９】このようなシリコーン系整泡剤は、前述の
ポリウレタン組成物１００重量部に対し、好ましくは
０．０５〜１０重量部添加する。０．０５重量部未満で
あると、整泡作用が充分でなく、所望の孔寸法の発泡体
が得られない恐れがあり、一方１０重量部を越えると、
整泡効果に差が見られないばかりか、ブリードし接着不
良を起こすという欠点を生じる恐れがある。
ポリウレタン組成物１００重量部に対し、好ましくは
０．０５〜１０重量部添加する。０．０５重量部未満で
あると、整泡作用が充分でなく、所望の孔寸法の発泡体
が得られない恐れがあり、一方１０重量部を越えると、
整泡効果に差が見られないばかりか、ブリードし接着不
良を起こすという欠点を生じる恐れがある。
【００２０】本発明で使用される充填剤は、ガラスやシ
リコンウエハなどの研磨速度向上のために、添加され
る。充填剤の比表面積は、１〜４０ｍ2／ｇである。１
ｍ2／ｇ未満であると、研磨性能が出ないという欠点が
あり、比表面積が４０ｍ2／ｇを越えると、被研磨物表
面に傷がつくという欠点がある。充填剤の好ましい比表
面積は、５〜１５ｍ2／ｇである。
リコンウエハなどの研磨速度向上のために、添加され
る。充填剤の比表面積は、１〜４０ｍ2／ｇである。１
ｍ2／ｇ未満であると、研磨性能が出ないという欠点が
あり、比表面積が４０ｍ2／ｇを越えると、被研磨物表
面に傷がつくという欠点がある。充填剤の好ましい比表
面積は、５〜１５ｍ2／ｇである。
【００２１】充填剤の平均粒径は１０００〜３０００ｎ
ｍであるのがよい。１０００ｎｍ未満であると、研磨性
能が出にくく、３０００ｎｍを越えると、被研磨物表面
に傷がつくという欠点を生じる。
ｍであるのがよい。１０００ｎｍ未満であると、研磨性
能が出にくく、３０００ｎｍを越えると、被研磨物表面
に傷がつくという欠点を生じる。
【００２２】本発明で使用される充填剤としては、たと
えば酸化セリウム、酸化ジルコニウムなどの一種以上を
挙げることができる。
えば酸化セリウム、酸化ジルコニウムなどの一種以上を
挙げることができる。
【００２３】充填剤は、好ましくはポリウレタン組成物
１００重量部に対し、０．０１〜３０重量部添加する。
添加量が０．０１重量部未満であると、孔寸法に充分な
ばらつきが形成しない恐れがあり、３０重量部を越える
と、大寸法の孔が多くなり過ぎ、研磨材を充分に保持で
きない恐れを生じる。
１００重量部に対し、０．０１〜３０重量部添加する。
添加量が０．０１重量部未満であると、孔寸法に充分な
ばらつきが形成しない恐れがあり、３０重量部を越える
と、大寸法の孔が多くなり過ぎ、研磨材を充分に保持で
きない恐れを生じる。
【００２４】本発明のポリウレタン組成物には、従来こ
の種の組成物に添加される架橋剤、発泡剤、触媒などを
添加することができる。
の種の組成物に添加される架橋剤、発泡剤、触媒などを
添加することができる。
【００２５】発泡剤としては、たとえば酸化セリウム、
酸化ジルコニウム、酸化第二鉄、酸化クロム、水などの
一種以上を使用することができる。すなわち、本発明に
おいて使用される発泡剤は基本的に限定されるものでは
ない。また、架橋剤および触媒も、本発明において限定
されるものではなく、上記重合剤（鎖延長剤）などの種
類を勘案し機能的に選択することができる。
酸化ジルコニウム、酸化第二鉄、酸化クロム、水などの
一種以上を使用することができる。すなわち、本発明に
おいて使用される発泡剤は基本的に限定されるものでは
ない。また、架橋剤および触媒も、本発明において限定
されるものではなく、上記重合剤（鎖延長剤）などの種
類を勘案し機能的に選択することができる。
【００２６】このようなポリウレタン組成物を使用し
て、次のようにして研磨布用ポリウレタン発泡体を製造
することができる。
て、次のようにして研磨布用ポリウレタン発泡体を製造
することができる。
【００２７】まず、ポリウレタン組成物の各配合成分を
撹拌し均一にしてから、モールド中に設置し、重合硬化
させてポリウレタン発泡体を製造する。この際、重合硬
化温度は１０〜６０℃であるのが好ましい。１０℃未満
であると、充分に発泡重合硬化しない恐れがあり、一方
６０℃を越えると、反応が早すぎて亀裂を生じる欠点を
生じる恐れがある。また、上記重合時間は１〜６０分で
あるのがよい。１分未満であると、充分に重合架橋しな
い恐れがあり、一方６０分を越えると、不均一な組成と
