JPS6066103A - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
走査形電子顕微鏡Info
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- JPS6066103A JPS6066103A JP17301083A JP17301083A JPS6066103A JP S6066103 A JPS6066103 A JP S6066103A JP 17301083 A JP17301083 A JP 17301083A JP 17301083 A JP17301083 A JP 17301083A JP S6066103 A JPS6066103 A JP S6066103A
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- Japan
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- scanning
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- image
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査形電子顕微鏡に係り、特に、電子線で試料
上を走査し、試料上の各走査点から得られる信号を基に
ＣＲＴ上に試料像を表示し、該ＣＲＴ上を走査して試料
像の大きさを測定するのに好適な走査形電子顕微鏡に関
する。
上を走査し、試料上の各走査点から得られる信号を基に
ＣＲＴ上に試料像を表示し、該ＣＲＴ上を走査して試料
像の大きさを測定するのに好適な走査形電子顕微鏡に関
する。
走査形電子顕微鏡（以下ＳＥＭと称する）により、ＣＲ
Ｔ上に表示された試料像の大きさを測定する場合、輝点
、クロスマーク等のスケールを測定したい任意の場所と
一致させ、その大きさをＣＲＴ上に表示させ、ＣＲＴ上
を走査して試料像の大きさを測定することが行なわれて
いるが、測定誤差を少なくするためには、ＣＲＴを含む
表示部等の演算途中の誤差はもとより、スケールの合せ
誤差が大きな要素となる。即ち、スケール合せ誤差を少
なくするためには、試料像のＳ／Ｎ比がよくスケール合
せかしゃすいことが重要となる。
Ｔ上に表示された試料像の大きさを測定する場合、輝点
、クロスマーク等のスケールを測定したい任意の場所と
一致させ、その大きさをＣＲＴ上に表示させ、ＣＲＴ上
を走査して試料像の大きさを測定することが行なわれて
いるが、測定誤差を少なくするためには、ＣＲＴを含む
表示部等の演算途中の誤差はもとより、スケールの合せ
誤差が大きな要素となる。即ち、スケール合せ誤差を少
なくするためには、試料像のＳ／Ｎ比がよくスケール合
せかしゃすいことが重要となる。
そこで、従来の８ＥＭにおいては、試料像を測定する場
合、走査速度を十分に遅くしてＣＢ、Ｔの全表示画面を
走査することによりＳ／Ｎ比を良くしてスケール合せを
することが行なわれていた。
合、走査速度を十分に遅くしてＣＢ、Ｔの全表示画面を
走査することによりＳ／Ｎ比を良くしてスケール合せを
することが行なわれていた。
しかし、この方法では、全画面を走査する時間は試料像
の測定部以外まで走査するため、スケールが合せづらく
又、スケール合せに時間がかかるという欠点があった。
の測定部以外まで走査するため、スケールが合せづらく
又、スケール合せに時間がかかるという欠点があった。
なお、スケール合せの時間を短かくするために、走査速
度を速くすることも考えられるが、走査速度を早くする
と、Ｓ／Ｎ比が悪くなるという欠点が生じる。
度を速くすることも考えられるが、走査速度を早くする
と、Ｓ／Ｎ比が悪くなるという欠点が生じる。
