JP4892462B2 - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Claims (20)
- リソグラフィ装置であって、あるパルス幅の放射ビームの一部を選択出力するように構成された光学デバイスと、
前記放射ビームを複数の放射ビームに分割するように構成されたビームスプリッタと、
基板を支持するように構成された基板ステージと、
前記複数の放射ビームの少なくともある部分を向け直し、結合して、前記基板上に干渉パターンを形成するようになっているビームコンバイナと、
前記基板ステージおよび前記放射ビームを出力するように構成された放射源とつながる制御ユニットとを備え、
前記制御ユニットが、前記基板ステージの運動を、前記放射ビームが前記放射源によって出力される繰り返しレートに同期させるように構成され、
前記光学デバイスは、回転ミラーまたは回転多面要素と、ビーム開口とを含み、
前記回転ミラーの振動または前記回転多面要素の回転は、前記繰り返しレートに同期し、前記放射ビームは、前記回転ミラーまたは前記回転多面要素により、前記ビーム開口の方へ反射する、装置。 - 前記放射源によって出力される2つの連続する放射ビームの間で、前記基板ステージが、前記干渉パターンの整数のピッチにわたって移動するように、前記制御ユニットが、前記基板ステージの運動を、前記放射源の繰り返しレートに同期させるように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 2つの連続する放射ビームによって生成される前記干渉パターンが、実質的に完全に重なり合うように、前記制御ユニットが、前記基板ステージの運動を、前記放射源の繰り返しレートに同期させるように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 前記ビームスプリッタは回折格子である、
請求項1に記載の装置。 - 前記回折格子が、レベンソン型(alternating)位相シフト格子またはバイナリ格子である、
請求項4に記載の装置。 - 前記回折格子が、1次元または2次元格子である、
請求項4に記載の装置。 - 前記ビームコンバイナが、多面プリズムを含む、
請求項1に記載の装置。 - 前記複数の放射ビームの前記部分が、2〜8のビームを含む、
請求項1に記載の装置。 - 前記ビームコンバイナの表面と前記基板の表面との間に液体を提供するように配置された液体供給システムをさらに備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記ビームコンバイナが、複数の独立に移動可能なミラーを含む、
請求項1に記載の装置。 - 前記放射源の繰り返しレートが、100Hz〜10,000Hzの範囲である、
請求項1に記載の装置。 - 前記干渉パターン上に生成されるボケが、約3nm未満であるように、前記制御ユニットが、前記基板ステージの運動を、前記放射源の繰り返しレートに同期させるように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 前記放射源がレーザである、
請求項1に記載の装置。 - リソグラフィ装置であって、
あるパルス幅の放射ビームの一部を選択出力するように構成された光学デバイスと、回折格子であって、回折格子が前記放射ビームによって入射されると、複数の放射ビームを生成するように構成される、回折格子と、
基板を支持するように構成された基板ステージと、
前記複数の放射ビームの少なくともある部分を向け直し、結合して、前記基板の表面上に干渉パターンを形成するようになっているビームコンバイナと、
前記基板ステージおよび前記放射ビームを出力するように構成された放射源とつながる制御ユニットと、
を備え、前記放射源によって出力される2つの連続する放射ビームの間で、前記基板ステージが、前記干渉パターンの整数のピッチにわたって移動するように、前記制御ユニットが、前記基板ステージの運動を、前記放射ビームが前記放射源によって出力される繰り返しレートに同期させるように構成され、
前記光学デバイスは、回転ミラーまたは回転多面要素と、ビーム開口とを含み、
前記回転ミラーの振動または前記回転多面要素の回転は、前記繰り返しレートに同期し、
前記放射ビームは、前記回転ミラーまたは前記回転多面要素により、前記ビーム開口の方へ反射する、装置。 - デバイス製造方法であって、
あるパルス幅の放射ビームの一部を選択出力することと、
複数の放射ビームを形成するように前記放射ビームを分割すること、
干渉パターンを形成するように、基板上で前記複数の放射ビームの少なくともある部分を向け直し、結合すること、および、
前記基板を支持するように構成された基板テーブルの運動を、前記放射ビームが放射源によって出力される繰り返しレートに同期させること、を含み、
前記あるパルス幅の放射ビームの一部を選択するように構成された光学デバイスは、回転ミラーまたは回転多面要素と、ビーム開口とを含み、
前記回転ミラーの振動または前記回転多面要素の回転は、前記繰り返しレートに同期し、
前記放射ビームは、前記回転ミラーまたは前記回転多面要素により、前記ビーム開口の方へ反射する、方法。 - 前記同期させることは、前記放射源によって出力される2つの連続する放射ビームの間で、前記基板ステージが、前記干渉パターンの整数のピッチにわたって移動するように、前記基板ステージの運動を、前記放射源の繰り返しレートに同期させることを含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記同期させることは、2つの連続する放射ビームによって生成される前記干渉パターンが、実質的に完全に重なり合うように、前記基板ステージの運動を、前記放射源の前記繰り返しレートに同期させることを含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記ビームスプリッタが、レベンソン型(alternating)位相シフト格子またはバイナリ格子である、
請求項15に記載の方法。 - 前記回折格子が、1次元または2次元格子である、
請求項18に記載の方法。 - 前記複数の放射ビームの前記部分が、2〜8のビームを含む、
請求項18に記載の方法。
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