なる可能性がある。
撹拌し均一にしてから、モールド中に設置し、重合硬化
させてポリウレタン発泡体を製造する。この際、重合硬
化温度は１０〜６０℃であるのが好ましい。１０℃未満
であると、充分に発泡重合硬化しない恐れがあり、一方
６０℃を越えると、反応が早すぎて亀裂を生じる欠点を
生じる恐れがある。また、上記重合時間は１〜６０分で
あるのがよい。１分未満であると、充分に重合架橋しな
い恐れがあり、一方６０分を越えると、不均一な組成と
なる可能性がある。
【００２８】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて以下に詳細
に説明する。 （実施例１） ポリエステル系ウレタンプレポリマー ２００重量部 ４，４’−メチレン−ビス（２−クロロアニリン） ５重量部 トリメチレンジアミン（触媒） １重量部 水（発泡剤） ３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 充填剤（酸化セリウム、比表面積７ｍ2／ｇ） ５重量部 上記粘調性のウレタン組成物を容器にとり、高速撹拌機
で良く混合し、その均質混合液をモールド中に注ぎ、重
合反応を行わせ、硬化したものをモールドより取り出
し、次いで、０．５〜８ｍｍ厚のシートにスライスし穴
径を測定した。この結果前記穴径は０．１〜３ｍｍ直径
に分散しており、良好な研磨材粉末の保持と研磨屑の排
出効果があることがわかった。 （実施例２） ２，４−トリレンジイソシアネート ５０重量部 ポリエステルポリオール（分子量１０００） １００重量部 １，４ブタジエンオール（架橋剤） １０重量部 ジメチルエタノールアミン（触媒） ０．７重量部 水（発泡剤） ３重量部 トリメチレンジアミン（触媒） ０．３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 充填剤（酸化ジルコニウム、比表面積５ｍ2／ｇ） ０．３重量部 （比較例１） ジフェニルメタン−４，４′−ジイソシアネート １１１重量部 ポリエステルポリオール（分子量１０００） １００重量部 エチレングリコール（架橋剤） １０重量部 トリエチレンジアミン（触媒） １重量部 水（発泡剤） ３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 シリカＡ（比表面積１００ｍ2／ｇ） ５重量部 （比較例２） ジフェニルメタン−４，４′−ジイソシアネート ９８重量部 ポリエステルポリオール（分子量１０００） １００重量部 １，４ブタジエンオール（架橋剤） １０重量部 ジメチルエタノールアミン（触媒） ０．７重量部 水（発泡剤） ３重量部 トリエチレンジアミン ０．３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 シリカＢ（比表面積１８０ｍ2／ｇ） ０．５重量部
に説明する。 （実施例１） ポリエステル系ウレタンプレポリマー ２００重量部 ４，４’−メチレン−ビス（２−クロロアニリン） ５重量部 トリメチレンジアミン（触媒） １重量部 水（発泡剤） ３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 充填剤（酸化セリウム、比表面積７ｍ2／ｇ） ５重量部 上記粘調性のウレタン組成物を容器にとり、高速撹拌機
で良く混合し、その均質混合液をモールド中に注ぎ、重
合反応を行わせ、硬化したものをモールドより取り出
し、次いで、０．５〜８ｍｍ厚のシートにスライスし穴
径を測定した。この結果前記穴径は０．１〜３ｍｍ直径
に分散しており、良好な研磨材粉末の保持と研磨屑の排
出効果があることがわかった。 （実施例２） ２，４−トリレンジイソシアネート ５０重量部 ポリエステルポリオール（分子量１０００） １００重量部 １，４ブタジエンオール（架橋剤） １０重量部 ジメチルエタノールアミン（触媒） ０．７重量部 水（発泡剤） ３重量部 トリメチレンジアミン（触媒） ０．３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 充填剤（酸化ジルコニウム、比表面積５ｍ2／ｇ） ０．