本発明は、前記従来の課題に鑑みて為されたものであり
、その目的は、Ｓ／Ｎ比を低下させることなく試料像の
大きさを迅速に測定することができる走査形電子顕微鏡
を提供することにある。
、その目的は、Ｓ／Ｎ比を低下させることなく試料像の
大きさを迅速に測定することができる走査形電子顕微鏡
を提供することにある。
前記目的を達成する為に、本発明は、電子線で試料上を
走査し、試料上の各走査点から得られる信号を基にＣＥ
、Ｔ上に試料像を表示し、該ＣＲＴ上を走査して試料像
の大きさを測定する走査形電子顕微鏡において、ＣＲＴ
の水平又は垂直方向のうち少な゛くとも一方の走査幅を
試料像を含む範囲まで縮小し、縮小した範囲のＣＲＴ上
を走査するようにしたことｆ、！Ｖｆ徴とする。
走査し、試料上の各走査点から得られる信号を基にＣＥ
、Ｔ上に試料像を表示し、該ＣＲＴ上を走査して試料像
の大きさを測定する走査形電子顕微鏡において、ＣＲＴ
の水平又は垂直方向のうち少な゛くとも一方の走査幅を
試料像を含む範囲まで縮小し、縮小した範囲のＣＲＴ上
を走査するようにしたことｆ、！Ｖｆ徴とする。
〔発明の実施例〕
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する
。
。
本実施例は、第１図の（ａ）に示されるように、ＣＲＴ
ｊ上に表示された試料像３の水平方向（以下Ｘ方向と称
する）に沿った大きさを測定するとき測定用スケール２
をＸ方向に沿って試料像３と一致させることによって行
なう。なお、この場合のスケールは２本の輝線であるが
、クロスマーク、輝点てあってもよい。そしてスケール
２の幅と試料像３の倍率とを演算することにより試料像
の大きさをめることができるが、Ｘ方向に沿ってＣＲＴ
ｌの全画面を走査するのではなく、第１図の（ａ）に示
されるように、Ｘ方向の走査幅を試料像３を含む範囲ま
で縮小して走査するようにしたものと、第２図の（ａ）
に示されるように、ＣＲＴｌ上に表示された試料像３の
垂直方向（以下Ｙ方向と称する）の大きさを測定すると
き、Ｙ方向に沿ってＣＲＴｌの全画面を走査するのでは
なく、第２図の（ｂ）に示されるように、Ｘ方向の走査
幅全試料像３を含む範囲まで縮小し、縮小した範囲のＣ
ＲＴｌ上を走査するようにしたものである。
ｊ上に表示された試料像３の水平方向（以下Ｘ方向と称
する）に沿った大きさを測定するとき測定用スケール２
をＸ方向に沿って試料像３と一致させることによって行
なう。なお、この場合のスケールは２本の輝線であるが
、クロスマーク、輝点てあってもよい。そしてスケール
２の幅と試料像３の倍率とを演算することにより試料像
の大きさをめることができるが、Ｘ方向に沿ってＣＲＴ
ｌの全画面を走査するのではなく、第１図の（ａ）に示
されるように、Ｘ方向の走査幅を試料像３を含む範囲ま
で縮小して走査するようにしたものと、第２図の（ａ）
に示されるように、ＣＲＴｌ上に表示された試料像３の
垂直方向（以下Ｙ方向と称する）の大きさを測定すると
き、Ｙ方向に沿ってＣＲＴｌの全画面を走査するのでは
なく、第２図の（ｂ）に示されるように、Ｘ方向の走査
幅全試料像３を含む範囲まで縮小し、縮小した範囲のＣ
ＲＴｌ上を走査するようにしたものである。
第１図及び第２図に示されるように、Ｘ方向又はＹ方向
のうち少なくとも一方の走査幅を試料像３を含む範囲ま
で縮小し、縮小した範囲のＣＲＴ ｌ上を遅い走査速度
で走査すれば、ＳｌＮ比が良く、しかも一画面を走査す
る時間が短かいため、短時間でスケール合せを行なうこ
とが可能である。又、スケール２をＸ方向又はＹ方向に
任意の位置に移動すれば、試料像３がＣＲＴＩのどの画
面上にあっても効率良くその大きさを測定することもで
きる。又、第１図の（Ｃ）、第２図の（Ｃ）に示される
