JP4892372B2 - 導電性ボール載置装置及び導電性ボールの載置方法 - Google Patents
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Description
図2は、本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図2では、マスク12の上方に配置された導電性ボール収容体13からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させた状態を模式的に示している。また、図2において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。
図12は、本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図12では、マスク12の上方に配置された導電性ボール収容体13からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させた状態を模式的に示している。また、図12において、第1の実施の形態の導電性ボール載置装置10と同一構成部分には同一符号を付す。
図13は、本発明の第3の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図13では、マスク12の上方に配置された導電性ボール収容体13からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させた状態を模式的に示している。また、図13において、第2の実施の形態の導電性ボール載置装置50と同一構成部分には同一符号を付す。
図14は、本発明の第4の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図14では、マスク12の上方に配置された導電性ボール収容体13からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させた状態を模式的に示している。また、図14において、第3の実施の形態の導電性ボール載置装置60と同一構成部分には同一符号を付す。
11 ステージ
12,46 マスク
12A 貫通部
13 導電性ボール収容体
14 板体
14A,23B 下面
15 振動装置
16 導電性ボール回収手段
18,21 配線基板
23 基板本体
23A 上面
25 貫通ビア
26 上部配線
27,32 パッド
29,33 ソルダーレジスト
13A,29A,33A 開口部
31 下部配線
35 粘着材
38 導電性ボール
41 レジスト膜
43 貫通部
51 落下方向規制手段
61 刷毛部
71 収容体移動手段
A パッド形成領域
C 切断位置
D1,D2 距離
M1 厚さ
R1,R2 直径
Claims (5)
- 粘着材が形成された複数のパッドを有する基板上に配置され、前記複数のパッドを露出する複数の貫通部を有したマスクと、
複数の導電性ボールを収容すると共に、前記マスク上に前記複数の導電性ボールを落下させる開口部を有した導電性ボール収容体と、を備えた導電性ボール載置装置であって、
前記導電性ボール収容体を振動させる振動装置を設けると共に、
1つの前記導電性ボールが通過可能な大きさとされた複数の貫通部を有した板体を前記導電性ボール収容体の前記開口部を覆うように設け、前記導電性ボール収容体及び前記板体と前記マスクとの間に、前記マスク上に落下した前記導電性ボールが挟まれないように、前記導電性ボール収容体及び前記板体を前記マスクから離間させて配置し、
前記板体に形成された前記複数の貫通部を囲むように前記板体の下面に筒形状の落下方向規制手段を設け、前記落下方向規制手段を前記複数の導電性ボールが前記マスクとの間に挟まれないように離間した位置に配置し、
前記マスク上に落下した前記複数の導電性ボールのうち、前記粘着材が形成された前記複数のパッド上に載置されなかった前記導電性ボールを回収する導電性ボール回収手段を設けたことを特徴とする導電性ボール載置装置。 - 前記落下方向規制手段に、前記マスク上に落下した前記複数の導電性ボールと接触する刷毛部を設けたことを特徴とする請求項1記載の導電性ボール載置装置。
- 前記マスク上に落下した前記複数の導電性ボールのうち、前記刷毛部から離間した前記導電性ボールと前記刷毛部とが接触するように、前記導電性ボール収容体を移動させる移動手段を設けたことを特徴とする請求項2記載の導電性ボール載置装置。
- 粘着材が形成された複数のパッドを有する基板上に、前記複数のパッドを露出する複数の貫通部を有したマスクを配置し、複数の導電性ボールを収容した導電性ボール収容体の開口部から前記複数の導電性ボールを前記マスク上に落下させることにより、前記複数のパッド上にそれぞれ1つの前記導電性ボールを載置する導電性ボールの載置方法であって、
1つの前記導電性ボールが通過可能な大きさとされた複数の貫通部を有した板体が前記導電性ボール収容体の前記開口部を覆うように設けられており、
前記板体に形成された前記複数の貫通部を囲むように前記板体の下面に筒形状の落下方向規制手段を設け、前記落下方向規制手段が前記複数の導電性ボールが前記マスクとの間に挟まれないように離間した位置に配置されており、
前記マスク上に落下した前記複数の導電性ボールのうち、前記粘着材が形成された前記複数のパッド上に載置されなかった前記導電性ボールを回収する導電性ボール回収手段が設けられており、
前記マスク上に落下した前記複数の導電性ボールが前記導電性ボール収容体及び前記板体と前記マスクとの間に挟まれないように、前記導電性ボール収容体及び前記板体を前記マスクから離間させて配置する導電性ボール収容体及び板体配置工程と、
前記導電性ボール収容体及び板体配置工程後に、前記導電性ボール収容体を振動させて、前記板体の前記複数の貫通部から前記複数の導電性ボールを落下させる導電性ボール落下工程と、を含むことを特徴とする導電性ボールの載置方法。 - 前記マスク上に落下した前記複数の導電性ボールのうち、前記粘着材が形成された前記複数のパッド上に載置されなかった前記導電性ボールを回収する導電性ボール回収工程を設けたことを特徴とする請求項4記載の導電性ボールの載置方法。
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