３重量部 （比較例１） ジフェニルメタン−４，４′−ジイソシアネート １１１重量部 ポリエステルポリオール（分子量１０００） １００重量部 エチレングリコール（架橋剤） １０重量部 トリエチレンジアミン（触媒） １重量部 水（発泡剤） ３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 シリカＡ（比表面積１００ｍ2／ｇ） ５重量部 （比較例２） ジフェニルメタン−４，４′−ジイソシアネート ９８重量部 ポリエステルポリオール（分子量１０００） １００重量部 １，４ブタジエンオール（架橋剤） １０重量部 ジメチルエタノールアミン（触媒） ０．７重量部 水（発泡剤） ３重量部 トリエチレンジアミン ０．３重量部 シリコーン整泡剤（硬質ウレタンフォーム用） １重量部 シリカＢ（比表面積１８０ｍ2／ｇ） ０．５重量部
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、比表面積の比較的小さ
い充填剤を添加したため、所定の寸法範囲に大きな孔お
よび小さな孔が分布した発泡体からなる研磨布を製造す
ることができるという利点がある。
い充填剤を添加したため、所定の寸法範囲に大きな孔お
よび小さな孔が分布した発泡体からなる研磨布を製造す
ることができるという利点がある。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｆ
//(Ｃ０８Ｇ 18/10 Ｃ０８Ｇ 101:00
101:00）
(72)発明者 鬼頭 信弘
奈良県大和郡山市池沢町172 ロデール・
ニッタ株式会社奈良工場内
Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AA09 CA01 CB01
4F071 AA53 AB26 AB28 DA18
4J002 CK031 CK041 CK051 DE096
4J034 CA04 CA05 CA15 DF01 DF02
DF12 DG01 HA01 HA07 HC12
HC61 HC64 HC67 HC71 JA41
NA01 NA03 QC01
Claims (8)
- 【請求項１】 ウレタンプレポリマー、硬化剤および比
表面積が１〜４０ｍ 2／ｇである充填剤を含有する研磨
布用ポリウレタン組成物。 - 【請求項２】 前記ウレタンプレポリマーが、構成成分
としてポリブチレンアジペートまたはポリエチレンアジ
ペートを用いて得られるポリエステル系ポリウレタンプ
レポリマー、構成成分としてポリテトラメチレンエーテ
ルまたはポリプロピレンエーテルを用いて得られるポリ
エーテル系ポリウレタンプレポリマー、ポリカーボネー
ト系ポリウレタンプレポリマー、およびポリカプロラク
トン系ポリウレタンプレポリマーからなる群から選択さ
れる少なくとも一種である請求項１に記載のポリウレタ
ン組成物。 - 【請求項３】 前記硬化剤が、４，４’−メチレン−ビ
ス（２−クロロアニリン）を含むアミン系化合物または
１，４−ブタンジオールを含むジオール類、トリメチロ
ールプロパンを含むトリオール類、又はこれらの２種以
上の混合物である請求項１又は２に記載のポリウレタン
組成物。 - 【請求項４】 ポリオールまたはポリアミン、ジイソシ
アネート化合物、および比表面積が１〜４０ｍ2／ｇで
ある充填剤を含有する研磨布用ポリウレタン組成物。 - 【請求項５】 前記ポリオールが、ポリエステル系ポリ
オール、ポリエーテル系ポリオール、ポリカーボネート
系ポリオール、およびポリカプロラクトン系ポリオール
からなる群から選択される少なくとも一種である請求項
４に記載のポリウレタン組成物。 - 【請求項６】 前記ジイソシアネート化合物が、２，４
−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソ
シアネートおよびジフェニルメタンジイソシアネートか
らなる群から選択される少なくとも１つ以上である請求
項５に記載のポリウレタン組成物。 - 【請求項７】 さらに、シリコーン整泡剤および水また
は有機発泡剤および触媒を含む請求項１又は４に記載の
ポリウレタン組成物。 - 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかの項に記載のポ
リウレタン組成物を、発泡硬化させて得られるポリウレ
タン発泡体研磨布。
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