ように、Ｘ方向及びＹ方向の走査幅を試料像３を含む範
囲まで縮小し、縮小した範囲のＣＲＴｌ上を走査すれば
、さらに偏向周期が短かくでき、さらに効率の良いスケ
ール合せが可能となる。
のうち少なくとも一方の走査幅を試料像３を含む範囲ま
で縮小し、縮小した範囲のＣＲＴ ｌ上を遅い走査速度
で走査すれば、ＳｌＮ比が良く、しかも一画面を走査す
る時間が短かいため、短時間でスケール合せを行なうこ
とが可能である。又、スケール２をＸ方向又はＹ方向に
任意の位置に移動すれば、試料像３がＣＲＴＩのどの画
面上にあっても効率良くその大きさを測定することもで
きる。又、第１図の（Ｃ）、第２図の（Ｃ）に示される
ように、Ｘ方向及びＹ方向の走査幅を試料像３を含む範
囲まで縮小し、縮小した範囲のＣＲＴｌ上を走査すれば
、さらに偏向周期が短かくでき、さらに効率の良いスケ
ール合せが可能となる。
第３図には、上述した測定を行なうのに好適な実施例の
構成が示されている。
構成が示されている。
なお、ＣＲＴｌ上に表示された試料像３のＸ方向及びＹ
方向に沿った大きさを測定する場合、′Ｘ方向及びＹ方
向の機能は同様であるので、以下、Ｘ方向に沿った試料
像３の大きさを測定する場合についてのみ説明する。
方向に沿った大きさを測定する場合、′Ｘ方向及びＹ方
向の機能は同様であるので、以下、Ｘ方向に沿った試料
像３の大きさを測定する場合についてのみ説明する。
まず、通常の試料像３の観察状態から試料像３の大きさ
を測定する場合、測定モード切換スイッチ１３を閉じる
。そして、Ｙ方向の大きさを測定するためにＸ方向矩形
制限視野走査モードスイッチ１８を測定側にする。この
とき同時に矩形制限視野走査モードのためのＸ軸偏向周
期切換器１６が駆動される。この駆動信号をＸ軸減衰器
２０に与えられ、減衰器２０によりＸ軸偏向信号の振幅
が変えられ任意の矩形制限視野の幅が選択される。
を測定する場合、測定モード切換スイッチ１３を閉じる
。そして、Ｙ方向の大きさを測定するためにＸ方向矩形
制限視野走査モードスイッチ１８を測定側にする。この
とき同時に矩形制限視野走査モードのためのＸ軸偏向周
期切換器１６が駆動される。この駆動信号をＸ軸減衰器
２０に与えられ、減衰器２０によりＸ軸偏向信号の振幅
が変えられ任意の矩形制限視野の幅が選択される。
このとき減衰器２０と偏向周期切換器１６は連動し、切
換前のＳ／Ｎ比の良い状態が維持されその走査周期が選
択される。さらにＸ軸回変形基準電圧発生器２２の出力
と上記避択された偏向信号は加算器２４によって加算さ
れる。この基単電圧発生器２２の出力電圧を可変するこ
とにより矩形制限視野をＹ方向に任意に移動することが
できる。
換前のＳ／Ｎ比の良い状態が維持されその走査周期が選
択される。さらにＸ軸回変形基準電圧発生器２２の出力
と上記避択された偏向信号は加算器２４によって加算さ
れる。この基単電圧発生器２２の出力電圧を可変するこ
とにより矩形制限視野をＹ方向に任意に移動することが
できる。
このようにして整形された波形が第４図の（ａ）〜（ｄ
）に示されている。
）に示されている。
ここで、加算器２４の出力信号を鏡体Ｘ軸偏向電源ｚ９
及びＣＲＴＩのＸ軸偏向電源２７により電流増幅し、偏
向コイル８．１１を駆動すると、任意の矩形制限視野走
査モードを得ることができる。
及びＣＲＴＩのＸ軸偏向電源２７により電流増幅し、偏
向コイル８．１１を駆動すると、任意の矩形制限視野走
査モードを得ることができる。
一方、加算器２４の出力信号を受けた輝線発生器２６は
輝線全発生するための信号を出力し１この信号はＳＥＭ
の鏡体７内の像信号検出器６よりビデオアンプを介して
増幅され、この像信号と加算器９により加算されＣＲＴ
ｌ上のグリッド１２に送られ矩形制限視野走査像となる
。
輝線全発生するための信号を出力し１この信号はＳＥＭ
