JP4891788B2 - 電子顕微鏡像の歪み補正方法及び輝度補正方法 - Google Patents
電子顕微鏡像の歪み補正方法及び輝度補正方法 Download PDFInfo
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て、容易に歪みを測定し、形状と輝度の両方を補正することができる電子顕微鏡の歪み補正方法及び輝度補正方法を提供することを目的としている。
(2)請求項2記載の発明は、ホーリーカーボンを用いて試料を作成し、TEMに挿入して観察に適したレンズ状態にし、結像系により結像された画像をデジタルカメラにより取り込み、取り込んだ画像を表示すると共に、等間隔に格子状に並んだ円を孔の模式図として、画像の上に重ねて表示し、表示された画像の周辺に表示されたボタンを用いて、模式図を実際の孔に合わせ込み、模式図を実際の孔に合わせ込んだ時の、模式図における歪みの中心(x0,y0)と歪みの大きさκを求め、前記画像上の位置(x2,y2)における観測された輝度Iを、その輝度Iと、前記歪みの大きさκと、前記歪みの中心(x0,
y0)から前記位置(x2,y2)までの距離Rに基づいて補正するようにしたことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明によれば、等間隔に格子状にならんだ円を孔の模式図として、画像の上に重ねて表示し、模式図が実際の孔に合わせ込まれた時の歪みの中心と歪みの大きさを算出し、歪みの中心と歪みの大きさとから、電子顕微鏡の輝度を補正することができる。
S1:ホーリーカーボン試料を準備
操作者は、ホーリーカーボンを用いて試料を作成し、TEM1に挿入して観察に適したレンズ状態にする。
S2:本発明のソフトウェアを起動
操作者はコンピュータ3をオンにし、本発明のソフトウェアを起動する。
S3:デジタルカメラから画像取り込み
本発明のソフトウェアは、画像取り込み用ケーブル2を介してデジタルカメラ4から画像を取り込む。
S4:画像と孔の模式図を表示
本発明のソフトウェアは、取り込んだ画像をディスプレイ3aに表示する。同時に等間隔に格子状に並んだ円を孔の模式図として、画像の上に重ねて表示する。また、孔の模式図の位置、円の半径、間隔、格子の傾き、歪みの中心、歪みの程度を変更するためのボタン等を表示する。
S5:模式図と実際の孔を合わせる
操作者は本発明のソフトウェア上に表示されたボタン等を用いて、孔の模式図の位置、円の半径をボタン20で、間隔をボタン21で、格子の傾きをボタン22で、歪みの中心をボタン23で、歪みの程度をボタン24で変更し(図6〜図9、詳細後述)、模式図を実際の孔に合わせ込む(図9)。
S6:歪みパラメータを記憶
本発明のソフトウェアは、S5で操作者によって決定された歪みの中心(x0,y0)と歪みの程度κを記憶する。これらのパラメータを用いて、画像に逆向きの歪みをかけることで、歪みのない画像を生成することができる。これにより、試料上の長さの計測が正確にでき、ステージの正確な移動が可能となる。
i・Δs=I・ΔS
であるから、
i=I・ΔS/Δs
となる。ところで、Δs及びΔSは図10より
Δs=r・Δr・Δθ
ΔS=R・ΔR・ΔΘ
と表される。これらの式を用いて、位置(x2,y2)に観測された輝度Iの本来の輝度iは
i=I・ΔS/Δs=I・R・ΔR・ΔΘ/r・Δr・Δθ
=I・(1+κR2)3/(1−κR2) (7)
で求めることができる。即ち、位置(x2,y2)における観測された輝度Iを(7)式により輝度iに変換することで、本来の輝度に補正することができる。
2 画像取り込み用ケーブル
3 コンピュータ
3a ディスプレイ
4 デジタルカメラ
Claims (2)
- ホーリーカーボンを用いて試料を作成し、TEMに挿入して観察に適したレンズ状態にし、
結像系により結像された画像をデジタルカメラに取り込み、
取り込んだ画像を表示すると共に、等間隔に格子状に並んだ円を孔の模式図として、画像の上に重ねて表示し、
表示された画像の周辺に表示されたボタンを用いて、模式図を実際の孔に合わせ込み、
模式図を実際の孔に合わせ込んだ時の、模式図における歪みの中心(x0,y0)と歪みの大きさκを求め、
これら歪みの中心(x0,y0)と歪みの大きさκを用いて、前記画像を、たる型または糸巻き型の歪みのない画像に補正するようにした
ことを特徴とする電子顕微鏡像の歪み補正方法。 - ホーリーカーボンを用いて試料を作成し、TEMに挿入して観察に適したレンズ状態にし、
結像系により結像された画像をデジタルカメラにより取り込み、
取り込んだ画像を表示すると共に、等間隔に格子状に並んだ円を孔の模式図として、画像の上に重ねて表示し、
表示された画像の周辺に表示されたボタンを用いて、模式図を実際の孔に合わせ込み、
模式図を実際の孔に合わせ込んだ時の、模式図における歪みの中心(x0,y0)と歪みの大きさκを求め、
前記画像上の位置(x2,y2)における観測された輝度Iを、その輝度Iと、前記歪
みの大きさκと、前記歪みの中心(x0,y0)から前記位置(x2,y2)までの距離Rに基づいて補正するようにした
ことを特徴とする電子顕微鏡像の輝度補正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007005820A JP4891788B2 (ja) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | 電子顕微鏡像の歪み補正方法及び輝度補正方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008171756A JP2008171756A (ja) | 2008-07-24 |
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Family
ID=39699641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007005820A Active JP4891788B2 (ja) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | 電子顕微鏡像の歪み補正方法及び輝度補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4891788B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110049344A1 (en) * | 2008-04-04 | 2011-03-03 | Hitachi, Ltd. | Diffraction pattern capturing method and charged particle beam device |
EP2197018A1 (en) * | 2008-12-12 | 2010-06-16 | FEI Company | Method for determining distortions in a particle-optical apparatus |
JP5420289B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2014-02-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡の自動歪み測定方法 |
JP5581248B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2014-08-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
WO2016174707A1 (ja) * | 2015-04-27 | 2016-11-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び当該装置を用いた試料の観察方法 |
JP6851262B2 (ja) | 2017-05-26 | 2021-03-31 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡像の歪み測定方法および電子顕微鏡 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6066103A (ja) * | 1983-09-21 | 1985-04-16 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JPS6193537A (ja) * | 1984-10-13 | 1986-05-12 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2887361B2 (ja) * | 1993-07-05 | 1999-04-26 | 株式会社日立製作所 | 透過電子顕微鏡用又は電子エネルギー損失分析電子顕微鏡用の撮像方法及び撮像装置 |
JP4016472B2 (ja) * | 1997-01-10 | 2007-12-05 | 株式会社日立製作所 | 外観検査方法及びその装置 |
JP4277334B2 (ja) * | 1998-11-06 | 2009-06-10 | 株式会社ニコン | 観察装置およびその調整方法 |
JP2002153271A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-28 | Jeol Ltd | Dnaあるいはrnaの塩基配列決定方法およびdnaシーケンサー |
JP2005216645A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡 |
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2007
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008171756A (ja) | 2008-07-24 |
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