の鏡体７内の像信号検出器６よりビデオアンプを介して
増幅され、この像信号と加算器９により加算されＣＲＴ
ｌ上のグリッド１２に送られ矩形制限視野走査像となる
。
このように本実施例においては、Ｘ及びＹ方向に任意に
位置や幅を変えることによって制限視野走査モードを実
現することができる。そのため、Ｙ方向制限視野走査モ
ードスイッチ１９のみを測定側にすれば、第１図の（ｂ
）のような、Ｘ方向制限視野モードスイッチ１８のみを
測定側にすれば、第２図の（ｂ）のような矩形制限視野
走査モードを実現することができる。
位置や幅を変えることによって制限視野走査モードを実
現することができる。そのため、Ｙ方向制限視野走査モ
ードスイッチ１９のみを測定側にすれば、第１図の（ｂ
）のような、Ｘ方向制限視野モードスイッチ１８のみを
測定側にすれば、第２図の（ｂ）のような矩形制限視野
走査モードを実現することができる。
又、Ｘ及びＹ方向のスイッチ１ｓ、ｉｃ＋’を同時に測
定側にすれば、第１図の（Ｃ）、第２図の（Ｃ）の制限
視野走査モードを実現することができる。
定側にすれば、第１図の（Ｃ）、第２図の（Ｃ）の制限
視野走査モードを実現することができる。
又、第５図の（ａ） 、 （ｂ）に示されように、ＣＲ
Ｔ ｌ上に表示された試料像３を斜め方向の大きさを測
定する場合、第３図に示されるＸ方向及びＹ方向矩形制
限視野走査モードスイッチ１８．１９を同時に閉じ、Ｘ
及びＹ方向に矩形制限視野走査モード回路を同時に駆動
し、任意の矩形の幅及び位置を選択することによってそ
の大きさを測定することができる。
Ｔ ｌ上に表示された試料像３を斜め方向の大きさを測
定する場合、第３図に示されるＸ方向及びＹ方向矩形制
限視野走査モードスイッチ１８．１９を同時に閉じ、Ｘ
及びＹ方向に矩形制限視野走査モード回路を同時に駆動
し、任意の矩形の幅及び位置を選択することによってそ
の大きさを測定することができる。
又、□第６図の（ａ）に示されるように、ＣＲＴｌ上の
いかなる方向、位置に表示された試料像３の大きさを測
定する場合、第６図の（ｂ）に示されるように、試料像
３を含むＸ方向、Ｙ方向のエリアを認知し、そのエリア
を測定することによって効率良く行なうことができる。
いかなる方向、位置に表示された試料像３の大きさを測
定する場合、第６図の（ｂ）に示されるように、試料像
３を含むＸ方向、Ｙ方向のエリアを認知し、そのエリア
を測定することによって効率良く行なうことができる。
この測定方法を実現するための構成が第７図に示されて
いる。
いる。
まず、第７図に示されるように、通常のＳＥＭ観察状態
から測定のための走査モードにするため、測定モードス
イッチ１３（ｉ−閉じる。ＣＲＴｌ上の任意の２点間を
測定するための輝点４２を発生させるため、輝点発生器
３４．３５に、出力電圧を可変できるＸ及びＹ方向基準
電圧発生器３６〜３９よりＸｌ、Ｙｌ及びＸ２．Ｙ２な
る基準電圧を供給し、輝点発生器３４．３５により輝点
発生信号をつくり、加算器９により試料像信号と重畳さ
せる。この信号’ｔ−ＣＲＴ１のグリッド１２に供給す
ることにより試料像３と輝点４２が得られ、試料像３の
大きさの測定が可能となる。このとき、Ｘ及びＹ方向基
準電圧発生器３６〜３９からの出力信号を同時に減算器
４０．４１に供給され、Ｘｌ−Ｘ２．Ｙｌ−Ｙ２なる信
号に変換される。
から測定のための走査モードにするため、測定モードス
イッチ１３（ｉ−閉じる。ＣＲＴｌ上の任意の２点間を
測定するための輝点４２を発生させるため、輝点発生器
３４．３５に、出力電圧を可変できるＸ及びＹ方向基準
電圧発生器３６〜３９よりＸｌ、Ｙｌ及びＸ２．Ｙ２な
る基準電圧を供給し、輝点発生器３４．３５により輝点
発生信号をつくり、加算器９により試料像信号と重畳さ
せる。この信号’ｔ−ＣＲＴ１のグリッド１２に供給す
ることにより試料像３と輝点４２が得られ、試料像３の
大きさの測定が可能となる。このとき、Ｘ及びＹ方向基
準電圧発生器３６〜３９からの出力信号を同時に減算器
４０．４１に供給され、Ｘｌ−Ｘ２．Ｙｌ−Ｙ２なる信
号に変換される。
この信号により試料像の観察が可能になると共に測定モ
ード切換スイッチ１３切換前のＳ／Ｎ比の良い状態が維
持され、偏向信号の幅と走査速度が生成される。
ード切換スイッチ１３切換前のＳ／Ｎ比の良い状態が維
持され、偏向信号の幅と走査速度が生成される。
偏向信号発生器１４への入力には、偏向信号である鋸歯
状波の上限値ＭＣＩ と下限値−ＶＣｌがある（第８図
参照）。これが鋸歯状波の幅、つまりＣＲＴｌ及びＳＥ
Ｍ鏡体７の電子線５の偏向幅に等しくなる。即ち、前述
したＸ １−Ｘ ２の絶対値に測定部分を十分に含み得
る適度の偏向幅を持たせた（Ｘｉ−Ｘ２）’の士ＶＣｘ
なる信号をＸ軸振幅制御回路３１より発生しＸ軸偏向信
号発生器１４に供給する。これにより、偏向信号発生器
１４の積分回路の時定数が同一であれば、傾きが同一で
振幅のみ縮小した鋸歯状波即ら走査速度は測定モード切
換スイッチ１３を切換える前のＳ／Ｎ比の良い状態を維
持した矩形走査速度となる。この出力信号は第８図に示
されるように加算器ｚ４によりＸｌと加算され、さらに
Ｘ方向の偏向の中心がＸ方向の測定部の中心と一致する
ような値にした後、ＣＲＴＩ及び鏡体のＸ軸偏向電源２
７．２９に供給され、偏向コイル８，１１が駆動される
。
状波の上限値ＭＣＩ と下限値−ＶＣｌがある（第８図
参照）。これが鋸歯状波の幅、つまりＣＲＴｌ及びＳＥ
Ｍ鏡体７の電子線５の偏向幅に等しくなる。即ち、前述
したＸ １−Ｘ ２の絶対値に測定部分を十分に含み得
る適度の偏向幅を持たせた（Ｘｉ−Ｘ２）’の士ＶＣｘ
なる信号をＸ軸振幅制御回路３１より発生しＸ軸偏向信
号発生器１４に供給する。これにより、偏向信号発生器
１４の積分回路の時定数が同一であれば、傾きが同一で
振幅のみ縮小した鋸歯状波即ら走査速度は測定モード切
換スイッチ１３を切換える前のＳ／Ｎ比の良い状態を維
持した矩形走査速度となる。この出力信号は第８図に示
されるように加算器ｚ４によりＸｌと加算され、さらに
Ｘ方向の偏向の中心がＸ方向の測定部の中心と一致する
ような値にした後、ＣＲＴＩ及び鏡体のＸ軸偏向電源２
７．２９に供給され、偏向コイル８，１１が駆動される
。
このように本実施例においては、試料像３の測定部分の
幅、位置を認知し、試料像３の大きさを測定する際最も
効率の良い矩形制限視野走査モードを得ることができる
。
幅、位置を認知し、試料像３の大きさを測定する際最も
効率の良い矩形制限視野走査モードを得ることができる
。
以上説明したように、本発明によればＣＲＴの水平又は
垂直方向のうち少なくとも一方の走査幅を試料像を含む
範囲まで縮小し、縮小した範囲のＣＲＴ上を走査するよ
うにしたので、ＳｌＮ比を低下させることなく、試料像
の大きさを迅速に測定することができると共に、スケー
ル合せが答易に行なえるとい°）優れた効果がある。
垂直方向のうち少なくとも一方の走査幅を試料像を含む
範囲まで縮小し、縮小した範囲のＣＲＴ上を走査するよ
うにしたので、ＳｌＮ比を低下させることなく、試料像
の大きさを迅速に測定することができると共に、スケー
ル合せが答易に行なえるとい°）優れた効果がある。
第１図の（ａ）〜（Ｃ）は本発明の第１実施例の制限視
野走査モードを説明するための図、第２図の（ａ）〜（
Ｃ）は本発明の第２実施例制限視野走査モードを説明す
るための図、第３図は第１乃至第３実施例の制限視野走
査モードを実現するためのブロック図、第４図は第４図
に示す装置の波形呼、第５図の（ａ）。 （ｂ）は発明の第１実施例の制限視野走査モードを説明
するための図、第６図の（ａ）、 （ｂ）は本発明の第
４実施例の制限視野走査モードを説明するための図、第
７図は第４実施例の制限視野走査モードを実現するため
のブロック図、第８図の（ａ）、 （ｂ）は第７図に示
す装置の動作を説明するための波形図である。 １・・・ＣＲＴ、２・・・スケール、３・・・試料像、
７・・・鏡体、８，１．１・・・偏向コイル、１２・・
・グリッド、１４・・・Ｘ軸偏向信号発生器、１５・・
・Ｙ軸偏向信号発生器、２４．２５・・・加算器、２６
・・・輝線発生器。 代理人 弁理士 高橋明夫 第１図 垢２呪 第３ｍ 第５ｍ （α） −と−
野走査モードを説明するための図、第２図の（ａ）〜（
Ｃ）は本発明の第２実施例制限視野走査モードを説明す
るための図、第３図は第１乃至第３実施例の制限視野走
査モードを実現するためのブロック図、第４図は第４図
に示す装置の波形呼、第５図の（ａ）。 （ｂ）は発明の第１実施例の制限視野走査モードを説明
するための図、第６図の（ａ）、 （ｂ）は本発明の第
４実施例の制限視野走査モードを説明するための図、第
７図は第４実施例の制限視野走査モードを実現するため
のブロック図、第８図の（ａ）、 （ｂ）は第７図に示
す装置の動作を説明するための波形図である。 １・・・ＣＲＴ、２・・・スケール、３・・・試料像、
７・・・鏡体、８，１．１・・・偏向コイル、１２・・
・グリッド、１４・・・Ｘ軸偏向信号発生器、１５・・
・Ｙ軸偏向信号発生器、２４．２５・・・加算器、２６
・・・輝線発生器。 代理人 弁理士 高橋明夫 第１図 垢２呪 第３ｍ 第５ｍ （α） −と−
Claims (1)
- １、電子線で試料上を走査し、試料上の各走査点から得
られる信号を基にＣＲＴ上に試料像を表示し、該ＣＩ’
ＬＴ上を走査して試料像の大きさを測定する走査形電子
顕微鏡において、ＣＲＴの水平又は垂直方向のうち少な
くとも一方の走査幅を、試料像を含む範囲まで縮小し、
縮小した範囲のＣＲＴ上を走査することを特徴とする走
査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17301083A JPS6066103A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17301083A JPS6066103A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6066103A true JPS6066103A (ja) | 1985-04-16 |
Family
ID=15952520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17301083A Pending JPS6066103A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6066103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008171756A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の歪み測定方法及び輝度補正方法 |
-
1983
- 1983-09-21 JP JP17301083A patent/JPS6066103A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008171756A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の歪み測定方法及び輝度補正方法 |
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